一种用于金属坩埚的真空密封设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于金属坩埚的真空密封设备，包括金属坩埚、支撑架、石英管、石英管真空装置、真空泵和激光器；石英管真空装置连接有用于带动其转动的电机，石英管真空装置与支撑架转动连接；该真空密封设备通过将金属坩埚放置在石英管内，通过控制石英管内为真空状态从而为金属坩埚焊接提供真空环境，并利用石英管对激光的高透性，对内置金属坩埚采用激光器进行加热焊接，实现金属坩埚的真空熔封；同时通过石英管真空装置和电机的配合，实现金属坩埚的旋转，可以保证焊接的均匀性；本实用新型专利技术提供的真空密封设备可适用于钨坩埚、钼坩埚、钽坩埚等金属材质坩埚，应用范围广；此外，且整体设备结构简单、价格低廉、可操作性强。强。强。

【技术实现步骤摘要】
一种用于金属坩埚的真空密封设备


[0001]本技术属于金属坩埚密封
，具体涉及一种用于金属坩埚的真空密封设备。

技术介绍

[0002]坩埚是各类材料实验、生产过程常用的器皿，主要用于材料热处理、金属熔炼、高纯原料合成、晶体生长等。按照材质可分为石英玻璃坩埚、刚玉坩埚、石墨坩埚、氮化硼坩埚、金属(铂、铱、钨、钼、钽等)坩埚等；坩埚的材质及特性决定其使用环境，因此具有不同的用途。很多使用场合需要对坩埚进行真空密封处理，解决材料的挥发问题。对于石英玻璃坩埚，可以对其抽真空后采用氢氧焰熔封；但是，石英玻璃长期使用温度极限仅为1200℃，无法处理熔点更高的材料。很多金属坩埚，如钨、钼、钽等，熔点超过2000℃，可以处理熔点更高的材料。然而，这类金属坩埚一般采用真空电子束焊接实现真空密封，技术门槛高、工艺复杂、设备价格昂贵。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术的目的是提供一种用于金属坩埚的真空密封设备，该真空密封设备能够在真空或保护气体气氛下对金属坩埚进行熔封，保证坩埚及坩埚内原料不被氧化；且整体设备结构简单、价格低本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于金属坩埚的真空密封设备，其特征在于：包括金属坩埚、支撑架、石英管、石英管真空装置、真空泵和激光器；所述石英管真空装置连接有用于带动其转动的电机，所述石英管真空装置与支撑架转动连接；所述石英管真空装置包括中心轴，所述中心轴的内部延其轴向开设有贯通的真空孔道；所述中心轴的上部固定套接有桶状部，所述桶状部的内径与石英管的外经相适配，所述石英管倒置安装在桶状部内并与其密封连接；所述中心轴的顶部延其轴向方向向上固定有支撑座，所述支撑座的内部开设有与金属坩埚尺寸相适配的容纳腔；所述激光器的激光头与金属坩埚的待焊接位置位于同一高度；所述中心轴的底部连接有磁流体密封件，并通过磁流体密封件与真空泵连接。2.根据权利要求1所述的用于金属坩埚的真空密封设备，其特征在于：所述支撑架包括顶板、底板以及用于连接顶板和底板的竖直板；所述顶板的下方固定有限位筒，所述限位筒的内径与石英管真空装置中桶状部的外经相适配，所述限位筒的顶部贯穿顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋浩然，黄昌财，李博文，李辉，
申请(专利权)人：合肥执如光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：