压阻式矢量水听器装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及矢量水听器，具体为压阻式矢量水听器装置。其特点是：在单晶硅片上通过微机械加工制作出用于敏感声信号的悬臂梁结构（１）和质量结构（４），在梁结构上植入掺杂电阻（２），用于感受应变信号，并与另一片腐有浅槽结构（６）的硅片在键和面（５）键和，封接到空隙结构（３）的气体可用于产生阻尼，在悬臂梁结构（１）上有半导体压敏电阻（２），空隙结构（３）将悬臂梁结构（１）质量结构（４）分开，在单晶硅材料底结构（７）上有槽结构（６），在键和面（５）有敏感结构的单晶硅与单晶硅材料底结构（７）静电封接、粘接。本实用新型专利技术的优点是：结构简单、成本低廉、安全可靠、使用方便、制作的传感器体积小，灵敏度高，制做过程较为简便。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压阻式矢量水听器装置，它包含悬臂梁结构（１）、半导体压敏电阻（２）、空隙结构（３）、质量结构（４）、键和面（５）、槽结构（６）、单晶硅材料底结构（７），其特征在于：在单晶硅片上通过微机械加工制作出用于敏感声信号的悬臂梁结构（１）和质量结构（４），在梁结构上植入掺杂电阻（２），用于感受应变信号，并与另一片腐有浅槽结构（６）的硅片在键和面（５）键和，封接到空隙结构（３）的气体可用于产生阻尼，在悬臂梁结构（１）上有半导体压敏电阻（２），空隙结构（３）将悬臂梁结构（１）、质量结构（４）分开，在单晶硅材料底结构（７）上有槽结构（６），在键和面（５）有敏感结构的单晶硅与单晶硅材料底结构（７）静电封接、粘接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨士莪，范茂军，陈丽洁，李时光，张鹏，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十九研究所，
类型：实用新型
国别省市：93[中国|哈尔滨]