一种单晶炉制造技术

技术编号:36854941 阅读:46 留言:0更新日期:2023-03-15 17:39
本实用新型专利技术提供了一种单晶炉。通过在石英坩埚上方设置提升机构,并将提升机构的第一旋转接头和第二旋转接头对称安装于法兰,并通过在第一旋转接头设置用于悬挂导流筒的第一挂钩,在第二旋转接头设置用于悬挂导流筒的第二挂钩,以及第一旋转接头和第二旋转接头通过第一三通与进水管连通,以及通过第二三通与出水管连通,不仅能够实现对炉体输送冷却液,还能实现对导流筒悬挂,进而能够通过导流筒向石英坩埚内输送保护气体,有效防止提纯多晶棒时多晶棒炸裂或拉制硅芯圆棒时硅芯圆棒炸裂。晶棒炸裂或拉制硅芯圆棒时硅芯圆棒炸裂。晶棒炸裂或拉制硅芯圆棒时硅芯圆棒炸裂。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉


[0001]本技术涉及光伏制造领域,具体为一种单晶炉。

技术介绍

[0002]目前,单晶炉在生产制造过程中,通常将水冷屏和悬挂导流筒的提升机构设置成一个系统,但是,由于在提纯多晶棒的时候,水冷屏的急速冷却会使多晶棒炸裂,以及在拉制硅芯圆棒时,水冷屏的急速冷却会使硅芯圆棒炸裂,因此,不能使提纯多晶棒经过水冷屏,进而需要将水冷屏单独拆下。
[0003]但是,由于现有将水冷屏和悬挂导流筒的提升机构为一个整体,将水冷屏拆下后,无法悬挂导流筒,而无法悬挂导流筒会降低硅料投料量,并增加生产成本,因此,急需一种不带水冷屏的悬挂导流筒的单晶炉。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术实施例提供了一种单晶炉,以解决现有单晶炉中将水冷屏拆下后,无法悬挂导流筒所带来的硅料投料量低级,增加生产成本的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术实施例提供如下技术方案:
[0006]一种单晶炉,单晶炉包括石英坩埚和导流筒,其特征在于,单晶炉,还包括:提升机构;
[0007]提升机构设置于石英坩埚上方;
[0008]提升机构包括:法兰、进水管、出水管、第一三通、第二三通、第一旋转接头和第二旋转接头;
[0009]第一三通的第一口用于与进水管的出水端连通,第一三通的第二口与第一旋转接头连通,第一三通的第三口与第二旋转接头连通;
[0010]第二三通的第一口用于与出水管的进水端连通,第二三通的第二口与第一旋转接头连通,第二三通的第三口与第二旋转接头连通;
[0011]第一旋转接头和第二旋转接头对称安装于法兰;
[0012]第一旋转接头设用于悬挂导流筒的第一挂钩;
[0013]第二旋转接头设用于悬挂导流筒的第二挂钩。
[0014]优选的,第一旋转接头的一侧开设有与第二三通的第二口连通的第一出水口;
[0015]第二旋转接头的一侧开设有与第二三通的第三口连通的第二出水口。
[0016]优选的,第一挂钩通过焊接固定于第一旋转接头;
[0017]和/或,第二挂钩焊通过焊接固定于第二旋转接头。
[0018]优选的,第一挂钩和第二挂钩均位于第一旋转接头与第二旋转接头之间。
[0019]优选的,第一旋转接头和/或第二旋转接头通过螺栓固定于法兰。
[0020]本技术提供了一种单晶炉,通过在石英坩埚上方设置提升机构,并将提升机构的第一旋转接头和第二旋转接头对称安装于法兰,进而将第一旋转接头和第二旋转接头
固定,并通过在第一旋转接头设置用于悬挂导流筒的第一挂钩,以及在第二旋转接头设置用于悬挂导流筒的第二挂钩,进而将导流筒悬挂,并将第一三通的第一口与进水管的出水端连通,第一三通的第二口与第一旋转接头连通,第一三通的第三口与第二旋转接头连通;第二三通的第一口与出水管的进水端连通,第二三通的第二口与第一旋转接头连通,第二三通的第三口与第二旋转接头连通,进而可保证进水管通过第一三通与第一旋转接头和第二旋转接头连通,第一旋转接头和第二旋转接头通过第二三通与出水管连通,不仅能够实现对炉体输送冷却液,还能实现对导流筒悬挂,进而能够通过导流筒向石英坩埚内输送保护气体,有效防止提纯多晶棒时多晶棒炸裂或拉制硅芯圆棒时硅芯圆棒炸裂。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术实施例提供的一种导流筒提升系统的结构示意图。
