封装型旋转泵单元制造技术

本发明专利技术提供一种封装型旋转泵单元，即使在内置于密闭箱体的旋转泵作为真空泵在真空度高的范围内使用的情况下，也能够防止密闭箱体的内部空气过热，从而能够维持高的泵性能，能够延长装置寿命。封装型旋转泵单元具备：电动旋转泵(200)，其具备吸入/排出气体的旋转泵(2)及电动马达(3)；以及密闭箱体(1)，其内置该电动旋转泵(200)，而且，具备：液冷换热器(5)，其配置于密闭箱体(1)的内部，从配置于密闭箱体(1)的外部的冷却液供给源(4)接受冷却液的供给而被冷却；以及送风装置(6)，其配置于密闭箱体(1)的内部，向液冷换热器(5)输送包含通过因旋转泵(2)的运转而使该旋转泵(2)的周围的空气被加热而产生的加热空气的密闭箱体(1)内的内部空气，以使该内部空气冷却。以使该内部空气冷却。以使该内部空气冷却。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】封装型旋转泵单元


[0001]本专利技术涉及一种封装型旋转泵单元，其具备：电动旋转泵，其具备对气体进行吸入/排出的旋转泵及使该旋转泵驱动的电动马达；以及密闭箱体，其内置上述电动旋转泵。

技术介绍

[0002]作为现有的封装型旋转泵单元，本申请人提出了一种气压装置站的排气温度调整系统，其特征在于，设置有气压装置、收纳箱、送风装置、水冷式的冷却器、以及水温控制单元和流量控制单元的至少一方，上述气压装置为真空泵、鼓风机等产生负压、正压的气压的装置，上述收纳箱能够收纳多个上述气压装置，并且通过将上述气压装置收纳于封闭空间而能够隔音，上述送风装置为了吸入外部空气将被上述气压装置加热了的上述收纳箱内冷却而产生在该收纳箱内实质上从下方流向上方的冷却用空气流，并将其排出，上述水冷式的冷却器是为了使上述冷却用空气流通过将其冷却而设置，上述冷却单元向上述冷却器供给冷水，上述水温控制单元控制水温，以调整向上述冷却器供给的冷水的温度，上述流量控制单元控制流量，以调整向上述冷却器供给的冷水的流量，在上述收纳箱内，在高度方向的中途部载置有上述气压装置的搁板状支撑部至少设有一层，该搁板状支撑部具有开放部，以允许上述冷却用空气流的流动(参照专利文献1)。
[0003]另外，作为内置于封装型旋转泵单元的旋转泵的例子，如图22所示，本申请人提出了一种旋转泵(爪式泵)，其以形成使两个圆的一部分重合的截面形状的泵室10的方式具备缸筒部10a、设置于该缸筒部10a的一方的端面的一方的端壁部10b、以及设置于该缸筒部10a的另一方的端面的另一方的端壁部10c，而且，具备：两个旋转轴20A、20B，其在上述泵室10内平行地配置，且向相反方向以相同速度旋转；两个转子30A、30B，其分别设置于该两个旋转轴20A、20B并配置于上述泵室10内，且形成有钩形的爪部，以能够在相互不接触状态下旋转而将吸入的气体压缩并排出；以及排气侧开口部50，其设置为在上述一方的端壁部10b和上述另一方的端壁部10c中的至少一方的部位且面向上述泵室10内的压缩气体的部位的位置开口，其中，上述排气侧开口部50通过前级通气口51和后级排气口(排气口55)来设置，前级通气口51在通过上述两个转子30A、30B的上述爪部彼此使气体的压缩比最大化的前级与上述泵室10的外部连通，后级排气口(排气口55)以包括通过上述两个转子30A、30B的上述爪部彼此使气体的压缩比比上述前级靠最大化的阶段向上述泵室10的外部排气的方式连通，在上述后级排气口(排气口55)与上述泵室10的外部连通且气体的压缩比最大化的阶段，上述前级通气口51被上述转子30A关闭，以在泵室主体部与轴承主体部之间形成冷却用的间隙的方式，泵主体设置为分割的构造，上述泵室主体以形成上述泵室10的方式由缸筒部10a及分别设置于该缸筒部的两端面的端壁部10b、10c设置，上述轴承主体部设置有轴承部40，轴承部40以上述两个转子30A、30B分别配置于上述两个旋转轴20A、20B的一方的端以悬臂状态被支撑的方式轴支承该两个旋转轴20A、20B(参照专利文献2)。
[0004]根据该本申请人提出的爪式泵，排气侧开口部50由分别开口设置的前级通气口51和后级排气口(排气口55)构成。因此，在例如作为真空泵在高真空度下使用的情况下，通过
在前级通气口51向泵室10内吸入未过热的外部空气，能够在后级排气口(排气口55)抑制排气逆流，能够防止泵室10过热，由此，能够提高泵性能。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：(日本)专利第5041849号公报(权利要求1、图1)
[0008]专利文献2：(日本)专利第6749714号公报(权利要求1、图3)

