本发明专利技术公开了一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，包括沉积炉本体，所述沉积炉本体的一侧连接有冷凝机构，所述冷凝机构包括抽气管道，所述抽气管道的一端探入沉积炉本体的底端，所述抽气管道的另一端固定卡接有气体传输泵，所述气体传输泵的一侧固定连接有弯折通气管，所述弯折通气管由多个弯折通道构成，且弯折通气管的内壁设置有防污纳米涂层，所述弯折通气管的一侧内壁固定连接有通气管，所述弯折通气管的外壁覆盖有冷凝柜，所述冷凝柜的底端外壁连接有总控箱，所述冷凝柜的一侧内壁设置有冷凝器，所述通气管的底端内壁焊接有连通管，本发明专利技术公开的化学气相沉积炉用尾气处理装置具有使尾气能在流通过程中完成过滤，提高尾气处理效率的效果。气处理效率的效果。气处理效率的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉用尾气处理装置
[0001]本专利技术涉及化学气相沉积炉尾气处理
，尤其涉及一种化学气相沉积炉用尾气处理装置。
技术介绍
[0002]近年来半导体电子工业中，SiC(碳化硅)引起人们极大的兴趣，其是在一些极端条件下应用的半导体器件的比较好的候选材料，如高温和辐射环境、高功率的应用、高热功率消散等。公司采用先进的化学气相沉积技术，克服了传统制造碳化硅成本高、产能低、晶粒小、杂质多的缺点，更能够贴合市场需求，竞争力强。使用化学气相沉积炉内在～1000℃、30～100Torr的条件下生成碳化硅，反应方程式如下：
[0003]SiCl3CH3
→
SiC+3HCl(利用NaOH中和)
[0004]化学气相沉积炉排出的尾气处理过程较为复杂，需要经过中和和炉灰过滤才可完成对尾气的处理，基于此，化学气相沉积炉的尾气处理效率较低，进一步影响到生产效率。
技术实现思路
[0005]本专利技术公开一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，旨在解决如何提高化学气相沉积炉的尾气处理效率，提高生产效率的技术问题。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0007]一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，包括沉积炉本体，所述沉积炉本体的一侧连接有冷凝机构，所述冷凝机构包括抽气管道，所述抽气管道的一端探入沉积炉本体的底端，所述抽气管道的另一端固定卡接有气体传输泵，所述气体传输泵的一侧固定连接有弯折通气管，所述弯折通气管由多个弯折通道构成，且弯折通气管的内壁设置有防污纳米涂层，所述弯折通气管的一侧内壁固定连接有通气管，所述弯折通气管的外壁覆盖有冷凝柜，所述冷凝柜的底端外壁连接有总控箱，所述冷凝柜的一侧内壁设置有冷凝器，所述通气管的底端内壁焊接有连通管，且通气管通过连通管连接有储油罐，所述通气管的一端连接有过滤机构，所述沉积炉本体的一侧外壁固定连接有支撑架，所述支撑架上固定有中和机构，所述中和机构设置在弯折通气管的顶端。
[0008]通过设置有冷凝机构，由于弯折通气管是由多个弯折通道构成，进一步拉长尾气受冷时间，使尾气中的焦油能充分液化，同时由于弯折通道内设置有防污纳米涂层，使液化后的焦油在顺着弯折通气管流动的同时不会粘附在弯折通气管的内壁，避免形成堵塞，同时通过中和机构对尾气内的酸性进行中和，通过过滤机构过滤尾气中的颗粒，使尾气能在流通过程中完成过滤，达到直排要求，提高尾气处理效率。
[0009]在一个优选的方案中，所述中和机构包括储液罐，所述储液罐的顶端内壁设置有注液口，所述储液罐的顶端内壁固定连接有深度探测器，所述储液罐的底端内壁固定连接有倒锥槽口，所述储液罐的一侧内壁固定连接有抽液管，所述抽液管的一端连接有弧形管，所述弧形管的底端内壁等密度设置有多个雾化喷头，所述弯折通气管的顶端内壁设置有卡
槽，所述弧形管刚好卡接在卡槽的内壁并在连接处形成密封，所述抽液管的一侧内壁设置有抽液泵，所述抽液管的另一端通过螺纹扭接有过渡仓，所述过渡仓的内壁固定卡接有多个滤网，所述过渡仓的底端同时通过螺纹扭接有软管，所述软管的底端探入倒锥槽口的底部。
[0010]通过设置有中和机构，对尾气进行处理前，通过注液口向储液罐内灌注氢氧化钠液体，处理过程中，在抽液泵的作用下，将氢氧化钠液体抽入弧形管内，并通过雾化喷头喷出，使其在尾气进入弯折通气管的同时均匀接受氢氧化钠液体，并与其中和反应，剩余液体通过弯折通气管排出至储油罐内，提高中和反应效率，进一步缩短尾气处理时间，同时通过设置有滤网，用于过滤氢氧化钠液体中产生的氢氧化钙颗粒，避免对抽液泵和雾化喷头造成堵塞，保障使用寿命。
[0011]在一个优选的方案中，所述过滤机构包括多个过滤支架，多个所述过滤支架的底端通过合页两两相连，相邻两个所述过滤支架的连接处设置有密封圈，且密封圈固定在单个过滤支架的外壁，所述过滤支架的一侧内壁设置有多个第二卡槽，多个所述第二卡槽的内壁分别卡接有卡块，多个所述卡块内壁同时固定连接有方形滤网，所述方形滤网的外壁贴合过滤支架的内壁，多个所述方形滤网按规格由大到小顺序排列，所述卡块和第二卡槽的连接处设置有密封垫，且密封垫固定在第二卡槽的内壁，最前端的单个所述过滤支架的两侧外壁固定连接有挂架，最后端的单个所述过滤支架的两侧外壁固定连接有连接架，所述连接架的外壁活动套接有挂钩。
