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本发明公开了一种用于元件表面的散射特性测量装置及方法，以解决现有的显微镜检测方法检测效率低，检测成本高且容易伤害元件表面的问题。具体包括积分球A、积分球B、衰减模块、光源组件、第一探测器、第二探测器和数据处理单元；积分球A上设有入射口、第一...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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