一种用于元件表面的散射特性测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于元件表面的散射特性测量装置及方法，以解决现有的显微镜检测方法检测效率低，检测成本高且容易伤害元件表面的问题。具体包括积分球A、积分球B、衰减模块、光源组件、第一探测器、第二探测器和数据处理单元；积分球A上设有入射口、第一出射口、采样口和第二出射口；光源组件对应设置在积分球A的入射口外，第一探测器对应设置在积分球A的第一出射口外；采样口分别与积分球A的入射口及第一出射口对应，采样口用于设置待测元件；积分球B上设有入射口和出射口；第二探测器设置对应在积分球B的出射口处；衰减模块设置在积分球A的第二出射口与积分球B的入射口之间；数据处理单元分别与第一探测器和第二探测器电连接。电连接。电连接。

【技术实现步骤摘要】
一种用于元件表面的散射特性测量装置及方法


[0001]本专利技术涉及元件特性参数的测量，尤其涉及一种用于元件表面的散射特性测量装置及方法。

技术介绍

[0002]超光滑表面元件是指其表面粗糙度均方根值(RMS)小于1纳米的元件，其物理结构和表面的损伤程度也具有严格的要求，超光滑表面元件的表面残余应力极小,具有完整的晶格结构。
[0003]超光滑表面元件，由于其优异的表面特性被广泛应用在激光陀螺、航空航天、纳米薄膜以及超精密加工制造等领域。元件表面的散射特性是影响元件质量的关键因素。例如在高功率激光领域，光学元件的散射特性会在相当程度上影响系统的整体水平。因此，散射特性作为光学领域中的一个关键性指标，精确测量超光滑表面元件上的分布，对杂散光的测量与抑制、高端光学仪器的研制与装调等都具有重要意义。对于超光滑的表面，其散射光水平极其微弱。传统的检测方法是通过高精度显微镜，例如原子力显微镜等进行观测，但该检测方法主要是针对元件面形观测，对检测元件散光特性效率较低，需要专业的技术人员进行操作，且检测成本高昂，同时在检测过程中，工作距离一般都比较短本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：包括积分球A(1)、积分球B(2)、衰减模块(3)、光源组件(4)、第一探测器(5)、第二探测器(6)以及数据处理单元(7)；所述积分球A(1)上设有入射口、第一出射口、采样口以及第二出射口；所述光源组件(4)对应设置在所述积分球A(1)的入射口外，所述第一探测器(5)对应设置在所述积分球A(1)的第一出射口外；所述采样口分别与积分球A(1)的入射口及积分球A(1)的第一出射口对应，所述采样口用于设置待测元件(8)；所述积分球B(2)上设有入射口和出射口；所述第二探测器(6)设置对应在所述积分球B(2)的出射口处；所述衰减模块(3)设置在所述积分球A(1)的第二出射口与所述积分球B(2)的入射口之间；所述数据处理单元(7)分别与所述第一探测器(5)和所述第二探测器(6)电连接。2.根据权利要求1所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：所述光源组件(4)包括光源(41)和移频调制器(42)；所述光源(41)设置在所述移频调制器(42)的入射端；所述移频调制器(42)的出射端与所述积分球A(1)的入射口相对。3.根据权利要求2所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：还包括第三探测器(9)；所述光源组件(4)还包括分光镜(43)；所述分光镜(43)设置在所述移频调制器(42)与所述积分球A(1)之间；所述积分球A(1)的入射口位于所述分光镜(43)的透射光线所在的光路上；所述第三探测器(9)设置在所述分光镜(43)的反射光线所在的光路上，并与所述数据处理单元(7)电连接。4.根据权利要求3所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：所述光源组件(4)还包括光阑；所述光阑设置在所述移频调制器(42)和所述分光镜(43)之间，用于滤除光学噪声。5.根据权利要求1
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4任一所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：还包括具有编码器的转台(10)；所述光源组件(4)设置在所述转台(10)上；所述编码器与所述数据处理单元(7)电连接，用于实时输出所述转台(10)的旋转角度。6.根据权利要求2或3或4所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：所述光源(41)为激光器。7.一种用于元件表面的散射特性测量方法，基于权利要求1
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6任一所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：步骤1、通过光源组...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘巍，李朝辉，毛振，赵建科，朱辉，魏紫薇，刘勇，刘金博，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：