用于真空镀膜的镀膜箱体制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜领域，公开了一种用于真空镀膜的镀膜箱体，包括镀膜箱本体，镀膜箱本体上铰接有箱门，箱门上安装有观察筒，观察筒远离箱门的一端封盖有盖板，盖板上内嵌有透明的观察板，观察筒内安装有挡板，挡板上设有与观察板相适配的观察口，挡板上于观察口的两侧分别转动安装有第一卷筒和第二卷筒，第一卷筒上卷绕有透明的塑料片，塑料片的自由端固定在第二卷筒上，且塑料片将观察口覆盖，观察筒内安装有用于驱动第二卷筒转动的调节杆，调节杆一端延伸至观察筒外并密封转动在观察筒上。本实用新型专利技术能够减少真空过程中产生的颗粒物附着在观察板上的情况，便于工作人员在镀膜过程中观察镀膜箱体的内部情况，使得镀膜工作能够顺利进行。作能够顺利进行。作能够顺利进行。

【技术实现步骤摘要】
用于真空镀膜的镀膜箱体


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及用于真空镀膜的镀膜箱体。

技术介绍

[0002]真空镀膜机是一种常用的镀膜工艺设备，广泛地用于半导体器件、金属以及其他功能性材料的薄膜制备，被镀膜的物件通常成为基材。真空镀膜机通常包括多个前处理箱体、一个镀膜箱体和多个后处理箱体，基材会依次通过这些箱体，前处理箱体用于处理镀膜前的基材，后处理箱体体用于处理镀膜后的基材，处理工艺包括清洗、加热等工艺；镀膜箱体用于给基材镀膜，镀膜箱体内安装有电子束蒸发机构，电子束蒸发机构内装有镀材，电子束蒸发机构能够将镀材蒸发，然后使镀材镀在基材上。
[0003]在真空镀膜的过程中，工作人员需要经常观察镀膜箱体内电子束蒸发机构的运行情况，所以大多数的镀膜箱体均在箱门上设置有观察机构，观察机构的主体为一个向上倾斜安装的观察筒，观察筒的一端密封焊接在箱门上，并且观察筒与箱门连接的一端与箱体连通，观察筒封盖有盖板，盖板上嵌设有透明的观察板，通过观察板可以观察到箱体的内部情况。
[0004]但是在镀膜过程中，被蒸发的镀材也会沉积到观察板上，时间一久，观察板上会附着大量的颗粒物，十分不利于工作人员观察镀膜箱体的内部情况。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术的目的是提供用于真空镀膜的镀膜箱体，解决了
技术介绍
中指出的在镀膜过程中，观察板上会附着大量的颗粒物，十分不利于工作人员观察镀膜箱体的内部情况的问题。
[0006]本技术通过以下技术手段解决上述技术问题：
[0007]用于真空镀膜的镀膜箱体，包括镀膜箱本体，所述镀膜箱本体上铰接有箱门，所述箱门上安装有观察筒，所述观察筒远离箱门的一端封盖有盖板，所述盖板上内嵌有透明的观察板，所述观察筒内安装有挡板，所述挡板上设有与观察板相适配的观察口，所述挡板上于观察口的两侧分别转动安装有第一卷筒和第二卷筒，所述第一卷筒上卷绕有透明的塑料片，所述塑料片的自由端固定在第二卷筒上，且所述塑料片将观察口覆盖，所述观察筒内安装有用于驱动第二卷筒转动的调节杆，所述调节杆一端延伸至观察筒外并密封转动在观察筒上。
[0008]通过采用上述方案，工作人员可以通过观察板和观察口观察镀膜箱本体的内部情况，因塑料片覆盖在观察口上，镀膜过程中颗粒物只会沉积在塑料片上，而观察板能够保持清晰状态，当塑料片上附着过多颗粒物时，只需转动调节杆，将附着了颗粒物的塑料片卷到第二卷筒上，并将新的塑料片从第一卷筒上移出来，继续覆盖观察口，以此减少了颗粒物附着在观察板上的情况，便于工作人员在镀膜过程中观察镀膜箱体的内部情况。
[0009]进一步，所述观察板和观察口均为矩形结构，所述挡板于观察口处固定有第一矩
形框板，所述第一矩形框板靠近第一卷筒和第二卷筒的两端分别设有缺口，所述塑料片穿过两侧的缺口并将第一矩形框板的敞口端覆盖。
[0010]通过采用上述方案，当塑料片穿过第一矩形框板的两个缺口时，能够对塑料片起到一个限位的作用，使得塑料片能够更好地将观察口覆盖，减少颗粒物附着在观察板上的情况。
[0011]进一步，所述第一矩形框板上铰接有第二矩形框板，所述第二矩形框板朝向第一矩形框板的一侧设有两个抵条，两个所述抵条能够分别进入两个缺口内并抵靠在塑料片上。
[0012]通过采用上述方案，当需要安装塑料片时，可以先转动第二矩形框板，使缺口暴露出来，然后将塑料片置于缺口中，并使塑料片覆盖第一矩形框板的敞口端，然后将塑料片的自由端固定在第二卷筒上，最后反方向转动第二矩形框板，使抵条进入缺口内并抵靠在塑料片上，既便于安装塑料片，同时又能够对塑料片起到限位作用。
[0013]进一步，所述第二矩形框板远离第一矩形框板的一侧抵靠在盖板上。
