本实用新型专利技术涉及一种光学掩模版基板缺陷检验系统，包括工作台和跨越在工作台上的上料输送装置，以及，搭接在上料输送装置上的工件本体，机柜上位于工件本体来向的位置依次设置有第一台位和第二台位，第一台位和第二台位上分别设置有对工件本体进行检测的检测设备；第一台位和第二台位均设置有跨越上料输送装置并连接在工作台上的悬臂，悬臂上连接有能够水平移动的移料模组，移料模组上连接有上下移动且能够抓取工件本体的吸盘组件；本实用新型专利技术通过移料模组、气浮三轴运动平台和检测设备，即可完成对工件本体的自动检测，整个系统自动化程度高，能够自动进行切换台位，提高工作效率，还能对不良品进行区分，具有很强的实用性。具有很强的实用性。具有很强的实用性。
【技术实现步骤摘要】
一种光学掩模版基板缺陷检验系统
[0001]本技术涉及光学掩模版基板检测设备
，尤其是一种光学掩模版基板缺陷检验系统。
技术介绍
[0002]光刻掩膜版，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
[0003]待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得。
[0004]掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC (Integrated Circuit，集成电路)、FPD(Flat Panel Display，平板显示器)、 PCB(Printed Circuit Boards，印刷电路板)等。
[0005]光刻掩膜版的基板质量会直接影响掩膜版的工艺质量，因此对光刻掩膜版的基板自身缺陷进行检测十分必要，目前市场上对于光刻掩膜版的基板的检测效率低，需要人工进行切换检测台位，影响加工效率。
[0006]为此我们提出一种光学掩模版基板缺陷检验系统。
技术实现思路
[0007]本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种光学掩模版基板缺陷检验系统，从而通过自动化输送工件，同时控制对工件本体检测台位的切换，还能对不良品工件进行筛选的检测，具有很强的实用性。
[0008]本技术所采用的技术方案如下：
[0009]一种光学掩模版基板缺陷检验系统，包括工作台和跨越在工作台上的上料输送装置，以及，搭接在上料输送装置上的工件本体，其特征在于：
[0010]所述工作台内部位于工件本体来向的位置依次设置有第一台位和第二台位，第一台位和第二台位上分别设置有对工件本体进行检测的检测设备；
[0011]所述第一台位和所述第二台位均设置有跨越上料输送装置并连接在工作台上的悬臂，悬臂外侧连接有能够水平移动的移料模组，移料模组上连接有上下移动且能够抓取工件本体的吸盘组件；
[0012]所述第一台位和所述第二台位上均设置有带动工件本体沿横轴和竖轴移动的气浮三轴运动平台，气浮三轴运动平台包括固定平台，固定平台上设置有用于放置工件本体的固定腔，同时固定腔的底壁上设置有对工件本体进行照射的特殊光源；
[0013]位于两个所述台位后侧的工作台上还连接有跨越上料输送装置的另一个悬臂，悬臂上连接有移料模组，同时移料模组的下方设置有不良品输送装置。
[0014]其进一步特征在于：
[0015]所述工作台设置在机柜内，机柜的上端连接有提示灯，提示灯上能够显示不同颜
色的灯光能够检测机柜中工件本体不同的状态。
[0016]所述机柜上设置方便向上料输送装置上料的进料口，以及分别设置有上料输送装置和不良品输送装置相对应的出料口。
[0017]所述上料输送装置包括两个相互靠近且平行的输送带，且工件本体同时搭载在两个输送带上。
[0018]所述移料模组包括吸盘组件，所述吸盘组件上设置有吸盘能够对工件本体进行抓取，吸盘组件上连接有伸缩结构，伸缩结构的另一端连接有滑动臂，滑动臂水平滑动在悬臂上。
[0019]所述第一台位和第二台位为不分前后位置的透射光视觉检测台位和偏振光视觉检测台位；
[0020]所述透射光视觉检测台位上的检测设备为透射光视觉检测设备，特殊光源所述透射光视觉检测台位上的特殊光源为透视光源；
[0021]所述偏振光视觉检测台位上的检测设备为偏振光视觉检测设备，所述偏振光视觉检测台位上的特殊光源为偏振光源。
[0022]所述固定腔内还设置有对工件本体进行限位的硅胶接触面，硅胶接触面采用硅胶材质在对工件本体进行固定的同时还能放置损坏，固定平台的侧壁上设置有连接硅胶接触面并控制硅胶接触面伸缩的伸缩杆。
[0023]所述气浮三轴运动平台上还设置有带动固定平台实现横轴和竖轴移动的一级气浮移动平台、二级气浮移动平台和三级气浮移动平台；
[0024]所述固定平台滑动设置在一级气浮移动平台中，一级气浮移动平台滑动在二级气浮移动平台上，且二级气浮移动平台滑动在三级气浮移动平台上，同时相邻的移动平台上的滑槽呈垂直分布，且一级气浮移动平台、二级气浮移动平台和三级气浮移动平台上的行程依次增大。
[0025]所述机柜上设置有控制面板组件，控制面板组件内设置有滑动臂提示灯上料输送装置控制器，滑动臂提示灯上料输送装置控制器能够控制自动控制多个移料模组的移动以及接受透射光视觉检测设备和偏振光视觉检测设备反馈的检测信号。
