一种硅棒监控方法、装置及相关设备制造方法及图纸

本申请提供一种硅棒监控方法、装置及相关设备，其中，所述方法包括：获取待检测硅棒的第一监控图像；对第一监控图像进行图像分析，确定第一监控图像中黑斑区域的数目参数和第一监控图像中黑斑区域的面积参数；在数目参数大于或等于第一阈值，和/或，面积参数大于或等于第二阈值的情况下，生成警告信息。通过获取待检测硅棒的第一监控图像，提取第一监控图像中所报考黑斑区域的数目参数和面积参数，并在所述数目参数和/或面积参数指示待检测硅棒中黑斑占比过大的情况下，生成警告信息的自动化监控方式，以替代人工巡检的监控方式，避免人为因素的干扰，减少错判异常硅棒或漏判异常硅棒等情况的出现概率，提升对硅棒生长状况的监控效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒监控方法、装置及相关设备


[0001]本申请涉及多晶硅生产
，具体涉及一种硅棒监控方法、装置及相关设备。

技术介绍

[0002]多晶硅还原工序是生产过程中的关键环节，还原车间内包括多个还原炉，为了对多个还原炉中每一还原炉内反应状况(也即反应炉内的硅棒生长状况)进行及时监测，需要现场人员定期巡检还原炉，观测炉内硅棒生长形态、炉内清晰度、表面颜色、倒棒情况等，并结合观测情况和过往经验判断还原炉内的硅棒生长是否存在异常。
[0003]应用中发现，采用上述人工巡检的方式对还原炉内反应状况进行监测，受人为因素的干扰较大，易出现错判异常硅棒或漏判异常硅棒的情况，也就是说，相关技术对硅棒生长状况的监控效果较差。

