一种燃烧式尾气处理设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种燃烧式尾气处理设备，属于太阳能电池制造技术领域。包括进气管、燃烧炉体和点火棒，燃烧炉体上表面固定安装有密封板，密封板上表面中间位置处开设有安装孔，进气管底端插入安装孔内并伸入燃烧炉体内腔中，进气管底端开设有若干个燃烧孔，点火棒为J型，点火棒顶端固定安装在密封板上表面一侧，点火棒底端为其点火尖端，点火尖端对准进气管底端中部。本实用新型专利技术通过设置点火棒为J型，使点火棒的电弧产生在进气管的出口方向，可以确保点火棒的点火尖端与燃烧孔之间产生电弧，确保燃烧式尾气处理设备可以一次性点火成功，大大缩短了燃烧式尾气处理设备的维护时间，提高了CVD设备利用率，实现了CVD设备的产能最大化。化。化。

【技术实现步骤摘要】
一种燃烧式尾气处理设备


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，具体为一种燃烧式尾气处理设备。

技术介绍

[0002]在太阳能电池技术的发展过程中，提效降本是永恒的主题。随着P型电池接近理论效率极限，N型电池技术将成为未来发展的主流方向。在众多的N型电池技术中异质结电池技术具有效率高、无衰减、生产工艺简单、工艺温度低等优点，从众多技术路线中脱颖而出，也在近年的新技术开发中备受关注。提效降本的方法有很多，从设备的角度考虑，缩短设备维护时间、提高设备利用率是一种非常有效的降本方法。太阳能异质结电池生产过程中用到了四大类设备，分别为制绒清洗设备、CVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备，其中CVD设备核心工作是将工艺气体通入真空腔室，利用射频电源将工艺气体电离为等离子体沉积到硅片表面形成电池核心P
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N结膜层。由于工艺气体是有毒易燃气体，因此真空腔室反应结束后需要将多余的气体利用真空泵抽到燃烧式尾气处理设备进行处理。燃烧式尾气处理设备在燃烧尾气的过程中会产生硅粉附着到燃烧孔表面，随着燃烧的进行硅粉不断堆积堵塞燃烧孔，使得燃烧式尾气处理设备无法工作，需要对其进行维护保养。燃烧式尾气处理设备的维护流程是：第一步，设备下电关机，用高压强压缩空气对着燃烧孔吹扫附着在其表面的硅粉；第二步，设备上电开机进行点火，点火成功开始生产。表面上看维护流程非常简单，维护耗时应该很短，而实际维护时间很长，而且耗时不确定，少则一小时、两小时，多则一天、两天，甚至会更长。维护节拍主要卡在第二步：尾气处理设备点火。其中燃烧式尾气处理设备的点火流程为：点火棒接入高电压，让点火棒尖端与燃烧孔之间产生尖端放电现象，在尖端放电的同时通入天然气，尖端放电产生的电弧引燃从燃烧孔流出的天然气，点火就成功了。而实际点火过程中频繁点火失败，为了点火成功只能不断尝试点火，直到点火成功为止。
[0003]经过研究发现，现有的燃烧式尾气处理设备频繁点火失败的原因为：点火棒的点火尖端呈L型，这种点火棒虽然结构简单，制作方便，但是在点火棒工作时，实际产生电弧的位置却与设计预期不符。设计预期希望电弧发生在点火棒尖端与燃烧孔之间，而实际电弧却大部分时候产生在点火棒直角处，如图1所示，即实际产生电弧的位置远离了燃烧孔，从而无法引燃从燃烧孔流出的天然气。
[0004]燃烧式尾气处理设备频繁点火失败导致燃烧式尾气处理设备实际维护时间很长，而且耗时不确定。燃烧式尾气处理设备长时间无法点火成功导致CVD设备无法生产，造成CVD设备产能大量流失。因此解决燃烧式尾气处理设备点火问题，缩短维护时间，提高CVD设备利用率，最大化CVD设备产能是目前亟待解决的问题。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种燃烧式尾气处理设备。本技术提供如下技术方案：
[0006]一种燃烧式尾气处理设备，其包括进气管、燃烧炉体和点火棒，所述燃烧炉体上表
面固定安装有密封板，所述密封板上表面中间位置处开设有安装孔，进气管底端插入所述安装孔内并伸入燃烧炉体内腔中，所述进气管底端开设有若干个燃烧孔，点火棒为J型，点火棒顶端固定安装在密封板上表面一侧，所述点火棒底端为其点火尖端，点火尖端对准进气管底端中部。