[0023]其中,石英坩埚1,导流筒2,法兰3,进水管4,出水管5,第一三通6,第二三通7,第一旋转接头8,第二旋转接头9,第一挂钩10,第二挂钩11。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0025]本技术实施例提供一种单晶炉,参见图1,图1为单晶炉的结构示意图,所述单晶炉包括石英坩埚1和导流筒2;
[0026]单晶炉,还包括:提升机构;
[0027]提升机构设置于石英坩埚1上方;
[0028]提升机构包括:法兰3、进水管4、出水管5、第一三通6、第二三通7、第一旋转接头8和第二旋转接头9;
[0029]第一三通6的第一口用于与进水管4的出水端连通,第一三通6的第二口与第一旋转接头8连通,第一三通6的第三口与第二旋转接头9连通;
[0030]第二三通7的第一口用于与出水管5的进水端连通,第二三通7的第二口与第一旋转接头8连通,第二三通7的第三口与第二旋转接头9连通;
[0031]第一旋转接头8和第二旋转接头9对称安装于法兰3;
[0032]第一旋转接头8设用于悬挂导流筒2的第一挂钩10;
[0033]第二旋转接头9设用于悬挂导流筒2的第二挂钩11。
[0034]需要说明的是,通过在石英坩埚1上方设置提升机构,并将提升机构的第一旋转接头8和第二旋转接头9对称安装于法兰3,进而将第一旋转接头8和第二旋转接头9固定,并通过在第一旋转接头8设置用于悬挂导流筒2的第一挂钩10,以及在第二旋转接头9设置用于
悬挂导流筒2的第二挂钩11,进而将导流筒2悬挂,并将第一三通6的第一口与进水管4的出水端连通,第一三通6的第二口与第一旋转接头8连通,第一三通6的第三口与第二旋转接头9连通;第二三通7的第一口与出水管5的进水端连通,第二三通7的第二口与第一旋转接头8连通,第二三通7的第三口与第二旋转接头9连通,进而可保证进水管4通过第一三通6与第一旋转接头8和第二旋转接头9连通,第一旋转接头8和第二旋转接头9通过第二三通7与出水管5连通,不仅能够实现对炉体输送冷却液,还能实现对导流筒2悬挂,进而能够通过导流筒2向石英坩埚1内输送保护气体,有效防止提纯多晶棒时多晶棒炸裂或拉制硅芯圆棒时硅芯圆棒炸裂。
[0035]具体的,第一旋转接头8的一侧开设有与第二三通7的第二口连通的第一出水口;
[0036]第二旋转接头9的一侧开设有与第二三通7的第三口连通的第二出水口。
[0037]需要说明的是,可以在第一旋转接头8的一侧开设有与第二三通7的第二口连通的第一出水口,也可以在第一旋转接头8的底部开设有与第二三通7的第二口连通的第一出水口,本领域技术人员可根据需求进行选择。
[0038]可以在第二旋转接头9的一侧开设有与第二三通7的第二口连通的第二出水口,也可以在第二旋转接头9的底部开设有与第二三通7的第三口连通的第二出水口,本领域技术人员可根据需求进本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉,所述单晶炉包括石英坩埚和导流筒,其特征在于,所述单晶炉,还包括:提升机构;所述提升机构设置于石英坩埚上方;所述提升机构包括:法兰、进水管、出水管、第一三通、第二三通、第一旋转接头和第二旋转接头;所述第一三通的第一口用于与所述进水管的出水端连通,所述第一三通的第二口与所述第一旋转接头连通,所述第一三通的第三口与所述第二旋转接头连通;所述第二三通的第一口用于与所述出水管的进水端连通,所述第二三通的第二口与所述第一旋转接头连通,所述第二三通的第三口与所述第二旋转接头连通;所述第一旋转接头和所述第二旋转接头对称安装于所述法兰;所述第一旋转接头设用于悬挂导流筒的第一挂钩;所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵韧刘超鲍迪
申请(专利权)人:双良硅材料包头有限公司
类型:新型
国别省市:

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