一种基于数据处理的电子气体生产监测方法及系统技术方案

本发明专利技术实施例提供的基于数据处理的电子气体生产监测方法及系统，通过获取设备检测数据；然后在判断设备检测数据为异常设备检测数据时，基于过往生产异常信息在过往设备检测数据中的过往检测数据区段，挖掘设备检测数据中的核心数据项信息，基于核心数据项信息建立设备检测数据的生产唯一匹配信息；最后基于生产唯一匹配信息，确定待监测电子气体生产日志对应的生产异常类型。本申请基于生产唯一匹配信息可以获知设备检测数据对应的生产异常类型是否是非常规的生产异常类型，不需依赖人力的主观判断，增加了对非常规生产异常类型的监测准确性。此外，直接在生产检测设备采集的一手数据上直接进行分析，不需额外的改造部署，可以减少生产经营成本。以减少生产经营成本。以减少生产经营成本。

【技术实现步骤摘要】
一种基于数据处理的电子气体生产监测方法及系统


[0001]本申请涉及工业生产监测、数据处理领域，具体而言，涉及一种基于数据处理的电子气体生产监测方法及系统。

技术介绍

[0002]半导体工业采用的气体统称电子气体，电子气体是特种气体的一个重要分支，应用于集成电路生产中，例如用于等离子刻蚀或反应离子刻蚀二氧化硅工艺，这对电子气体的纯度提出了较高的要求，其制备过程的严格监控是气体纯度的关键，此外，电子气体大多为有害气体，需要严格控制制备存储和使用的环节，因此，对电子气体生产环节的实时监测是对电子气体纯度和安全生产的重中之重。在以往的生产监测中，对于电子气体的监测基本采用人工对设备的生产指标按照经验和标准进行分析判断，这不仅消耗了人力资源，且人力判断受限于设备本身运行情况、人力误判等不可控要素，生产纯度和生产安全并不能保证可靠性。随着信息技术和物联网技术的发展，智慧工厂、智能制造的理念被引入到工业领域中，帮助生产环节实现自动化监测和可视化监测，极大解放了人力，但是如何对电子气体的生产进行智能监测，尤其是对于未知的或非常规的生产问题进行判断识别，是需要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于数据处理的电子气体生产监测方法，其特征在于，应用于生产监测设备，所述生产监测设备分别与生产检测设备和后台生产监控客户端通信连接，所述方法包括：获取所述生产检测设备上传的待监测电子气体生产日志对应的设备检测数据；当判断所述设备检测数据为异常设备检测数据时，基于过往生产异常信息在过往设备检测数据中的过往检测数据区段，挖掘所述设备检测数据中的核心数据项信息，基于所述核心数据项信息建立所述设备检测数据的生产唯一匹配信息；其中，所述核心数据项信息为所述设备检测数据中与所述过往检测数据区段对应的数据项的信息；基于所述生产唯一匹配信息，确定所述待监测电子气体生产日志对应的生产异常类型。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：获取生产异常分类信息序列；将所述设备检测数据与所述生产异常分类信息序列进行对比；当所述生产异常分类信息序列中包含和所述设备检测数据相关联的生产异常分类信息时，获取与所述设备检测数据相关联的生产异常分类信息对应的生产异常分类；获取所述生产异常分类对应的过往生产异常信息序列；将所述设备检测数据与所述过往生产异常信息序列进行对比；当所述过往生产异常信息序列中包含和所述设备检测数据相关联的过往生产异常信息，将所述设备检测数据确定为常规设备检测数据；当所述过往生产异常信息序列中不包含和所述设备检测数据相关联的过往生产异常信息，将所述设备检测数据确定为异常设备检测数据。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述核心数据项信息建立所述设备检测数据的生产唯一匹配信息，包括：基于所述核心数据项信息确定目标位置指引数据项；基于所述目标位置指引数据项所包含的数据项构成框架，确定所述目标位置指引数据项对应的位置指引数据项样例信息；获取所述设备检测数据中的索引链接数据项对应的过往位置指引数据项样例序列，基于所述过往位置指引数据项样例序列和所述位置指引数据项样例信息，在所述核心数据项信息中确定所述设备检测数据对应的选定数据项信息；基于所述选定数据项信息建立所述设备检测数据的生产唯一匹配信息；其中，所述设备检测数据为在预设的采集周期内获取到的设备检测数据；所述预设的采集周期内获取到的设备检测数据还包括参考设备检测数据；所述设备检测数据中的索引链接数据项，与所述参考设备检测数据的索引链接数据项一致；所述基于所述核心数据项信息确定目标位置指引数据项，包括：基于所述过往生产异常信息在所述过往设备检测数据中的所述过往检测数据区段，挖掘所述参考设备检测数据中的参考核心数据项信息；将所述核心数据项信息与所述参考核心数据项信息进行对比，得到对比结果；基于所述对比结果在所述核心数据项信息中获取第一位置指引标记信息和所述第一位置指引标记信息对应的第一检测数据内容，将所述第一位置指引标记信息与所述第一检
测数据内容所构成的数据项确定为第一位置指引数据项；其中，所述第一位置指引标记信息为所述核心数据项信息的位置指引标记信息序列中，与所述参考核心数据项信息的目标参考位置指引标记信息一致的位置指引标记信息，所述目标参考位置指引标记信息在所述参考核心数据项信息中的检测数据区段，与所述第一位置指引标记信息在所述核心数据项信息中的检测数据区段一致；在所述核心数据项信息中，获取第二位置指引标记信息和所述第二位置指引标记信息对应的第二检测数据内容，将所述第二位置指引标记信息与所述第二检测数据内容所构成的数据项确定为第二位置指引数据项；其中，所述第二位置指引数据项为所述位置指引标记信息序列中除去所述第一位置指引标记信息之后的位置指引标记信息；将所述第一位置指引数据项和所述第二位置指引数据项确定为所述目标位置指引数据项。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于所述过往位置指引数据项样例序列和所述位置指引数据项样例信息，在所述核心数据项信息中确定所述设备检测数据对应的选定数据项信息，包括：将所述位置指引数据项样例信息与所述过往位置指引数据项样例序列进行对比；当所述过往位置指引数据项样例序列中包含和所述位置指引数据项样例信息一致的过往位置指引数据项样例时，将所述核心数据项信息中所述位置指引数据项样例信息对应的数据项进行清洗，得到所述选定数据项信息；当所述过往位置指引数据项样例序列中不包含和所述位置指引数据项样例信息一致的过往位置指引数据项样例时，将所...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚施健，郑经纬，陈国富，翁新增，朱辰涛，吴超农，吕巧丽，蒋美锐，苏少剑，缪振华，
申请(专利权)人：博纯材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：