一种功率器件测试装置及其校准设备与方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种功率器件测试装置及其校准设备与方法，控制电路通过控制测试电路生成测试电流，测试电流通过接口模块施加至功率器件等效电路；控制电路控制测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压，控制电路将不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压作为校准数据；校准数据用于当测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的校准数据，对所测量的数据进行修正，从而消除环境温湿度、机器差异以及设备接插件、连接线等的分布参数对测试数据的影响，提高测试数据精确度，提升该测试装置的市场竞争力。提升该测试装置的市场竞争力。提升该测试装置的市场竞争力。

【技术实现步骤摘要】
一种功率器件测试装置及其校准设备与方法


[0001]本专利技术涉及功率器件自动测试仪器领域，具体涉及一种功率器件测试装置及其校准设备与方法。

技术介绍

[0002]目前市面上的第三代半导体材料GaN(氮化镓)电子器件测试仪，在动态Rdson参数测试中，由于会受到环境温湿度、机器差异以及设备接插件、连接线等的分布参数的影响，会对动态Rdson参数的测试结果有干扰，偏大或偏小，使测试结果不准确。

技术实现思路

[0003]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的对功率器件进行动态测试时，测试结果不准确的缺陷，从而提供一种功率器件测试装置及其校准设备与方法。
[0004]为达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供一种功率器件测试装置的校准设备，测试装置包括测试电路，测试电路用于检测功率器件的动态导通电阻，校准设备包括：接口模块、功率器件等效电路、控制电路，其中，测试电路通过接口模块与功率器件等效电路的测试线连接，控制电路与测试电路的测试线连接；控制电路通过控制测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述测试装置包括测试电路，所述测试电路用于检测所述功率器件的动态导通电阻，所述校准设备包括：接口模块、功率器件等效电路、控制电路，其中，所述测试电路通过所述接口模块与所述功率器件等效电路的测试线连接，所述控制电路与所述测试电路的测试线连接；所述控制电路通过控制测试电路生成测试电流，所述测试电流通过所述接口模块施加至所述功率器件等效电路；所述控制电路控制所述测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压，所述控制电路将不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压作为校准数据；所述校准数据用于当所述测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的所述校准数据，对所测量的数据进行修正。2.根据权利要求1所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述接口模块包括：第一接口单元及第二接口单元，其中，所述第一接口单元连接于所述测试电路与所述第二接口单元之间；所述第二接口单元连接于所述第一接口单元与所述功率器件等效电路之间。3.根据权利要求2所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述第一接口单元及第二接口单元均包括：多个接口，其中，所述第一接口单元的每个接口与对应的所述测试电路的测试线连接；所述第二接口单元的每个接口与对应的所述功率器件等效电路的测试线连接；所述第一接口单元的每个接口将对应的所述测试电路的测试线，通过所述第二接口单元的接口与对应的所述功率器件等效电路的测试线连接。4.根据权利要求1所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述功率器件等效电路包括：MOS管及精密电阻，其中，所述MOS管的漏极、栅极均通过测试线与所述接口模块连接，所述MOS管的源极与所述精密电阻的第一端连接；所述精密电阻的第一端、第二端均通过测试线与所述接口模块连接。5.根据权利要求1所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，当测试装置用于对多个功率器件进行测试时，所述校准设备还包括：继电器电路及多个开关电路，其中，一个功率器件等效电路依次通过一个开关电路、一个接口模块、一个开关电路与测试电路连接；每个开关电路还通过所述继电器电路与控制电路连接；所述控制电路通过切换所述继电器电路的运行状态，控制所述开关电路的开断状态，从而实现所述测试电路与指定的功率器件...

【专利技术属性】
技术研发人员：何嘉辉，陈希辰，
申请(专利权)人：佛山市联动科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：