【技术实现步骤摘要】
基板容器、快拆式气阀及其安装方法和拆卸方法
[0001]本专利技术涉及应用于基板(如光掩膜)容器的气阀
，尤其涉及一种基板容器、一种快拆式气阀及其安装方法和拆卸方法。
技术介绍
[0002]光学光刻技术是将设计好的线路经图案化制作在可透光的光掩膜上，再将光掩膜上的图案通过光源投影至晶片上，以在晶片上曝光显影出特定的图案。在光学光刻的过程中，任何附着在光掩膜上的微粒，都会造成投影成像品质恶化。尤其是近年来随着线程的微缩化，业界朝着更小、更高逻辑密度的晶片发展，微影设备使用的光波波长已经发展到极紫外光(Extreme Ultraviolet Light,EUV)范围，对于光掩膜上的微粒数量、粒径，甚至光掩膜容器内的洁净度，都有着更为严苛的要求。
[0003]为了在光掩膜容器内维持洁净度，目前已知的其中一种做法是在光掩膜容器上设置数量不等的充气阀，利用通入气体的方式维持洁净度。实际应用中，可以是通过充气阀通以一定流量的气体，维持光掩膜容器内气体的置换率，来优化光掩膜存放的环境。光掩膜容器在充气阀处设置有过滤膜，用来过...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种快拆式气阀，其特征在于，应用于一基板容器，所述基板容器具有一盖板及一底板，所述快拆式气阀包括：一快拆件，具有一环状结构，所述环状结构具有一内径且可拆卸地结合于所述底板的一开口中；一垫圈套筒，具有一气流通道，所述气流通道用于供一气体进入或离开所述基板容器，所述垫圈套筒具有一外径，所述外径至少大于所述环状结构的内径；以及一阀体，设置于所述气流通道，用于限制所述气体的流动方向；所述环状结构在一直径方向朝外延伸有一对耳部，在一半径方向朝外延伸一把手，一对所述耳部与所述把手位于不同的水平高度。2.如权利要求1所述的快拆式气阀，其特征在于，所述直径方向和所述半径方向不平行。3.如权利要求1所述的快拆式气阀，其特征在于，所述环状结构具有一外侧面及一内侧面，一对所述耳部靠近所述环状结构的内侧面设置，所述把手靠近所述环状结构的外侧面设置。4.如权利要求1所述的快拆式气阀，其特征在于，一对所述耳部具有一下表面，一对所述耳部的所述下表面用于抵持所述底板的一内侧面或所述开口的一内侧边缘。5.如权利要求1所述的快拆式气阀，其特征在于，所述把手具有一上表面，所述把手的所述上表面用于抵持所述底板。6.如权利要求1所述的快拆式气阀，其特征在于，一对所述耳部具有一下表面，所述把手具有一上表面，在所述快拆件结合于所述开口的状态下，一对所述耳部的所述下表面抵持所述底板的一内侧面或所述开口的一内侧边缘，所述把手的所述上表面抵持所述底板。7.如权利要求4所述的快拆式气阀，其特征在于，所述环状结构的一对所述耳部和所述把手配置成在所述开口的一第一位置和一第二位置之间移动。8.一种基板容器，其特征在于，所述基板容器包括一基座，所述基座包括一盖板及一底板，所述底板具有一内侧面与一外侧面，所述底板至少形成有延伸于所述内侧面和所述外侧面之间的一开口，所述开口容置一快拆式气阀，所述快拆式气阀包括：一快拆件，具有一环状结构；一垫圈套筒，具有一气流通道，所述气流通道用于供一气体进入或离开所述基板容器；以及一阀体，设置于所述气流通道，限制所述气体的流动方向；所述环状结构在一直径方向朝外延伸一对耳部，在一半径方向朝外延伸一把手，在所述快拆件结合于所述开口的状态下，所述把手位于所述底板的外侧面，一对所述耳部位于所述底板的内侧面，所述环状结构限制所述垫圈套筒自所述开口脱出。9.如权利要求8所述的基板容器，其特征在于，所述开口包括一中央通道及位于所述中央通道旁边的两个匹配通道，所述中央通道的形状匹配所述环状结构的形状，两个所述匹配通道的形状各自与一对所述耳部中的其中一个的形状匹配，所述快拆件的环状结构和一对所述耳部可进入所述开口。10.如权利要求9所述的基板容器，其特征在于，所述开口包括至少一凹槽，所述凹槽位于所述底板的外侧面，配置成在所述环状结构结合于所述底板的所述开口的状态下，容纳
所述环状结构的所述把手。11.如权利要求10所述的基板容器，其特征在于，所述开口的凹槽配置成限制所述把手在一第一位置和一第二位置之间移动，在所述把手位于所述第一位置的状态下，所述环状结构位于一释放位置，在所述把手位于所述第二位置的状态下，所述环状结构位于一锁定位置。12.如权利要求10所述的基板容器，其特征在于，所述凹槽具有一滑动面，所述滑动面与所述底板的外侧面平行，在所述环状结构结合于所述开口的...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱铭乾，庄家和，薛新民，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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