一种基于多重扫描的三维成像系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种基于多重扫描的三维成像系统，属于电子显微镜技术领域，能够实现微观三维图像的采集，同时获取纳米级到厘米级的三维图像信息；该装置包括X射线显微镜子系统、离子研磨仪子系统、扫描电子显微镜子系统、光学显微镜子系统、PC端和SEM样品台；SEM样品台上设置有待测样品；X射线显微镜子系统包括X射线源和X射线探测器；X射线源和X射线探测器分设在SEM样品台的两侧；扫描电子显微镜子系统设置在待测样品正上方；离子研磨仪子系统设置在待测样品一侧；光学显微镜子系统与待测样品的上表面光性连接；SEM样品台、X射线显微镜子系统、离子研磨仪子系统、扫描电子显微镜子系统、光学显微镜子系统均与PC端连接。光学显微镜子系统均与PC端连接。光学显微镜子系统均与PC端连接。

【技术实现步骤摘要】
一种基于多重扫描的三维成像系统


[0001]本技术涉及电子显微镜
，尤其涉及一种基于多重扫描的三维成像系统。

技术介绍

[0002]近年来，电镜技术迅速发展，特别是电镜在生物学中的应用，已不仅停留在单纯直观的描述，而且已开展了由定性到定量，由平面到空间的立体研究。这对深入了解生物材料尤其是细胞成分的空间相对位置和生物大分子的空间结构及其与功能关系，都有十分重大的意义。与此同时，电镜技术正在逐渐与数学和物理学的有关领域结合起来，从而给生物科学工作者提供了很多定量的信息。
[0003]近年来相关的三维成像方法趋近成熟，有三维重构技术，三维冷冻电镜技术，还有公开号为CN208420756U的中国专利公开了一种成像系统，该专利技术方案采用聚焦离子束子系统(FIB)对待测样品进行加工处理。
[0004]但是上面的方法都适用于纳米、微米、毫米级的三维成像技术，不适用于更大尺寸的三维图像。
[0005]因此，有必要研究一种新的基于多重扫描的三维成像系统来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。r/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于多重扫描的三维成像系统，其特征在于，包括X射线显微镜子系统、离子研磨仪子系统、扫描电子显微镜子系统、光学显微镜子系统、PC端和SEM样品台；所述SEM样品台上设置有待测样品；所述X射线显微镜子系统包括X射线源和X射线探测器；所述X射线源和所述X射线探测器对应性地分设在所述SEM样品台的两侧；所述扫描电子显微镜子系统设置在所述待测样品正上方；所述离子研磨仪子系统设置在所述待测样品的第三侧；所述光学显微镜子系统与所述待测样品的上表面光性连接；所述SEM样品台、所述X射线显微镜子系统、所述离子研磨仪子系统、所述扫描电子显微镜子系统、所述光学显微镜子系统均与所述PC端连接。2.根据权利要求1所述的基于多重扫描的三维成像系统，其特征在于，还包括垫脚；所述垫脚垫设在所述待测样品与所述SEM样品台之间。3.根据权利要求1所述的基于多重扫描的三维成像系统，其特征在于，所述离子研磨仪子系统可移动地设置在所述待测样品的第三侧。4.根据权利要求1所述的基于多重扫描的三维成像系统，其特征在于，所述离子研磨仪子系统可移动设置的具体方式为：沿Y轴方向设置离子研磨底座，所述离子研磨底座上可转动地设有丝杠，所述丝杠的一端与设置在所述离子研磨底座一端的丝杠电机固定连接；所述离子研磨仪...

【专利技术属性】
技术研发人员：何伟，胡继闯，张月新，
申请(专利权)人：纳克微束北京有限公司，
类型：新型
国别省市：