一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，包括持杆，所述持杆的一侧外壁固定连接有固定件，且固定件的一侧外壁开设有活动口，所述固定件的外壁开设有四个限位槽口，且四个限位槽口的内壁滑动连接有固定板，所述固定板的一侧外壁固定连接有驱动电机。本实用新型专利技术在进行常压化学气相沉积炉排气罩除尘时，通过驱动电机带动转板，进而带动除尘筒和其表面的清洁刷毛转动对排气罩进行清洁，同时排气罩上清扫下的灰尘通过除尘口和吸尘气泵进入除尘筒内部，并由吸尘气泵带动通过转板转动时吸尘管与转板的间隙将除尘筒内部的灰尘吸出，使得清洁与吸尘可同时进行，避免对生产区域造成污染，提高了产品质量。提高了产品质量。提高了产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具


[0001]本技术涉及常压化学气相沉积炉除尘
，尤其涉及一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具。

技术介绍

[0002]采用常压化学气相沉积炉给单晶硅硅片施加背风片的工艺过程中，由于生产中会产生大量二氧化硅挥发物，而且这些挥发物沉积在常压化学气相沉积炉的重要部件排气罩及氮气罩表面上，积累一定时间后将严重影响单晶硅片表面二氧化硅膜沉积效果，甚至会出现大量诸如小蓝点、大蓝点、空心点、大白点、均匀性不一等表面缺陷，严重影响背封片的产量、质量及验收率。因此需要定期对排气罩进行彻底有效的清理，使排气罩达到一定的洁净度时才能确保背风片的连续性生产。
[0003]现有的常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具存在有不足之处：刷子刷沉积物与吸尘器的吸除不是同步进行，而是先刷后吸，因此会有大量细小的沉积物飘散出来，污染整个生产区域，这对于需要有苛刻环境要求的常压化学气相沉积来说，是致命的。将会严重影响背封片的产品质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种常压化学本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，包括持杆(1)，其特征在于，所述持杆(1)的一侧外壁固定连接有固定件(5)，且固定件(5)的一侧外壁开设有活动口(11)，所述固定件(5)的外壁开设有四个限位槽口(3)，且四个限位槽口(3)的内壁滑动连接有固定板(6)，所述固定板(6)的一侧外壁固定连接有驱动电机(12)，且驱动电机(12)的输出轴通过联轴器固定连接有转板(20)，所述转板(20)的一侧外壁固定连接有除尘筒(4)，且除尘筒(4)的外壁等距离开设有多个除尘口(13)，所述持杆(1)的一侧外壁与固定件(5)一侧外壁均开设有两个贯穿的吸尘通口(8)，且固定板(6)的一侧外壁开设有两个连接口，两个所述吸尘通口(8)的内壁均滑动连接有吸尘管(9)，且两个吸尘管(9)的外壁均固定连接于连接口的内壁，两个所述吸尘管(9)的一端固定连接有同一个安装板(19)，且安装板(19)的一侧外壁与转板(20)的一侧外壁相接触。2.根据权利要求1所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，其特征在于，所述持杆(1)的另一侧外壁固定连接有安装框(...

【专利技术属性】
技术研发人员：奚衍罡，
申请(专利权)人：苏州冠岚新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：