一种真空紫外灯质检及老化方法技术

技术编号:36773258 阅读:12 留言:0更新日期:2023-03-08 21:52
本发明专利技术涉及紫外灯检验技术领域,具体的说是一种真空紫外灯质检及老化方法,包括测试箱体和紫外灯,且测试箱体的内部一侧固定安装有温湿度传感器,测试箱体的内部两侧均固定安装有滑轨,且滑轨的输出端固定安装有滑块,滑块上固定安装有光电管,测试箱体的上端均匀开设有安装孔,紫外灯固定安装在安装孔的内部,通过在特定的温湿度及气压下,使用光电管对紫外灯光强进行质检,方便操作,便于及时发现紫外灯是否合格,并在质检后,进行持续点亮老化,间歇使用光电管测量紫外灯光强,计算衰减速率评估紫外灯老化是否合格,进而方便进行快速检测,避免因老化时间不足,造成仪器工作不稳或老化过度,影响紫外灯的使用寿命。影响紫外灯的使用寿命。影响紫外灯的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种真空紫外灯质检及老化方法


[0001]本专利技术涉及一种仪器性能优化方法,具体为一种真空紫外灯质检及老化方法,属于紫外灯检验


技术介绍

[0002]真空紫外灯电离是一种常见的软电离方法,其原理是利用灯内充填的惰性气体放电产生一定能量的光子,待测气体分子经光照吸收光子能量,当气体分子电离能低于光子能量时发生电离生成分子离子和电子,因真空紫外灯具有广谱软电离、离子碎片峰少、灵敏度高、响应时间短、结构简单等优点而被广泛用作质谱仪器离子源。
[0003]真空紫外灯的光子由灯内充填密封的惰性气体放电产生,紫外灯在经历长途运输与长时间储存后灯内气体漏气导致光强下降或损坏的现象时有发生,此前没有较好的办法对紫外灯进行来料质检,通常的做法是将紫外灯直接安装在仪器上测试标准气体信号强度,而质谱仪器运行在高真空条件下,抽真空和破真空都需要一定的等待时间,该方法耗时长,且不能在第一时间发现存在异常的紫外灯。
[0004]另外,由于灯内杂质气体存在及光窗污染问题导致紫外灯在使用初期会出现光电离效率快速下降现象,需要经过一段时间的持续点亮老化以使紫外灯工作在较稳定状态,常规做法是在使用工况下持续点亮老化24

48h或更长时间,老化之后装机使用,但由于紫外灯个体质量差异及缺乏有效手段对老化后的紫外灯进行质量评估,存在部分紫外灯在老化完装机使用后出现电离信号强度急剧下降,导致仪器不能正常稳定工作的情况。
[0005]有鉴于此特提出本专利技术在来料验收阶段对紫外灯进行质检,对于不合格紫外灯可以在第一时间联系厂家进行返厂维护或换新,在紫外灯老化阶段,通过光电管对紫外灯光电流变化速率检测进行老化效果评估,确保紫外灯老化后稳定工作,避免因老化时间不足造成仪器工作不稳或老化过度造成紫外灯寿命损失。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种真空紫外灯质检及老化方法,可方便快速完成紫外灯的来料质检与老化评估。
[0007]本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的,一种真空紫外灯质检及老化方法,包括测试箱体和紫外灯,且所述测试箱体的内部一侧固定安装有温湿度传感器,所述测试箱体的内部两侧均固定安装有滑轨,且所述滑轨的输出端固定安装可调节高度的有滑块,且所述滑块上固定安装有光电管,所述测试箱体的上端均匀开设有安装孔,且所述紫外灯固定安装在所述安装孔的内部,且所述测试箱体的一侧固定安装有线路接头,所述测试箱体的后侧固定安装有主控板,所述测试箱体的前侧固定安装有观察玻璃,所述测试箱体的后侧上端和下端分别开设有抽气三通管和真空计,所述抽气三通管的一端固定安装有电动比例阀,且所述光电管采用日盲型光电管,响应波长包含真空紫外灯的紫外光辐射波长,所述光电管焊接在采集电路板上,采集电路板通过螺孔固定于所述滑块上,且所述主控板与外
部的上位机相通信连接,在进行使用时,通过所述测试箱体,便于形成特定温湿度和真空度的空间,提高在进行测试时,条件的形成,并通过所述观察玻璃,便于观察所述测试箱体内部的情况,且通过所述真空计,便于监测所述测试箱体内部的真空度,通过所述温湿度传感器,便于检测所述测试箱体内部的温湿度,并通过所述主控板,便于与外部的上位机通讯连接,实现在上位机控制所述紫外灯开关、所述测试箱体内部气压控制、所述测试箱体内部温湿度读取、光电流数据读取、监测数据曲线绘制等功能,且通过控制所述电动比例阀的开度,进而有效的调节所述测试箱体内部的真空度。
[0008]进一步的,在进行质检时,包括以下步骤:
[0009]步骤一、将所述紫外灯安装在所述安装孔的内部,并进行密封拧紧,且将所述光电管固定安装在所述滑块上,进行固定,调节所述光电管与所述紫外灯之间的距离。
[0010]步骤二、检测参数设定,设定所述测试箱体内部的气压值,并等待所述测试箱体内部的气压与温湿度达到设定值偏差范围内,如真空度300
±
10Pa,湿度2.2%
±
0.3%,温度26
±
1℃,且通过开启外部的真空泵,使得所述测试箱体内部的空气通过所述抽气三通管抽走,并通过所述电动比例阀,控制所述测试箱体内部的真空值。
[0011]步骤三、光电流检测,点亮所述紫外灯,开启光电流检测曲线,读取光电流值,点亮所述紫外灯后,等待3min后计算光电流值偏差,连续5个光电流值数据偏差均不超过
±
1nA则将该数值记为所述紫外灯光电流值,前5个连续光电流值差异较大,则从第6个数值开始至第10个数据为止重新计算数据偏差,直至连续5个满足偏差在
±
1nA内将该数值记为所述紫外灯光电流值。
[0012]步骤四、结果判定,通过所述紫外灯电流值,判断所述紫外灯是否满足质检标准,进行结果判定时,当判定为合格后,进入到老化检测,当判定为不合格时,进行返厂维护或退换。
[0013]一种真空紫外灯老化检测方法,进行老化检测时,包括以下步骤:
[0014]步骤一、所述紫外灯安装,将所述紫外灯安装在所述测试箱体上的所述安装孔内部,并进行密封。
[0015]步骤二、所述光电管的调节,通过所述滑块在所述滑轨上进行移动,使得所述光电管移动至所述紫外灯的下方,并通过所述滑块调节所述光电管与所述紫外灯之间的距离。
[0016]步骤三、检测参数的设定,调节所述测试箱体内部的真空度和温湿度,并等待所述测试箱体内气压与温湿度达到设定值偏差范围内,如真空度300
±
10Pa,湿度2.2%
±
0.3%,温度26
±
1℃。
[0017]步骤四、初始光电流检测,点亮所述紫外灯,并开启光电流检测曲线读取光电流值,并记录为所述紫外灯的初始光流值,开启光电流监测曲线读取光电流值,等待3min后计算光电流值偏差,连续5个光电流值数据偏差均不超过
±
1nA则将该数值记为所述紫外灯光电流值,当前5个连续光电流值差异较大,则从第6个数值开始至第10个数据为止重新计算数据偏差,直至连续5个满足偏差在
±
1nA内将该数值记为所述紫外灯初始光电流值。
[0018]步骤五、老化检测,计算衰减速率是否满足老化要求,且在进行计算时,公式为公式中的S为所述紫外灯衰减速率,I1为前一次老化结束时所述紫外灯光电流值,I2为当前老化结束时所述紫外灯光电流值,Δt为前一次老化到当前老化结
束的时间间隔,以h计算。
[0019]进一步的,在步骤五中,进行老化检测时,移出所述光电管,并继续点亮所述紫外灯12h后按照初始光电流值读取方式再次测量记录光电流值,计算衰减速率是否满足老化要求,当不满足要求时,则继续老化,在12

