一种复合化学蚀刻加工装置及加工方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及微加工领域，尤其公开了复合化学蚀刻加工装置及加工方法，复合化学蚀刻加工装置包括掩模单元、同步亲水化单元及化学蚀刻单元，掩模单元贴合在工件表面，同步亲水化单元对掩模单元以及掩模图案所显露的工件加工区域进行亲水化处理，使得复合化学蚀刻加工过程和亲水化效应实现实时同步，从而使得工件的加工区域具备优异的工作液传质及循环能力；实时的亲水化处理效应，使得在蚀刻加工过程中蚀刻液在工件加工区域内始终具有良好的传质和更新能力，利于突破现有掩模化学蚀刻加工在加工尺度上及加工深度上的制造瓶颈，实现高深径比微结构的制备，提升微结构的加工质量及加工效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种复合化学蚀刻加工装置及加工方法


[0001]本专利技术涉及微加工领域，尤其公开了一种复合化学蚀刻加工装置及加工方法。

技术介绍

[0002]表面功能微结构有利于提高医疗植入体的多项性能，而掩模工艺结合化学蚀刻加工在植入体表面功能微结构制造等领域有着极为广泛的应用，但是随着科技的快速发展，植入体表面功能微结构不仅需要满足更多的功能，在尺寸方面也提出了新的需求，并且能加工的极限尺寸及精度直接影响植入体能实现的功能，目前新的加工尺度需求为几十微米到几微米或者甚至为纳米级。
[0003]掩模化学蚀刻加工等工艺主要是通过掩模结构的约束，经由化学蚀刻的方式对掩模的缺口所露出的工件进行微加工，但当加工尺度为几微米或者更小的结构时，由于掩膜的疏水性，化学蚀刻液难以进入加工区域，影响加工过程刻蚀液的传质，甚至造成加工无法稳定持续进行，最终影响加工性能。
[0004]针对上述问题，研究者对掩模化学蚀刻加工工艺技术进行了大量的研究，有研究人员采用外场辅助，比如超声振动、磁场等促进化学蚀刻液在微小掩模结构内的传质，提高化学蚀刻液的更新能力而改善加工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合化学蚀刻加工装置，其特征在于：包括掩模单元、同步亲水化单元及化学蚀刻单元，掩模单元贴合在工件上，掩模单元设有显露工件加工区域的掩模图案，化学蚀刻单元用于将化学蚀刻液输送至掩模图案所显露的工件加工区域；同步亲水化单元对掩模单元及掩模图案所显露的工件加工区域进行实时的亲水化处理，促进化学蚀刻液在加工区域的传质及流动。2.根据权利要求1所述的复合化学蚀刻加工装置，其特征在于：同步亲水化单元包括等离子处理机、第一电极、第二电极、喷枪件、气体源，第一电极、第二电极均位于喷枪件内，等离子处理机的正极、负极分别连接第一电极、第二电极，气体源与喷枪件连通，气体源用于向喷枪件输送气体，等离子处理机作用于两个电极，使得喷枪件内的气体电离形成等离子体，喷枪件喷出的等离子体作用在掩模单元及掩模图案所显露的工件加工区域，实现对其表面进行亲水化处理，使得掩模单元及掩模图案所显露的工件加工区域在化学蚀刻加工过程中均能实现实时亲水化。3.根据权利要求2所述的复合化学蚀刻加工装置，其特征在于：等离子体为等离子体，等离子体避免高温等离子体对掩模层的烧蚀和对掩模结构的破坏。4.根据权利要求2所述的复合化学蚀刻加工装置，其特征在于：掩模单元为活动掩模，活动掩模与工件可拆卸连接，同步亲水化单元喷出的等离子体作用在活动掩模及掩模图案所显露的工件加工区域，使得活动掩模及掩模图案所显露的工件加工区域在化学蚀刻加工过程中实现实时亲水化。5.根据权利要求2所述的复合化学蚀刻加工装置，其特征在于：掩模单元经由光刻法制造成型，掩模单元固定附着在工件表面上，同步亲水化单元喷出的等离子体作用在掩模单元及掩模图案所显露的工件加工区域，使得掩模单元及掩模图案所显露的工件加工区域在化学蚀刻加工过程中实现实时亲水化。6.根据权利要求2所述的复合化学蚀刻加工装置，其特征在于：掩模单元经由印刷法制造成型，掩模单元固定附着在工件表面上，同步亲水化单...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢闺娥，史开慧，
申请(专利权)人：广州医科大学，
类型：发明
国别省市：