一种石英坩埚用快速降温装置制造方法及图纸

技术编号:36842289 阅读:14 留言:0更新日期:2023-03-15 15:48
本实用新型专利技术公开了一种石英坩埚用快速降温装置,包括内置腔室的承载锅以及容纳锅,容纳锅设置在承载锅内,腔室内固定连接有导温板,导温板上弹性连接有若干导温杆,该导温杆一端与容纳锅相贴,承载锅顶面贯穿有与腔室相通的进水管,该进水管与承载锅螺纹连接,承载锅上贯穿有与腔室相通的出水管,该出水管与承载锅螺纹连接,能够防止吸水海绵融化而出现导热效果降低的情况。热效果降低的情况。热效果降低的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚用快速降温装置


[0001]本技术涉及石英坩埚降温设备的
,特别是涉及一种石英坩埚用快速降温装置。

技术介绍

[0002]石英陶瓷坩埚能够承受较高热量,在一次使用过后石英陶瓷坩埚上将会存余较高热量,这就需要对热量进行快速排散,以将石英陶瓷坩埚存放在收纳柜或收纳箱中,而采用自然冷却的方式进行降温,降温速度慢,等待时间长,故需要借助一些特殊装置来对石英陶瓷坩埚进行快速降温。
[0003]如专利公开号为CN210533017U所公开的一种石英陶瓷坩埚用快速降温装置,包括承纳皿和收纳皿,所述承纳皿的内底面固定有隔断网,且隔断网的上表面安置有支条,所述承纳皿的底部安装有风机,且风机设于隔断网的下方,所述收纳皿放置在承纳皿的内部,且承纳皿与收纳皿之间留有间隙,所述收纳皿的底部与支条相接触,且收纳皿的沿口位置均匀开设有沿口槽。该石英陶瓷坩埚用快速降温装置分有两个部分,一部分为承纳皿,一部分为收纳皿,承纳皿与收纳皿之间留有间隙,用于散热,避免热量积存在装置中,不易发散,导致坩埚降温冷却效果较差,该石英陶瓷坩埚用快速降温装置采用多种方式进行降温,降温方式可选性强,降温效率高,降温效果好。
[0004]上述技术主要利用风机对收纳皿底面进行了冷却,在利用吸水海绵对收纳皿的侧壁进行导热,进而实现收纳皿的冷却,但收纳皿在对硅料加热完成后,收纳皿本身具有高温,而通过吸水海绵与收纳皿进行长期导热,吸水海绵会受到热量的影响出现融化的现象,这时易造成吸水海绵使用寿命降低