[0007]可选地，所述燃烧炉底部焊接有观察管，所述观察管上安装有观察窗，观察窗与观察管铰接。
[0008]可选地，所述燃烧炉体一侧上部焊接有排风管，排风管上安装有阀门。
[0009]可选地，所述进气管上安装有气体流量计。
[0010]可选地，所述阀门为电磁阀，所述电磁阀与PLC连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0012]本技术通过设置点火棒为J型，使点火棒的电弧产生在进气管的出口方向，可以确保点火棒的点火尖端与燃烧孔之间产生电弧，确保燃烧式尾气处理设备可以一次性点火成功，大大缩短了燃烧式尾气处理设备的维护时间，提高了CVD设备利用率，实现了CVD设备的产能最大化。
附图说明
[0013]图1为现有的燃烧式尾气处理设备的结构示意图。
[0014]图2为本技术立体图。
[0015]图3为本技术主剖视结构示意图。
[0016]附图标记：1、进气管；2、安装孔；3、密封板；4、燃烧炉体；5、观察管；6、观察窗；7、排风管；8、点火棒；9、燃烧孔；10、阀门。
具体实施方式
[0017]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0018]如图2和图3所示，本技术提出的一种燃烧式尾气处理设备，其包括进气管1、燃烧炉体4和点火棒8，所述燃烧炉体4上表面固定安装有密封板3，所述密封板3上表面中间位置处开设有安装孔2，进气管1底端插入所述安装孔2内并伸入燃烧炉体4内腔中，所述进气管1底端开设有若干个燃烧孔9，点火棒8为J型，点火棒8顶端固定安装在密封板3上表面一侧，所述点火棒8底端为其点火尖端，点火尖端对准进气管1底端中部。
[0019]本技术在使用时，CVD设备真空腔室反应结束后多余的尾气利用真空泵通过进气管1抽到燃烧炉体4内腔中，然后再通过进气管1向燃烧炉体4内腔中通入天然气。接下来，给点火棒8接入高压电，使点火棒8的点火尖端与燃烧孔9之间产生电弧，从而引燃天然气并对尾气进行处理。
[0020]可选地，所述燃烧炉4底部焊接有观察管5，所述观察管5上安装有观察窗6，观察窗6与观察管5铰接。透过观察窗6能够观察燃烧炉4内部是否点火成功。
[0021]可选地，所述燃烧炉体4一侧上部焊接有排风管7，排风管7上安装有阀门10。打开阀门10后，燃烧炉体4内部燃烧处理完成后的残余气体可以通过排风管7排出。进一步地，所述阀门10为电磁阀，所述电磁阀与PLC连接，实现可以通过PLC控制阀门10的开闭，从而实现燃烧处理完成后的残余气体的自动排放。
[0022]可选地，所述进气管1上安装有气体流量计。通过设置气体流量计，可以观察并统计进入燃烧炉体4内的尾气的量和天然气的量，确保进入燃烧炉体4内的尾气与天然气量配比比较合适，从而避免天然气浪费。
[0023]通过实际生产验证表明，当将点火棒8设置为J型后，点火棒8的电弧产生在进气管1的出口方向，可以确保点火棒8的点火尖端与燃烧孔9之间产生电弧，确保燃烧式尾气处理设备可以一次性点火成功，大大缩短了燃烧式尾气处理设备的维护时间，提高了CVD设备利用率，实现了CVD设备的产能最大化。
[0024]上述具体实施例仅仅是本技术的几种优选的实施例，基于本技术的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种燃烧式尾气处理设备，其特征在于：包括进气管(1)、燃烧炉体(4)和点火棒(8)，所述燃烧炉体(4)上表面固定安装有密封板(3)，所述密封板(3)上表面中间位置处开设有安装孔(2)，进气管(1)底端插入所述安装孔(2)内并伸入燃烧炉体(4)内腔中，所述进气管(1)底端开设有若干个燃烧孔(9)，点火棒(8)为J型，点火棒(8)顶端固定安装在密封板(3)上表面一侧，所述点火棒(8)底端为其点火尖端，点火尖端对准进气管(1)底端中部。2.根据权利要求1所述的一种燃烧式尾气处理设备，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王明明，郭磊，牛志楠，王强强，许利群，李星廷，霍礼煜，王泰，和青青，
申请(专利权)人：晋能光伏技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：