一种线扫描MicroLED光强检测光学模组制造技术

本发明专利技术涉及光学检测技术领域，具体涉及一种线扫描Micro LED光强检测光学模组，包括LED光源、均光镜组、第一透镜组、分光镜组、MicroLED晶片、第二透镜组、CCD镜组和CCD传感器，LED光源依次经过均光镜组、第一透镜组、分光镜组、MicroLED晶片、第二透镜组、CCD镜组和CCD传感器。本发明专利技术克服了现有技术的不足，通过设置均光镜组，均光镜组将光源调整为平行均匀光斑，相较于直接将光源照射至MicroLED晶片检测可有效保障光源输出的均匀性，使得CCD传感器可较为完全的接收到光线，减少光强检测的误差，并且该模组设置有分光镜组和第二透镜组，分光镜组与第二透镜组配合使用将入射角调整至与CCD镜组相同，可有效避免入射角发生偏移CCD传感器未完全检测。CCD传感器未完全检测。CCD传感器未完全检测。

【技术实现步骤摘要】
一种线扫描Micro LED光强检测光学模组


[0001]本专利技术涉及光学检测
，具体为一种线扫描Micro LED光强检测光学模组。

技术介绍

[0002]应用CCD可直接测量单缝衍射的光强分布，并可在数显示波器中直接显示光强分布曲线的全貌，从而精确测量单缝宽度，Micro LED光强检测过程中通过透镜将光线传导至CCD光强传感器中，此为如今实验室光强检测的常用方法之一。
[0003]可参考市面上的正在售卖的CCD光强分布测量仪，进行光强检测时时以CCD光强分布测量仪为基础设备添加透镜进行Micro LED晶片的光强检测，检测过程中通过LED光源照射至Micro LED晶片，再检测Micro LED晶片发出的光线强度，此种直接输入LED光源的方式容易受到外部环境导致光源较为分散，进而使得Micro LED晶片受到的光源不均匀，增加光强检测的误差，并且Micro LED晶片发出的光线若与CCD镜组入光角不一致，使得CCD传感器很难完全接收到Micro LED晶片的检测光线，因此需要一种可将输入光源均匀输入且输出光源与CCD镜组入光角一致的Micro LED光强检测光学模组。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种线扫描Micro LED光强检测光学模组，旨在解决现有技术中，直接输入LED光源的方式容易受到外部环境导致光源较为分散以及Micro LED晶片发出的光线若与CCD镜组入光角不一致，使得CCD传感器很难完全接收到Micro LED晶片的检测光线的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了如下的技术方案：
[0006]LED光源、均光镜组、第一透镜组、分光镜组、Micro LED晶片、第二透镜组、CCD镜组和CCD传感器，所述LED光源依次经过均光镜组、第一透镜组、分光镜组、Micro LED晶片、第二透镜组、CCD镜组和CCD传感器。
[0007]优选的，所述均光镜组将光线折射为高均匀光线。
[0008]优选的，所述第一透镜组将光线折射为平行小角度高均匀光斑。
[0009]优选的，所述分光镜组将光线折射为垂直方向至Micro LED晶片。
[0010]优选的，所述Micro LED晶片将光线反射至分光镜组。
[0011]优选的，所述分光镜组将Micro LED晶片的反射光线传导至第二透镜组。
[0012]优选的，所述第二透镜组将光线调整为与CCD镜组同一水平线。
[0013]优选的，所述CCD镜组将光线送入至CCD传感器。
[0014]本专利技术实施例提供了一种线扫描Micro LED光强检测光学模组，具备以下有益效果：
[0015]1、通过设置均光镜组，均光镜组将光源调整为平行均匀光斑，相较于直接将光源照射至Micro LED晶片检测可有效保障光源输出的均匀性，使得Micro LED晶片接收的LED光源更为均匀，减少光强检测的误差。
[0016]2、通过设置分光镜组和第二透镜组，该模组设置有分光镜组和第二透镜组，分光镜组与第二透镜组配合使用将入射角调整至与CCD镜组相同，可有效避免入射角发生偏移CCD传感器未完全检测，使得CCD传感器可较为完全的接收到Micro LED晶片的检测光线。
附图说明
[0017]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。在附图中：
[0018]图1是本专利技术光强检测流程图。
[0019]图中：1、LED光源；2、均光镜组；3、第一透镜组；4、分光镜组；5、Micro LED晶片；6、第二透镜组；7、CCD镜组；8、CCD传感器。
具体实施方式
[0020]以下结合附图对本专利技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0021]实施例：如图1所示，LED光源1射入，经过均光镜组2将光线整合成均匀性光线，通过第一透镜组3整合呈平行小角度、高均匀的光线，再通过分光镜组4将平行光线改变为垂直方向投向待测物(Micro LED晶片5)，Micro LED晶片5发出光线再经过分光镜组4，配合第二透镜组6将光线角度调整为与CCD镜组7同一入光角，使得光线能够确保相同角度入射至CCD传感器8中。
[0022]工作原理：检测过程中LED光源1射入，经过均光镜组2将光线整合成均匀性光线，相较于直接将光源照射至Micro LED晶片5检测可有效保障光源输出的均匀性，使得Micro LED晶片5接收的LED光源1更为均匀，减少光强检测的误差，通过第一透镜组3整合呈平行小角度、高均匀的光线，再通过分光镜组4将平行光线改变为垂直方向投向待测物(Micro LED晶片5)，Micro LED晶片5发出光线再经过分光镜组4，配合第二透镜组6将光线角度调整为与CCD镜组7同一入光角，使得光线能够确保相同角度入射至CCD传感器8中，可有效避免入射角发生偏移CCD传感器8未完全检测，使得CCD传感器8可较为完全的接收到Micro LED晶片5的检测光线。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线扫描Micro LED光强检测光学模组，其特征在于，包括：LED光源(1)、均光镜组(2)、第一透镜组(3)、分光镜组(4)、Micro LED晶片(5)、第二透镜组(6)、CCD镜组(7)和CCD传感器(8)，所述LED光源(1)依次经过均光镜组(2)、第一透镜组(3)、分光镜组(4)、Micro LED晶片(5)、第二透镜组(6)、CCD镜组(7)和CCD传感器(8)。2.根据权利要求1所述的线扫描Micro LED光强检测光学模组，其特征在于，所述均光镜组(2)将光线折射为高均匀光线。3.根据权利要求1所述的线扫描Micro LED光强检测光学模组，其特征在于，所述第一透镜组(3)将光线折射为平行小角度高均匀光斑。4.根据权利要求1所述的线扫描Micro LE...

【专利技术属性】
技术研发人员：周亚兴，唐孝生，庄益祯，游证杰，
申请(专利权)人：奇格半导体重庆有限责任公司，
类型：发明
国别省市：