一种石英舟套件制造技术

本实用新型专利技术提出了一种石英舟套件，包括石英舟托和石英舟，石英舟托包括固定座和支撑架，支撑架成对平行设置，固定座垂直的固定在支撑架长度方向的两端，支撑架与固定座中间构成存放石英舟的腔体，支撑架上均匀间隔的开设有卡槽；石英舟包括舟固定板、固定杆和固定耳，舟固定板固定在固定杆长度方向的两端，固定杆成组相对平行设置，与两端的舟固定板构成矩形框舟体结构，固定杆朝向矩形框内部的一侧上规则的设置有卡齿，固定耳相对的设置在固定杆的外部两侧，石英舟从石英舟托的上方插入支撑架之间的腔体中，固定耳卡扣在支撑架的卡槽内。使用该石英舟套件，不仅能改善硅片扩散均匀性，还能避免高温造成的硅片微变形。还能避免高温造成的硅片微变形。还能避免高温造成的硅片微变形。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟套件


[0001]本技术涉及光伏电池制造
，尤其涉及一种石英舟套件。

技术介绍

[0002]扩散作为太阳能电池制造过程中重要一环，它的核心作用便是产生PN结，当形成 PN结后，其空间电荷区中的自建电场便可将光生载流子分离开，使得电子和空穴在流动后不再回到原处，形成光生电流，实现光电转换。扩散时石英舟放置在舟托上送入扩散炉内，目前通常使用的舟托和石墨舟的情况为石英舟略短于舟托的长度，石英舟直接放置在舟托上方，硅片垂直插入石英舟内，此时硅片的插入方向垂直于舟托的长度方向，而进舟方向与舟托长度方向平行，这样就会使得硅片的扩散面与气流方向是垂直的，那么在低压高温扩散下，硅片的间距较小时气流在硅片之间的气体分布会不均匀，会导致背靠背两片扩散方阻差异较大，外观颜色有色差，与此同时，中心方阻会显著高于边缘方阻，使得扩散均匀性较差，更进一步来看，由于硼扩散是在磷扩散基础上，更加高温高压的工艺环境，垂直插片的话，由于自生硅片重量集中在下端舟齿处，加之高温环境，硅片底部接触石英舟舟齿处容易崩边脱晶，且接触位置微变形导致出现石英舟印，影响硅片质量。同时一个舟托上只能承载一个石墨舟，效率上来说也是较低。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种石英舟套件，使用该石英舟套件，不仅能改善硅片扩散均匀性，降低STD，还能避免高温造成的硅片微变形，稳定整舟硅片的电池效率，提高产能。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种石英舟套件，包括石英舟托和石英舟，其特征在于，所述石英舟托包括固定座和支撑架，支撑架成对平行设置，固定座垂直的固定在支撑架长度方向的两端，支撑架与固定座中间构成存放石英舟的腔体，所述支撑架上均匀间隔的开设有卡槽；所述石英舟包括舟固定板、固定杆和固定耳，舟固定板固定在固定杆长度方向的两端，固定杆成组相对平行设置，与两端的舟固定板构成矩形框舟体结构，固定杆朝向矩形框内部的一侧上规则的设置有卡齿，待扩散的硅片水平的插入石英舟内放置在卡齿上，硅片沿支撑架的长度方向水平排放，固定耳相对的设置在固定杆的外部两侧，石英舟从石英舟托的上方插入支撑架之间的腔体中，固定耳卡扣在支撑架的卡槽内，每个石英舟托上可排列安装若干个石英舟。
[0006]进一步，所述石英舟托的腔体内设置有加强肋，加强肋间隔的固定在支撑架上。
[0007]进一步，所述支撑架为长板状，其侧面规则的开设有扩散窗口一。
[0008]进一步，所述卡槽为双层结构，下层为矩形槽口，矩形槽口上层为倒八形槽口，倒八形槽口斜边角度为60
°
。
[0009]进一步，所述固定座外侧还设置有抓耳，便于机械手搬运石英舟托整体。
[0010]进一步，所述固定座中间开设有扩散窗口二。
[0011]本技术的石英舟套件，通过对石英舟托和石英舟配套结构的优化，将石英舟垂直插入石英舟托内，硅片水平插入石英舟内，这样硅片就与进舟方向及扩散气流向方向平行，此设计可以显著改善单片内扩散后方阻均匀性，减小STD, 保证同一个石英小舟内多个硅片扩散后表面无色差。而且硅片水平插入石英舟内，可以均匀分散硅片受力点，避免如垂直插片产生的硅片微变形。另外石英舟改变直接放置在舟托上方的配合形式，而是如本申请中的将石英舟缩小垂直插入石英舟托内，这样一个石英舟托可以承载多个石英舟，不仅优化了石英舟和石英舟托的空间配置，还能增加每次扩散的数量，提高产能，石英舟损坏时也可单独更换维修，不用替换整套石英套件，省时省力，还能降低生产成本。
