下载封装型旋转泵单元的技术资料

文档序号:36798629

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本发明提供一种封装型旋转泵单元,即使在内置于密闭箱体的旋转泵作为真空泵在真空度高的范围内使用的情况下,也能够防止密闭箱体的内部空气过热,从而能够维持高的泵性能,能够延长装置寿命。封装型旋转泵单元具备:电动旋转泵(200),其具备吸入/排出气...
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