技术实现思路

[0009]专利技术所要解决的课题
[0010]对于封装型旋转泵单元所要解决的问题点在于，在现有的封装型旋转泵单元中，虽然提出了从外部导入冷却用空气，将被旋转泵加热了的空气向箱体的外部排出，但未探讨如下方案，即，在旋转泵内置于密闭箱体内，被该旋转泵加热了的空气无法排出到该密闭箱体外的情况下，有效地防止该密闭箱体内过热。即，若密闭箱体内由于旋转泵的运转而过热，使内部空气的温度上升，则将会对电动马达、电气部件等带来不良影响，因此，需要合适的温度对策。
[0011]因此，本专利技术的目的在于提供一种封装型旋转泵单元，即使在内置于密闭箱体的旋转泵例如作为真空泵在真空度高的范围内使用而发热量大的情况下，也能够防止密闭箱体的内部空气过热，从而能够维持高的泵性能，能够延长装置寿命。
[0012]用于解决课题的技术方案
[0013]本专利技术为了实现上述目的而具备如下的结构。
[0014]根据本专利技术的封装型旋转泵单元的一方案，为一种封装型旋转泵单元，其具备：电动旋转泵，其具备吸入/排出气体的旋转泵及驱动该旋转泵的电动马达；以及密闭箱体，其内置该电动旋转泵，而且该封装型旋转泵单元具备：液冷换热器，其配置于上述密闭箱体的内部，且从配置于上述密闭箱体的外部的冷却液供给源接受冷却液的供给而被冷却；以及送风装置，其配置于上述密闭箱体的内部，且向上述液冷换热器输送包括加热空气的密闭箱体内的内部空气，以使该内部空气冷却，其中，上述加热空气通过因上述旋转泵的运转而使该旋转泵的周围的空气被加热而产生，上述旋转泵为双轴旋转泵，设置为，一方的转子旋转轴串联连接于上述电动马达的旋转轴而旋转，另一方的转子旋转轴经由齿轮向与上述一方的转子旋转轴相反的方向同步旋转，在配置有上述另一方的转子旋转轴的轴心的延长线上的空间亦即与上述电动马达和上述一方的转子旋转轴连接的部位相邻的空间，配置有上述液冷换热器及上述送风装置。
[0015]另外，根据本专利技术的封装型旋转泵单元的一方案，其特征在于，具备泵罩部，该泵罩部以配置于上述密闭箱体的内部并覆盖上述旋转泵的方式设置，且形成为，设置有：导入在上述密闭箱体的内部循环的上述内部空气的循环空气入口部；以及排出包括上述加热空气的上述内部空气的循环空气出口部。另外，该泵罩部能够特征在于，设置成覆盖上述电动旋转泵中的除了上述电动马达的上述旋转泵的周围，且上述循环空气入口部设置成将上述旋转泵的周围包围并以带状开放的形态。更具体地，能够特征在于，上述旋转泵具备轴承主体部、泵室主体部、以及第一消音器部，上述泵罩部设置为，覆盖上述轴承主体部和上述泵室主体部的周围。
[0016]另外，根据本专利技术的封装型旋转泵单元的一方案，能够特征在于，上述液冷换热器连接于上述循环空气出口部侧，上述送风装置连接于上述液冷换热器，以吸引上述内部空气，使上述内部空气从上述循环空气入口部向上述循环空气出口部流动，并通过上述液冷换热器。
[0017]另外，根据本专利技术的封装型旋转泵单元的一方案，能够特征在于，上述旋转泵连接于上述冷却液供给源，以被冷却。