技术实现思路
/>[0005]本技术的目的就是解决现有技术中的问题,提出一种石英坩埚用快速降温装置,能够防止吸水海绵融化而出现导热效果降低的情况。
[0006]为实现上述目的,本技术提出了一种石英坩埚用快速降温装置,包括内置腔室的承载锅以及容纳锅,所述容纳锅设置在承载锅内,
[0007]所述腔室内固定连接有导温板,所述导温板上弹性连接有若干导温杆,该导温杆一端与容纳锅相贴,所述承载锅顶面贯穿有与腔室相通的进水管,该进水管与承载锅螺纹连接,所述承载锅上贯穿有与腔室相通的出水管,该出水管与承载锅螺纹连接。
[0008]作为优选,所述导温板上固定连接有弹簧伸缩杆,该弹簧伸缩杆一端与导温杆固定连接。
[0009]作为优选,所述导温板上固定连接有限位杆,该限位杆与导温杆滑动连接。
[0010]作为优选,所述进水管以及出水管上分别固定连接有主电磁阀以及次电磁阀,所述腔室内固定连接有温度感应器,所述承载锅一侧设置有控制器,所述控制器与温度感应器电线连接,所述控制器与主电磁阀以及次电磁阀电性连接。
[0011]作为优选,所述进水管上固定连接有过滤网。
[0012]作为优选,所述容纳锅底面固定连接有螺纹柱,该螺纹柱与承载锅螺纹连接。
[0013]作为优选,所述承载锅底面固定连接有支撑柱,该支撑柱上设置有外螺纹。
[0014]本技术的有益效果:与现有技术对比,本技术合理将外界的冷却液通过进水管传输至腔室内,利用导温板的导温,并传递温度给导温杆,使导温杆传递温度给容纳锅,实现容纳锅的减温,而利用导温杆对容纳锅进行减温,会消除吸水海绵出现融化的情况,同时利用弹性连接的导温杆,进一步增加导温杆与容纳锅的贴近度,进而增加容纳锅的冷却效果。
[0015]本技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
[0016]图1是本技术的结构示意图;
[0017]图2是本技术腔室的结构示意图;
[0018]图3是本技术弹簧伸缩杆的结构示意图;
[0019]图中:1、腔室;2、承载锅;3、容纳锅;4、导温板;5、导温杆;6、进水管;7、出水管;8、弹簧伸缩杆;9、限位杆;10、主电磁阀;11、次电磁阀;12、温度感应器;13、控制器;14、过滤网;15、螺纹柱;16、支撑柱;17、外螺纹。
【具体实施方式】
[0020]如图1至3,一种石英坩埚用快速降温装置,包括内置腔室的承载锅以及容纳锅,所述容纳锅设置在承载锅内,
[0021]在实际操作中,通过在承载锅上贯穿进水管,且该进水管内与承载锅螺纹连接,因此人员可将外界冷却液通过进水管传输至腔室内,在冷却液传输至腔室内时,由于导温板固定连接在腔室内,因此导温板对温度进行导温,在温度导温时,由于导温杆弹性连接在导温板上,因此导温板对导温杆进行导温后,并由导温杆传递温度给容纳锅,实现容纳锅的冷却,进一步提升容纳锅的冷却效果,而在冷却液导温时,通过贯穿在承载锅上并与腔室相通的进水管能够排放腔室内的冷却液,进一步提升冷却液的排放效果。
[0022]在导温杆需导温时,利用固定连接在导温板内的弹簧伸缩杆与导温杆固定连接,使弹簧伸缩杆驱使导温杆与容纳锅相贴,进一步增加导温杆与容纳锅的贴紧度,从而增加容纳锅的冷却效果。
[0023]而利用固定连接在导温板上的限位杆与导温杆滑动连接,进而增加导温杆的顺滑度,同时还能够对导温杆进行限位。
[0024]当腔室内冷却液温度上升至一定值时,固定连接在腔室内的温度感应器感应到温度,并传递给设置在承载锅一侧的控制器内,通过控制器控制分别固定连接在进水管以及出水管上的主电磁阀以及次电磁阀打开,实现冷却液的排放以及加入,进一步提升冷却液的更换效率,增加容纳锅的冷却效果。
[0025]而在外界冷却液传输至进水管内时,通过固定连接在进水管内的过滤网对进水管进行过滤,进一步提升冷却液的过滤效果,同时当过滤网需清理时,通过取出进水管,人员在对过滤网进行清理。
[0026]而在容纳锅底部固定连接螺纹柱,通过螺纹柱与承载锅螺纹连接,进而增加容纳锅的定位效果。
[0027]在承载锅底部固定连接支撑柱,且该支撑柱上设置外螺纹,便于人员将承载锅固定在外界的设备上。
[0028]本技术原理:通过进水管以及出水管对冷却液进行排放进行加液,冷却液在进行排放进行加液过程中,利用导温板对温度进行导温,并传递给导温杆上,由导温杆对容纳锅进行导温,实现容纳锅的冷却。
[0029]上述实施例是对本技术的说明,不是对本技术的限定,任何对本技术简单变换后的方案均属于本技术的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚用快速降温装置,包括内置腔室(1)的承载锅(2)以及容纳锅(3),所述容纳锅(3)设置在承载锅(2)内,其特征在于:所述腔室(1)内固定连接有导温板(4),所述导温板(4)上弹性连接有若干导温杆(5),该导温杆(5)一端与容纳锅(3)相贴,所述承载锅(2)顶面贯穿有与腔室(1)相通的进水管(6),该进水管(6)与承载锅(2)螺纹连接,所述承载锅(2)上贯穿有与腔室(1)相通的出水管(7),该出水管(7)与承载锅(2)螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚用快速降温装置,其特征在于:所述导温板(4)上固定连接有弹簧伸缩杆(8),该弹簧伸缩杆(8)一端与导温杆(5)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚用快速降温装置,其特征在于:所述导温板(4)上固定连接有限位杆(9),该限位杆(9)与导温杆(5)滑动连接。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:陶飞周勇吴伟华王洋洋
申请(专利权)人:浙江美晶新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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