【技术实现步骤摘要】
化学药剂回收装置
[0001]本技术的实施例涉及化学药剂回收装置。
技术介绍
[0002]在蚀刻工艺中，针对不同的材料进行湿蚀刻要使用不同蚀刻液，如果一部湿蚀刻机仅能处理一种材料，遇到不同材料的湿蚀刻需求就需要多台湿蚀刻机，且在连续多层不同材料的湿蚀刻制程时，会需要多台湿蚀刻机，显然拖慢了生产效率，多部蚀刻机及占据的无尘室空间等都是需要考虑的成本。为了能让连续多种材料的蚀刻工艺在一部蚀刻设备内完成，发展出可提供多种蚀刻液的湿蚀刻机。具有提供多种蚀刻液以蚀刻多种材料能力的湿蚀刻机需要有液体分类及回收的能力，以减低药液成本、废液处理成本、及对环境的危害。
[0003]市面上已推出具有液体分类及回收的能力的旋转湿蚀刻机，例如图1，产品100会在原地旋转，蚀刻液滴落至产品100时，液体会因产品100旋转而被甩出，再由蚀刻桶槽140接住，导流至特定回收槽，使用不同蚀刻液蚀刻不同材料时，升降机构120会调整蚀刻桶槽高度，让蚀刻液被甩到特定层别，达到回收蚀刻液的功效。但蚀刻液滴落至产品上时，反弹的蚀刻液喷溅方向无法控制，会喷溅到不...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学药剂回收装置，其特征在于，包括：第一液体回收环以及环绕所述第一液体回收环外侧的第二液体回收环，所述第一液体回收环的底部具有第一排液口，所述第二液体回收环的底部具有第二排液口；第一液体收集区和第二液体收集区，分别收集来自所述第一排液口和所述第二排液口的液体；第一回收管路，连接所述第一液体回收环和所述第一液体收集区，所述第一回收管路穿过所述第二液体回收环；以及第二回收管路，连接所述第二液体回收环和所述第二液体收集区。2.根据权利要求1所述的化学药剂回收装置，其特征在于，当所述化学药剂回收装置在第一使用状态时，所述第一液体回收环上方的第一开口高于被蚀刻的产品，并且所述第二液体回收环上方的第二开口与所述第一开口重叠，当所述化学药剂回收装置在第一使用状态时，向所述产品喷洒去离子水，从所述产品流下的液体由所述第一液体回收环进入所述第一液体收集区。3.根据权利要求1所述的化学药剂回收装置，其特征在于，当所述化学药剂回收装置在第二使用状态时，所述第一液体回收环上方的第一开口低于被蚀刻的产品，且所述第二液体回收环上方的第二开口高于所述产品，所述第二液体回收环与所述第一液体回收环之间具有第二间隙。4.根据权利要求3所述的化学药剂回收装置，其特征在于，还包括：第二液体管路，一端连接所述第二液体收集区，另一端连接到被蚀刻的产品上方，所述第二液体管路用于将所述第二液体收集区内的第二液体喷洒在所述产品上。5.根据权利要求4所述的化学药剂回收装置，其特征在于，当所述化学药剂回收装置在所述第二使用状态时，从所述产品上流下的液体由所述第二液体回收环进入所述第二液体收集区。6.根据权利要求1所述的化学药剂回收装置，其特征在于，还包括：第三液体回收环，...
【专利技术属性】
技术研发人员：许嘉峻，徐悠和，王志锋，杨秉丰，黄泰源，
申请(专利权)人：日月光半导体制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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