技术实现思路

[0004]本申请实施例的目的在于提供一种硅棒监控方法、装置及相关设备，用于解决相关技术在监控硅棒生长状况时存在的监控效果较差的问题。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种硅棒监控方法，所述方法包括：
[0006]获取待检测硅棒的第一监控图像；
[0007]对所述第一监控图像进行图像分析，确定所述第一监控图像中黑斑区域的数目参数和所述第一监控图像中黑斑区域的面积参数；
[0008]在所述数目参数大于或等于第一阈值，和/或，所述面积参数大于或等于第二阈值的情况下，生成警告信息。
[0009]可选的，所述对所述第一监控图像进行图像分析，确定所述第一监控图像中黑斑区域的数目参数和所述第一监控图像中黑斑区域的面积参数，包括：
>[0010]对所述第一监控图像进行灰度化处理，获得灰度图像；
[0011]对所述灰度图像包括的硅棒图像进行连通域分析，确定所述硅棒图像包括的至少一个黑斑图块；
[0012]根据所述至少一个黑斑图块，确定所述第一监控图像中黑斑区域的数目参数和所述第一监控图像中黑斑区域的面积参数。
[0013]可选的，所述方法还包括：
[0014]获取所述待检测硅棒的第二监控图像以及所述第二监控图像对应的时间参数，所述时间参数用于指示所述待检测硅棒的生长时间；
[0015]将对应所述时间参数的参考图像与所述第二监控图像包括的硅棒图像进行相似度比较，获得比较结果，所述参考图像用于指示疏松料硅棒；
[0016]根据所述比较结果，确定所述待检测硅棒的质量信息。
[0017]可选的，将对应所述时间参数的参考图像与所述第二监控图像包括的硅棒图像进行相似度比较，获得比较结果，包括：
[0018]将对应所述时间参数的至少两个参考图像分别与所述第二监控图像包括的硅棒图像进行相似度比较，获得所述至少两个参考图像中每一参考图像对应的比较参数；
[0019]对所述至少两个参考图像中每一参考图像对应的比较参数进行均值计算，获得比较结果。
[0020]可选的，所述根据所述比较结果，确定所述待检测硅棒的质量信息，包括：
[0021]在所述比较结果指示所述待检测图像对应的硅棒为疏松料硅棒的情况下，对所述第二监控图像包括的硅棒图像进行连通域分析，确定N个间隙图块，所述间隙图块用于指示所述待检测硅棒表面的多个硅颗粒之间的间隙，N为大于或等于1的整数；
[0022]根据M个间隙图块的图块面积确定所述待检测硅棒的质量信息，其中，所述M个间隙图块为所述N个间隙图块中图块面积从大到小排列的前M个间隙图块。
[0023]第二方面，本申请实施例还提供一种硅棒监控装置，所述装置包括：
[0024]第一获取模块，用于获取待检测硅棒的第一监控图像；
[0025]第一分析模块，用于对所述第一监控图像进行图像分析，确定所述第一监控图像中黑斑区域的数目参数和所述第一监控图像中黑斑区域的面积参数；
[0026]警告模块，用于在所述数目参数大于或等于第一阈值，和/或，所述面积参数大于或等于第二阈值的情况下，生成警告信息。
[0027]可选的，所述第一分析模块，包括：
[0028]灰度处理子模块，用于对所述第一监控图像进行灰度化处理，获得灰度图像；
[0029]连通域分析子模块，用于对所述灰度图像包括的硅棒图像进行连通域分析，确定所述硅棒图像包括的至少一个黑斑图块；
[0030]参数确定子模块，用于根据所述至少一个黑斑图块，确定所述第一监控图像中黑斑区域的数目参数和所述第一监控图像中黑斑区域的面积参数。
[0031]可选的，所述硅棒监控装置还包括：
[0032]第二获取模块，用于获取所述待检测硅棒的第二监控图像以及所述第二监控图像对应的时间参数，所述时间参数用于指示所述待检测硅棒的生长时间；
[0033]图像比较模块，用于将对应所述时间参数的参考图像与所述第二监控图像包括的硅棒图像进行相似度比较，获得比较结果，所述参考图像用于指示疏松料硅棒；
[0034]质量分析模块，用于根据所述比较结果，确定所述待检测硅棒的质量信息。
[0035]第三方面，本申请实施例还提供一种电子设备，包括处理器、存储器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现上述的硅棒监控方法的步骤。
[0036]第四方面，本申请实施例还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的硅棒监控方法的步骤。
[0037]在本申请实施例中，通过获取待检测硅棒的第一监控图像，提取第一监控图像中所报考黑斑区域的数目参数和面积参数，并在所述数目参数和/或面积参数指示待检测硅棒中黑斑占比过大的情况下，生成警告信息的自动化监控方式，以替代人工巡检的监控方式，避免人为因素的干扰，减少错判异常硅棒或漏判异常硅棒等情况的出现概率，提升对硅棒生长状况的监控效果。
附图说明
[0038]图1是本申请实施例提供的一种硅棒监控方法的流程图；
[0039]图2是本申请实施例提供的一种第二监控图像包括的硅棒图像的示意图；
[0040]图3是本申请实施例提供的一种硅棒监控装置的结构示意图；
[0041]图4是本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
[0042]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0043]本申请实施例提供一种硅棒监控方法，参见图1，图1是本申请实施例提供的硅棒监控方法的流程图，如图1所示，包括以下步骤：
[0044]步骤101、获取待检测硅棒的第一监控图像。
[0045]其中，所述第一监控图像可以为图像采集设备经由硅棒还原炉的视镜拍摄得到的炉内图像，所述图像采集设备可以为正对硅棒还原炉的视镜设置的固定相机，也可以为巡检机器人上装配的相机(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒监控方法，其特征在于，所述方法包括：获取待检测硅棒的第一监控图像；对所述第一监控图像进行图像分析，确定所述第一监控图像中黑斑区域的数目参数和所述第一监控图像中黑斑区域的面积参数；在所述数目参数大于或等于第一阈值，和/或，所述面积参数大于或等于第二阈值的情况下，生成警告信息。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述第一监控图像进行图像分析，确定所述第一监控图像中黑斑区域的数目参数和所述第一监控图像中黑斑区域的面积参数，包括：对所述第一监控图像进行灰度化处理，获得灰度图像；对所述灰度图像包括的硅棒图像进行连通域分析，确定所述硅棒图像包括的至少一个黑斑图块；根据所述至少一个黑斑图块，确定所述第一监控图像中黑斑区域的数目参数和所述第一监控图像中黑斑区域的面积参数。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：获取所述待检测硅棒的第二监控图像以及所述第二监控图像对应的时间参数，所述时间参数用于指示所述待检测硅棒的生长时间；将对应所述时间参数的参考图像与所述第二监控图像包括的硅棒图像进行相似度比较，获得比较结果，所述参考图像用于指示疏松料硅棒；根据所述比较结果，确定所述待检测硅棒的质量信息。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，将对应所述时间参数的参考图像与所述第二监控图像包括的硅棒图像进行相似度比较，获得比较结果，包括：将对应所述时间参数的至少两个参考图像分别与所述第二监控图像包括的硅棒图像进行相似度比较，获得所述至少两个参考图像中每一参考图像对应的比较参数；对所述至少两个参考图像中每一参考图像对应的比较参数进行均值计算，获得比较结果。5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述比较结果，确定所述待检测硅棒的质量信息，包括：在所述比较结果指示所述待检测图像对应的硅棒为疏松料硅棒的情况下，对所述第二监控图像包括的硅棒图像进行连通域分析，确定N个间隙图块，所述间隙图块用于指示所述待检测硅棒表面的...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕海花，刘丹丹，侯雨，刘兴平，王倩，狐政恺，董越杰，
申请(专利权)人：内蒙古新特硅材料有限公司，
类型：发明
国别省市：