[0018]另外，根据本专利技术的封装型旋转泵单元的一方案，为一种封装型旋转泵单元，其具备：电动旋转泵，其具备吸入/排出气体的旋转泵及驱动该旋转泵的电动马达；以及密闭箱体，其内置该电动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种封装型旋转泵单元，其具备：电动旋转泵，其具备吸入/排出气体的旋转泵及驱动该旋转泵的电动马达；以及密闭箱体，其内置该电动旋转泵，该封装型旋转泵单元的特征在于，具备：液冷换热器，其配置于上述密闭箱体的内部，且从配置于上述密闭箱体的外部的冷却液供给源接受冷却液的供给而被冷却；以及送风装置，其配置于上述密闭箱体的内部，且向上述液冷换热器输送包括加热空气的密闭箱体内的内部空气，以使该内部空气冷却，其中，上述加热空气通过因上述旋转泵的运转而使该旋转泵的周围的空气被加热而产生，上述旋转泵为双轴旋转泵，设置为，一方的转子旋转轴串联连接于上述电动马达的旋转轴而旋转，另一方的转子旋转轴经由齿轮向与上述一方的转子旋转轴相反的方向同步旋转，在配置有上述另一方的转子旋转轴的轴心的延长线上的空间亦即与上述电动马达和上述一方的转子旋转轴所连接的部位相邻的空间，配置有上述液冷换热器及上述送风装置。2.根据权利要求1所述的封装型旋转泵单元，其特征在于，具备泵罩部，该泵罩部以配置于上述密闭箱体的内部并覆盖上述旋转泵的方式设置，且形成为，设置有：导入在上述密闭箱体的内部循环的上述内部空气的循环空气入口部；以及排出包括上述加热空气的上述内部空气的循环空气出口部。3.根据权利要求2所述的封装型旋转泵单元，其特征在于，上述液冷换热器连接于上述循环空气出口部侧，上述送风装置连接于上述液冷换热器，以吸引上述内部空气，使上述内部空气从上述循环空气入口部向上述循环空气出口部流动，并通过上述液冷换热器。4.根据权利要求1所述的封装型旋转泵单元，其特征在于，在上述电动马达设有以冷却该电动马达的方式送风的电动马达冷却用的送风风扇，该送风风扇设置为，配置于与连接于上述一方的转子旋转轴的侧相反的侧，向马达主体送风。5.根据权利要求1所述的封装型旋转泵单元，其特征在于，上述旋转泵连接于上述冷却液供给源，以被冷却。6.根据权利要求1所述的封装型旋转泵单元，其特征在于，具备泵罩部，该泵罩部配置于上述密闭箱体的内部，设置成覆盖上述电动旋转泵中的除了上述电动马达的上述旋转泵的周围，且形成为，设置有：导入在上述密闭箱体的内部循环的上述内部空气的循环空气入口部；以及排出包括上述加热空气的上述内部空气的循环空气出口部，上述循环空气入口部设置成将上述旋转泵的周围包围并以带状开放的形态。7.根据权利要求6所述的封装型旋转泵单元，其特征在于，上述旋转泵具备轴承主体部、泵室主体部、以及第一消音器部，上述泵罩部设置为，覆盖上述轴承主体部和上述泵室主体部的周围。8.根据权利要求7所述的封装型旋转泵单元，其特征在于，上述液冷换热器连接于上述循环空气出口部侧，上述送风装置连接于上述液冷换热器，以吸引上述内部空气，使上述内部空气从上述循环空气入口部向上述循环空气出口部流动，并通过上述液冷换热器。9.一种封装型旋转泵单元，其具备：电动旋转泵，其具备吸入/排出气体的旋转泵及驱
动该旋转泵的电动马达；以及密闭箱体，其内置该电动旋转泵，该封装型旋转泵单元的特征在于，具备：液冷换热器，其配置于...

【专利技术属性】
技术研发人员：福岛一树，长谷部高正，吉田洋介，原山真吾，
申请(专利权)人：好利旺机械上海有限公司，
类型：发明
国别省市：