[0012]通过设置有过滤机构，过滤机构是由多个过滤支架构成，并通过合页、挂架和挂钩进行连接，通过密封垫和密封圈保证密封性，便于方形滤网的拆卸和过滤支架的内壁清洁，降低维护操作难度。
[0013]由上可知，一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，包括沉积炉本体，所述沉积炉本体的一侧连接有冷凝机构，所述冷凝机构包括抽气管道，所述抽气管道的一端探入沉积炉本体的底端，所述抽气管道的另一端固定卡接有气体传输泵，所述气体传输泵的一侧固定连接有弯折通气管，所述弯折通气管由多个弯折通道构成，且弯折通气管的内壁设置有防污纳米涂层，所述弯折通气管的一侧内壁固定连接有通气管，所述弯折通气管的外壁覆盖有冷凝柜，所述冷凝柜的底端外壁连接有总控箱，所述冷凝柜的一侧内壁设置有冷凝器，所述通气管的底端内壁焊接有连通管，且通气管通过连通管连接有储油罐，所述通气管的一端连接有过滤机构，所述沉积炉本体的一侧外壁固定连接有支撑架，所述支撑架上固定有中和机构，所述中和机构设置在弯折通气管的顶端。本专利技术提供的化学气相沉积炉用尾气处理装置具有使尾气能在流通过程中完成过滤，提高尾气处理效率的技术效果。
附图说明
[0014]图1为本专利技术提出的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置的整体外观结构示意图。
[0015]图2为本专利技术提出的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置的冷凝机构结构示意图。
[0016]图3为本专利技术提出的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置的中和机构结构示意图。
[0017]图4为本专利技术提出的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置的过滤机构打开状态结构示意图。
[0018]图5为本专利技术提出的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置的过滤支架和方形滤网连接结构示意图。
[0019]图中：1、冷凝机构；2、中和机构；3、支撑架；4、沉积炉本体；5、过滤机构；6、通气管；7、冷凝柜；8、弯折通气管；9、冷凝器；10、卡槽；11、气体传输泵；12、抽气管道；13、总控箱；14、储油罐；15、连通管；16、储液罐；17、注液口；18、深度探测器；19、抽液泵；20、抽液管；21、弧形管；22、雾化喷头；23、过渡仓；24、滤网；25、软管；26、倒锥槽口；27、过滤支架；28、挂架；29、挂钩；30、连接架；31、密封圈；32、密封垫；33、第二卡槽；34、卡块；35、方形滤网。
具体实施方式
[0020]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0021]本专利技术公开的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置主要应用于化本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，包括沉积炉本体(4)，其特征在于，所述沉积炉本体(4)的一侧连接有冷凝机构(1)，所述冷凝机构(1)包括抽气管道(12)，所述抽气管道(12)的一端探入沉积炉本体(4)的底端，所述抽气管道(12)的另一端固定卡接有气体传输泵(11)，所述气体传输泵(11)的一侧固定连接有弯折通气管(8)，所述弯折通气管(8)由多个弯折通道构成，且弯折通气管(8)的内壁设置有防污纳米涂层，所述弯折通气管(8)的一侧内壁固定连接有通气管(6)，所述弯折通气管(8)的外壁覆盖有冷凝柜(7)，所述冷凝柜(7)的底端外壁连接有总控箱(13)，所述冷凝柜(7)的一侧内壁设置有冷凝器(9)，所述通气管(6)的底端内壁焊接有连通管(15)，且通气管(6)通过连通管(15)连接有储油罐(14)，所述通气管(6)的一端连接有过滤机构(5)，所述沉积炉本体(4)的一侧外壁固定连接有支撑架(3)，所述支撑架(3)上固定有中和机构(2)，所述中和机构(2)设置在弯折通气管(8)的顶端。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，其特征在于，所述中和机构(2)包括储液罐(16)，所述储液罐(16)的顶端内壁设置有注液口(17)，所述储液罐(16)的顶端内壁固定连接有深度探测器(18)，所述储液罐(16)的底端内壁固定连接有倒锥槽口(26)。3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，其特征在于，所述储液罐(16)的一侧内壁固定连接有抽液管(20)，所述抽液管(20)的一端连接有弧形管(21)，所述弧形管(21)的底端内壁等密度设置有多个雾化喷头(22)。4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积炉用尾气处理装...
【专利技术属性】
技术研发人员：奚衍罡，
申请(专利权)人：苏州冠岚新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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