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本发明涉及微加工领域，尤其公开了复合化学蚀刻加工装置及加工方法，复合化学蚀刻加工装置包括掩模单元、同步亲水化单元及化学蚀刻单元，掩模单元贴合在工件表面，同步亲水化单元对掩模单元以及掩模图案所显露的工件加工区域进行亲水化处理，使得复合化学蚀刻...
该专利属于广州医科大学所有，仅供学习研究参考，未经过广州医科大学授权不得商用。

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