[0014]通过采用上述方案，当关上盖板时，盖板能够抵靠在第二矩形框上，从而避免第二矩形框板随意转动，加强对塑料片的限位作用。
[0015]进一步，所述挡板上于观察口的两侧分别设有安装架，所述第一卷筒和第二卷筒分别可拆卸地转动安装在两侧的安装架上。
[0016]通过采用上述方案，便于更换第一卷筒、第二卷筒以及塑料片。
[0017]进一步，所述安装架包括两块平行设置的安装板，所述安装板垂直固定在挡板上，所述安装板上转动安装有转轴，两根所述转轴相对的一侧固定有卡条；所述第一卷筒的两端均设有卡槽，所述卡条能够卡入与其同侧卡槽内，所述第二卷筒的结构和安装方式均与第一卷筒相同。
[0018]通过采用上述方案，安装第一卷筒和第二卷筒时，只需将卡条卡入卡槽内即可，操作简单。
[0019]进一步，所述调节杆位于观察筒内的一端与安装第二卷筒的转轴固定。
[0020]通过采用上述方案，便于调节杆能够顺利带动第二卷筒转动。
[0021]进一步，所述调节杆位于观察筒外的一端固定安装有手轮。
[0022]通过采用上述方案，便于工作人员转动调节杆。
[0023]进一步，所述安装板远离挡板的一侧抵靠在盖板上，且所述第一卷筒和第二卷筒限位在挡板和盖板之间。
[0024]通过采用上述方案，当关上盖板时，第一卷筒和第二卷筒能够始终限位在挡板和盖板之间，避免第一卷筒、第二卷筒与安装架脱离的情况。
[0025]本技术能够减少真空过程中产生的颗粒物附着在观察板上的情况，便于工作人员在镀膜过程中观察镀膜箱体的内部情况，使得镀膜工作能够顺利进行。
附图说明
[0026]图1是本技术一种用于真空镀膜的镀膜箱体的结构示意图；
[0027]图2是本技术中盖板打开时的结构示意图；
[0028]图3本技术中盖板和第二矩形框板同时打开时的结构示意图；
[0029]图4本技术中为展示第一卷筒如何安装的结构示意图；
[0030]其中，1、镀膜箱本体；11、箱门；12、门锁；2、观察筒；21、盖板；22、观察板；23、搭扣；3、挡板；31、观察口；32、第一矩形框板；33、缺口；34、第二矩形框板；35、抵条；4、第一卷筒；41、卡槽；5、第二卷筒；6、调节杆；61、手轮；7、安装板；71、转轴；72、卡条；8、塑料片。
具体实施方式
[0031]以下通过特定的具体实施例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容了解本技术的优点和功效。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本技术的限制，为了更好地说明本技术的实施例，图中某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
[0032]本技术实施例的图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件，在本技术的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于真空镀膜的镀膜箱体，包括镀膜箱本体，所述镀膜箱本体上铰接有箱门，所述箱门上安装有观察筒，所述观察筒远离箱门的一端封盖有盖板，所述盖板上内嵌有透明的观察板，其特征在于：所述观察筒内安装有挡板，所述挡板上设有与观察板相适配的观察口，所述挡板上于观察口的两侧分别转动安装有第一卷筒和第二卷筒，所述第一卷筒上卷绕有透明的塑料片，所述塑料片的自由端固定在第二卷筒上，且所述塑料片将观察口覆盖，所述观察筒内安装有用于驱动第二卷筒转动的调节杆，所述调节杆一端延伸至观察筒外并密封转动在观察筒上。2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的镀膜箱体，其特征在于：所述观察板和观察口均为矩形结构，所述挡板于观察口处固定有第一矩形框板，所述第一矩形框板靠近第一卷筒和第二卷筒的两端分别设有缺口，所述塑料片穿过两侧的缺口并将第一矩形框板的敞口端覆盖。3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜的镀膜箱体，其特征在于：所述第一矩形框板上铰接有第二矩形框板，所述第二矩形框板朝向第一矩形框板的一侧设有两个抵条，两个所述抵条能够分别进入两个缺口内并抵靠在塑料片上。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：冯欢，曹蔚琦，夏文豪，孟晓敏，骆中涛，
申请(专利权)人：重庆诺奖二维材料研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：