下载一种用于金属坩埚的真空密封设备的技术资料

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本实用新型公开了一种用于金属坩埚的真空密封设备,包括金属坩埚、支撑架、石英管、石英管真空装置、真空泵和激光器;石英管真空装置连接有用于带动其转动的电机,石英管真空装置与支撑架转动连接;该真空密封设备通过将金属坩埚放置在石英管内,通过控制石英...
该专利属于合肥执如光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥执如光电科技有限公司授权不得商用。

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