24h内,每隔4h读取一次光电流值,并根据公式计算光电衰减速率,当衰减速率满足老化标准,则停止老化,当24h后仍不满足则继续点亮所述紫外灯,在24

48h内,每隔2h读取一次光电流值并计算衰减速率,直到衰减速率满足要求停止老本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空紫外灯质检方法,其特征在于:包括测试箱体(1)和紫外灯(2),且所述测试箱体(1)的内部一侧固定安装有温湿度传感器(3),所述测试箱体(1)的内部两侧均固定安装有滑轨(4),且所述滑轨(4)的输出端固定安装可调节高度的有滑块(5),且所述滑块(5)上固定安装有光电管(6),所述测试箱体(1)的上端均匀开设有安装孔(7),且所述紫外灯(2)固定安装在所述安装孔(7)的内部,且所述测试箱体(1)的一侧固定安装有线路接头(8),所述测试箱体(1)的后侧固定安装有主控板(9),所述测试箱体(1)的前侧固定安装有观察玻璃(10)。2.根据权利要求1所述的一种真空紫外灯质检方法,其特征在于:所述测试箱体(1)的后侧上端和下端分别开设有抽气三通管(11)和真空计(12),所述抽气三通管(11)的一端固定安装有电动比例阀(13),且所述光电管(6)采用日盲型光电管,且所述主控板(9)与外部的上位机相通信连接。3.根据权利要求2所述的一种真空紫外灯质检方法,其特征在于:在进行质检时,包括以下步骤:步骤一、将所述紫外灯(2)安装在所述安装孔(7)的内部,并进行密封拧紧,且将所述光电管(6)固定安装在所述滑块(5)上,进行固定,调节所述光电管(6)与所述紫外灯(2)之间的距离;步骤二、检测参数设定,设定所述测试箱体(1)内部的气压值,并等待所述测试箱体(1)内部的气压与温湿度达到设定值偏差范围内;步骤三、光电流检测,点亮所述紫外灯(2),开启光电流检测曲线,读取光电流值;步骤四、结果判定,通过所述紫外灯(2)电流值,判断所述紫外灯(2)是否满足质检标准。4.根据权利要求3所述的一种真空紫外灯质检方法,其特征在于:在步骤二中,通过开启外部的真空泵,使得所述测试箱体(1)内部的空气通过所述抽气三通管(11)抽走,并通过所述电动比例阀(13),控制所述测试箱体(1)内部的真空值,在步骤三中,点亮所述紫外灯(2)后,等待3min后计算光电流值偏差,连续5个光电流值数据偏差均不超过
±
1nA则将该数值记为所述紫外灯(2)光电流值,前5个连续光电流值差异较大,则从第6个数值开始至第10个数据为止重新计算数据偏差,直至连续5个满足偏差在
±
1nA内将该数值记为所述紫外灯(2)光电流值,在步骤四中,进行结果判定时,当判定为合格后,进入到老化检测,当判定为不合格时,进行返厂维护或退换。5.一种真空紫外灯老化检测方法,其特征在于:根据权利要求1至权利要求4中的任意一项所述质检方法,进行老化检测时,包括以下步骤:步骤一、所述紫外灯(2...

【专利技术属性】
技术研发人员:李文锋韩文奎李庆运王磊王东鉴
申请(专利权)人:深圳市步锐生物科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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