[0026]所述上料输送装置和所述不良品输送装置上分别设置有上料驱动电机和不良品输送装置驱动电机。
[0027]本技术的有益效果如下：
[0028]本技术结构紧凑、合理，操作方便，通过移料模组、气浮三轴运动平台和检测设备，即可完成对工件本体的自动检测，整个系统自动化程度高，能够自动进行切换台位，提高工作效率，还能对不良品进行区分，具有很强的实用性。
[0029]同时，本技术还具备如下优点：
[0030](1)工件本体同时搭载在两个输送带上，能够尽量减少输送带与工件本体的接触面积，防止摩擦力对工件本体的损坏。
[0031](2)通过在机柜上设置有第一台位和第二台位，分别对工件本体进行透射光视觉检测和偏振光视觉检测，提供工作效率。
[0032](3)通过设置移料模组能够将上料输送装置上的工件本体抓取并放置到相应位置进行检测。
[0033](4)通过设置固定腔用于放置工件本体，同时固定腔的底壁上设置有对工件本体进行照射的特殊光源，提高检测效果，同时还能对工件本体进行柔性固定，提高后续检测效果。
附图说明
[0034]图1为本技术的结构示意图。
[0035]图2为本技术的另一个视角结构示意图。
[0036]图3为本技术(去除机柜后)的结构示意图。
[0037]图4为本技术(去除机柜后)的另一个视角结构示意图。
[0038]图5为本技术(去除机柜后)的俯视图。
[0039]图6为气浮三轴运动平台结构的放大示意图。
[0040]其中：
[0041]A、第一台位；B、第二台位；1、工作台；2、上料输送装置；3、透射光视觉检测设备；4、移料模组；5、气浮三轴运动平台；6、悬臂；7、偏振光视觉检测设备；8、工件本体；9、不良品输送装置；10、机柜；11、提示灯；12、控制面板组件；
[0042]201、上料驱动电机；202、输送带；
[0043]401、滑动臂；402、伸缩结构；403、吸盘组件；
[0044]501、固定平台；502、特殊光源；503、硅胶接触面；504、伸缩杆；505、一级气浮移动平台；506、二级气浮移动平台；507、三级气浮移动平台；c、固定腔；
[0045]901、不良品输送装置驱动电机。
具体实施方式
[0046]下面结合附图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光学掩模版基板缺陷检验系统，包括工作台(1)和跨越在工作台(1)上的上料输送装置(2)，以及，搭接在上料输送装置(2)上的工件本体(8)，其特征在于：所述工作台(1)内部位于工件本体(8)来向的位置依次设置有第一台位(A)和第二台位(B)，第一台位(A)和第二台位(B)上分别设置有对工件本体(8)进行检测的检测设备；所述第一台位(A)和所述第二台位(B)均设置有跨越上料输送装置(2)并连接在工作台(1)上的悬臂(6)，悬臂(6)外侧连接有能够水平移动的移料模组(4)，移料模组(4)上连接有上下移动且能够抓取工件本体(8)的吸盘组件(403)；所述第一台位(A)和所述第二台位(B)上均设置有带动工件本体(8)沿横轴和竖轴移动的气浮三轴运动平台(5)，气浮三轴运动平台(5)包括固定平台(501)，固定平台(501)上设置有用于放置工件本体(8)的固定腔(c)，同时固定腔(c)的底壁上设置有对工件本体(8)进行照射的特殊光源(502)；位于两个台位后侧的工作台(1)上还连接有跨越上料输送装置(2)的另一个悬臂(6)，悬臂(6)上连接有移料模组(4)，同时移料模组(4)的下方设置有不良品输送装置(9)。2.如权利要求1所述的一种光学掩模版基板缺陷检验系统，其特征在于：所述工作台(1)设置在机柜(10)内，机柜(10)的上端连接有提示灯(11)，提示灯(11)上能够显示不同颜色的灯光能够检测机柜(10)中工件本体(8)不同的状态。3.如权利要求2所述的一种光学掩模版基板缺陷检验系统，其特征在于：所述机柜(10)上设置方便向上料输送装置(2)上料的进料口，以及分别设置有上料输送装置(2)和不良品输送装置(9)相对应的出料口。4.如权利要求1所述的一种光学掩模版基板缺陷检验系统，其特征在于：所述上料输送装置(2)包括两个相互靠近且平行的输送带(202)，且工件本体(8)同时搭载在两个输送带(202)上。5.如权利要求1所述的一种光学掩模版基板缺陷检验系统，其特征在于：所述移料模组(4)包括吸盘组件(403)，所述吸盘组件(403)上设置有吸盘能够对工件本体(8)进行抓取，吸盘组件(403)上连接有伸缩结构(402)，伸缩结构(402)的另一端连接有滑动臂(401)，滑...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁发展，梁新乐，
申请(专利权)人：无锡雪浪数制科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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