[0012]本技术附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0013]图1为本技术硼扩散石英舟套件的示意图；
[0014]图2为本技术硼扩散石英舟套件的石英舟托结构示意图；
[0015]图3为本技术石英舟托上卡槽的放大示意图；
[0016]图4为本技术硼扩散石英舟套件的石英舟结构示意图；
[0017]图5为本技术石英舟卡齿的放大示意图；
[0018]图6为与石英舟卡齿的接触示意图；
[0019]其中：1
‑
石英舟托，2
‑
石英舟，3
‑
硅片，11
‑
固定座，12
‑
支撑架，13
‑
腔体，14
‑
卡槽，15
‑
加强肋，16
‑
扩散窗口一，17
‑
抓耳，18
‑
扩散窗口二，21
‑
舟固定板，22
‑
固定杆，23
‑
固定耳，24
‑
卡齿，141
‑
矩形槽口，142
‑
倒八形槽口。
具体实施方式
[0020]本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本专利技术的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述。
[0021]参照图1
‑
图3，本实施例的一种石英舟套件，包括石英舟托1和石英舟2，石英舟托1包括固定座11和支撑架12，支撑架12成对平行设置，固定座11垂直的固定在支撑架12长度方向的两端，支撑架12与固定座11中间构成存放石英舟的腔体13，优选的，石英舟托1的腔体13内设置有加强肋15，加强肋15间隔的固定在支撑架12上，对石英舟托1起加强固定作用，支撑架12为长板状，其侧面规则的开设有扩散窗口一16，固定座11中间也开设有扩散窗口二18，便于气体更全面的扩散。另外支撑架12上均匀间隔的开设有卡槽14，卡槽14为双层结构，下层为矩形槽口141，矩形槽口141上层为倒八形槽口142，倒八形槽口142斜边角度为60
°
，用于石英舟2的固定。石英舟托1主要作用是承接石英舟2，然后放置在浆托上面进入扩散炉，进舟时气流方向与石英舟托1平行，即气流方向与支撑架12长度方向平行。
[0022]优选的参照图4
‑
6，石英舟2包括舟固定板21、固定杆22和固定耳23，舟固定板21固定在固定杆22长度方向的两端，固定杆22成组相对平行设置，在本实施例中，优选的石英舟2内固定杆22为四根，与两端的舟固定板21构成矩形框舟体结构，固定杆22朝向矩形框内部的一侧上规则的设置有卡齿24，齿深4.3
±
0.05mm，待扩散的硅片3水平的插入石英舟2内放
置在卡齿24上，硅片3沿支撑架12的长度方向水平排放，水平插方硅片，使硅片插片方向与扩散气流向方向平行，可显著改善单片内扩散后方阻均匀性，减小STD, 保证同一个石英舟内多个硅片扩散后表面无色差，水平插片，均匀分散本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟套件，包括石英舟托和石英舟，其特征在于，所述石英舟托包括固定座和支撑架，支撑架成对平行设置，固定座垂直的固定在支撑架长度方向的两端，支撑架与固定座中间构成存放石英舟的腔体，所述支撑架上均匀间隔的开设有卡槽；所述石英舟包括舟固定板、固定杆和固定耳，舟固定板固定在固定杆长度方向的两端，固定杆成组相对平行设置，与两端的舟固定板构成矩形框舟体结构，固定杆朝向矩形框内部的一侧上规则的设置有卡齿，固定耳相对的设置在固定杆的外部两侧，石英舟从石英舟托的上方插入支撑架之间的腔体中，固定耳卡扣在支撑架的卡槽内，每个石英舟托上可排列安装若干个石英...

【专利技术属性】
技术研发人员：李学峰，李静，纪龙，秦源祥，丁健江，
申请(专利权)人：江苏润阳悦达光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：