本实用新型专利技术提供了一种静电除尘模块和装置、及应用其的激光器，其中静电除尘模块包括依次交替且相互平行间隔布设的低压除尘板和高压除尘板；相邻的低压除尘板和高压除尘板之间形成空气流道；在空气流道的入口处，所述低压除尘板凸出所述高压除尘板设置，相邻两个所述低压除尘板的凸出部之间形成一个电离区；所述电离区内设置有高压电极，经电离后的被净化气体流经空气流道，被净化气体中带有电荷的颗粒物被吸附在低压除尘板或高压除尘板上。本实用新型专利技术的静电除尘模块及装置将电离区和除尘区分开，除尘区为平面结构，大大提高了除尘效果。果。果。
【技术实现步骤摘要】
静电除尘模块和装置、及应用其的激光器
[0001]本技术涉及准分子激光器
，尤其是涉及一种静电除尘模块和装置、以及应用该模块和装置的激光器。
技术介绍
[0002]在高端光刻领域，准分子激光器的激光具有高重频、窄线宽和大能量的特点，因此，准分子激光器的激光在半导体光刻领域的应用中属于占主导地位的光源。
[0003]在实际应用中，准分子激光器的放电腔内部的气体存在下述问题，一是气体具有腐蚀性，二是存在高重复频率的高压放电及高温环境，造成放电腔内部气体存在大量的放电粉尘。然而，放电粉尘会对镜片造成污染，导致镜片存在热应力集中及光学性能下降等问题。
[0004]现有技术中，为了解决上述技术问题，通常采用静电除尘装置对气体进行清洁后，再将洁净的气体回流到放电腔中。如美国专利US7819945B2公开了一种金属氟化物捕获阱(Metal fluoride trap)，其采用管
‑
线结构，通过给沉淀管中的中心导线施加高压，使得气体中的粉尘携带电荷以及使粉尘漂移在沉淀管管壁，以清除气体中的粉尘。
[0005]然而，现有技术中的上述清除气体粉尘的方法使得粉尘荷电和粉尘漂移位于同一时间和空间，为了维持管路中稳定的电晕放电以及电场强度，管路中的高压线不能被施加过量的电压，否则会造成拉弧放电的产生。因此，现有技术的除尘方法导致清除气体粉尘的效率偏低。因此，如何改善现有技术中存在的静电除尘器清除气体粉尘的效率低是需要解决的问题。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提供一种静电除尘模块和装置、及应用其的激光器，以解决现有技术中存在的至少一个上述技术问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供的一种静电除尘模块，其包括：依次交替且相互平行间隔布设的低压除尘板和高压除尘板；
[0008]相邻的低压除尘板和高压除尘板之间形成空气流道；
[0009]在空气流道的入口处，所述低压除尘板凸出所述高压除尘板设置，相邻两个所述低压除尘板的凸出部之间形成一个电离区；所述电离区内设置有高压电极，用于对被净化气体进行电离处理；
[0010]经电离后的被净化气体流经空气流道，被净化气体中带有电荷的颗粒物被吸附在低压除尘板或高压除尘板上。
[0011]进一步地，所述静电除尘模块外侧为所述低压除尘板；两个最外侧的低压除尘板之间间隔设置有若个所述高压除尘板。
[0012]进一步地，所述高压除尘板与相邻低压除尘板之间的距离相等；即所有所述空气流道的宽度相同。
[0013]和/或高压电极与相邻低压除尘板之间的距离相等。相邻的两个低压除尘板之间设置有一个电离区，所有电离区上高压电极布放数量、位置和间距相同。
[0014]进一步地，在所述电离区内，在平行于所述低压除尘板的投影平面内，若干根所述高压电极间隔布设；高压电极与两侧的所述低压除尘板距离相等。
[0015]进一步地，还包括由绝缘材料制成的第一安装板和第二安装板；
[0016]所述低压除尘板和高压除尘板两端分别与所述第一安装板和第二安装板固定连接；第一安装板、第二安装板以及相邻的两个低压除尘板和高压除尘板之间合围出所述空气流道。
[0017]进一步地，所述第一安装板和第二安装板在所述空气流道入口处凸出设置有帽檐部；
[0018]所述高压电极的两端分别与第一安装板和第二安装板的帽檐部固定连接。
[0019]进一步地，所述高压电极为电离丝(导电丝)或导电棒等。
[0020]进一步地，所述静电除尘模块还包括低压供电电路和高压供电电路；所述低压除尘板与所述低压供电电路连接，所述高压除尘板与所述高压供电电路连接。
[0021]其中，低压供电电路和高压供电电路分别垂直于被净化气体的流动方向，分别与低压除尘板和高压除尘板电连接，使得低压除尘板和高压除尘板分别与电源两极连接，使得低压除尘板和高压除尘板形成高压电场。
[0022]进一步地，所述低压供电电路固定设置在所述第一安装板上，所述高压供电电路固定设置在所述第二安装板上。
[0023]进一步地，在被净化气体的流动方向上，所述低压供电电路和高压供电电路分别设置在所述空气流道的两端。
[0024]本申请的第二个方面提供了一种采用上述静电除尘模块的静电除尘装置，包括主体，主体内设置有气体通道；
[0025]所述气体通道内设置有一个或若干个所述静电除尘模块。
[0026]进一步地，所述气体通道内间隔设置有若干个所述静电除尘模块。
[0027]进一步地，所述主体中部设置有进气口，主体的两侧分别设置有出气口；主体内在进气口两侧、进气口和出气口之间对称地设置有两个所述气体通道。
[0028]进一步地，所述主体或每个所述气体通道内所有的所述静电除尘模块上的第一安装板一体制成，一体制成的多个第一安装板为第一通板；所述主体或每个所述气体通道内所有的所述静电除尘模块上的第二安装板一体制成，一体制成的多个第二安装板为第二通板。
[0029]即，每个安装板作为一个安装部存在于通板上。
[0030]进一步地，所述第一通板上设置有第一导电结构，低压除尘板依次通过低压供电电路和第一导电结构与高压静电的正极或负极连接；
[0031]所述第二通板上设置有第二导电结构，高压除尘板依次通过高压供电电路和第二导电结构与高压静电的负极或正极连接。
[0032]其中，第一导电结构和第二导电结构可以是导向线路或者用于导电的金属板条等。
[0033]进一步地，所述主体为由不锈钢、铝或其他强度相当的金属材料制成的设有中空
的筒状体，左密封法兰和右密封法兰分别封盖住筒状体左右两端的开口。
[0034]筒状体的一侧面上分别设置有所述进气口和两个所述出气口；进气口和出气口与激光器放电腔连接，用于实现工作气体在放电腔和主体之间循环流动。以及绝缘材料可以是陶瓷、聚四氟乙烯、聚丙烯、ABS塑料的一种或几种制备而成。
[0035]进一步地，还包括高压供电装置，所述高压供电装置为静电高压源，静电高压源为恒压源或者恒流源；使用时，可根据积尘情况，改变高压供电装置的输出电压、电流，保持内部积尘效率稳定。
[0036]优选地，所述高压供电装置的正极和负极分别与高压除尘板和低压除尘板连接。
[0037]本申请的第三方面公开了一种激光器,其包括放电腔，放电腔与上述的静电除尘装置连接。
[0038]具体而言，放电腔的气体出口与静电除尘装置主体的进气口连通，主体的出气口通过管路与放电腔出光窗片和狭缝窗之间的夹腔相连通，被净化后的气体气流从对出光窗片进行吹扫，之后通过狭缝窗流回放电腔。
[0039]采用上述技术方案，本技术具有如下有益效果：
[0040]本技术提供的一种静电除尘模块和装置、及应用其的激光器，将电离区和除尘区分开，除尘区为平面结构，并设置多个串联和/或并联设置的空气流道，除尘区不易堵塞，净化能力和效率明显提高。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种静电除尘模块，其特征在于，其包括：依次交替且相互平行间隔布设的低压除尘板(13)和高压除尘板(14)；相邻的低压除尘板(13)和高压除尘板(14)之间形成空气流道(19)；在空气流道(19)的入口处，所述低压除尘板(13)凸出所述高压除尘板(14)设置，相邻两个所述低压除尘板(13)的凸出部之间形成一个电离区(17)；所述电离区(17)内设置有高压电极(15)，用于对被净化气体进行电离处理；经电离后的被净化气体流经空气流道(19)，被净化气体中带有电荷的颗粒物被吸附在低压除尘板(13)或高压除尘板(14)上。2.根据权利要求1所述的静电除尘模块，其特征在于，静电除尘模块外侧为低压除尘板(13)；两个最外侧的低压除尘板(13)之间间隔设置有若个所述高压除尘板(14)。3.根据权利要求1所述的静电除尘模块，其特征在于，所述高压除尘板(14)与相邻低压除尘板(13)之间的距离相等；和/或高压电极(15)与相邻低压除尘板(13)之间的距离相等。4.根据权利要求1所述的静电除尘模块，其特征在于，在所述电离区(17)内，在平行于所述低压除尘板(13)的投影平面内，若干根所述高压电极(15)间隔布设；高压电极(15)与两侧的所述低压除尘板(13)距离相等。5.根据权利要求1所述的静电除尘模块，其特征在于，还包括由绝缘材料制成的第一安装板(11)和第二安装板(12)；所述低压除尘板(13)和高压除尘板(14)两端分别与所述第一安装板(11)和第二安装板(12)固定连接；第一安装板(11)、第二安装板(12)以及相邻的两个低压除尘板(13)和高压除尘板(14)之间合围出所述空气流道(19)。6.根据权利要求5所述的静电除尘模块，其特征在于，所述第一安装板(11)和第二安装板(12)在所述空气流道(19)入口处凸出设置有帽檐部；所述高压电极(15)的两端分别与第一安装板(11)和第二安装板(12)的帽檐部固定连接。7.根据权利要求5所述的静电除尘模块，其特征在于，所述静电除尘模块还包括低压供电电路(52)和高压供电电路(51)；所述低...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈文斌，张寅虎，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。