一种功率器件测试装置及其校准设备与方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种功率器件测试装置及其校准设备与方法，控制电路通过控制测试电路生成测试电流，测试电流通过接口模块施加至功率器件等效电路；控制电路控制测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压，控制电路将不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压作为校准数据；校准数据用于当测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的校准数据，对所测量的数据进行修正，从而消除环境温湿度、机器差异以及设备接插件、连接线等的分布参数对测试数据的影响，提高测试数据精确度，提升该测试装置的市场竞争力。提升该测试装置的市场竞争力。提升该测试装置的市场竞争力。

【技术实现步骤摘要】
一种功率器件测试装置及其校准设备与方法


[0001]本专利技术涉及功率器件自动测试仪器领域，具体涉及一种功率器件测试装置及其校准设备与方法。

技术介绍

[0002]目前市面上的第三代半导体材料GaN(氮化镓)电子器件测试仪，在动态Rdson参数测试中，由于会受到环境温湿度、机器差异以及设备接插件、连接线等的分布参数的影响，会对动态Rdson参数的测试结果有干扰，偏大或偏小，使测试结果不准确。

技术实现思路

[0003]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的对功率器件进行动态测试时，测试结果不准确的缺陷，从而提供一种功率器件测试装置及其校准设备与方法。
[0004]为达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供一种功率器件测试装置的校准设备，测试装置包括测试电路，测试电路用于检测功率器件的动态导通电阻，校准设备包括：接口模块、功率器件等效电路、控制电路，其中，测试电路通过接口模块与功率器件等效电路的测试线连接，控制电路与测试电路的测试线连接；控制电路通过控制测试电路生成测试电流，测试电流通过接口模块施加至功率器件等效电路；控制电路控制测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压，控制电路将不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压作为校准数据；校准数据用于当测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的校准数据，对所测量的数据进行修正。
[0006]在一实施例中，接口模块包括：第一接口单元及第二接口单元，其中，第一接口单元连接于测试电路与第二接口单元之间；第二接口单元连接于第一接口单元与功率器件等效电路之间。
[0007]在一实施例中，第一接口单元及第二接口单元均包括：多个接口，其中，第一接口单元的每个接口与对应的测试电路的测试线连接；第二接口单元的每个接口与对应的功率器件等效电路的测试线连接；第一接口单元的每个接口将对应的测试电路的测试线，通过第二接口单元的接口与对应的功率器件等效电路的测试线连接。
[0008]在一实施例中，功率器件等效电路包括：MOS管及精密电阻，其中，MOS管的漏极、栅极均通过测试线与接口模块连接，MOS管的源极与精密电阻的第一端连接；精密电阻的第一端、第二端均通过测试线与接口模块连接。
[0009]在一实施例中，当测试装置用于对多个功率器件进行测试时，校准设备还包括：继电器电路及多个开关电路，其中，一个功率器件等效电路依次通过一个开关电路、一个接口模块、一个开关电路与测试电路连接；每个开关电路还通过继电器电路与控制电路连接；控制电路通过切换继电器电路的运行状态，控制开关电路的开断状态，从而实现测试电路与指定的功率器件等效电路连接。
[0010]第二方面，本专利技术实施例提供一种功率器件测试装置的校准方法，基于第一方面的功率器件测试装置的校准设备，方法包括：控制电路设置当前测试环境参数；当前测试环境参数包括：当前测试所需的测试电流值及测试电压值，以及测试增益及其对应的测试标志位；测试电路将增益切换至测试增益后，根据测试电流值及测试电压值，对功率器件等效电路进行预设次数的测试；测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电压及电流；控制电路基于每次测试测得的功率器件等效电路的电压及电流的平均值，作为当前测试的校准数据，并将校准数据与测试标志位对应后保存；返回“控制电路设置当前测试环境参数”的步骤，直到在全部的测试电路的增益下测试完为止。
[0011]在一实施例中，测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电压为精密电阻电压；测试电路采集每次测试测得的功率器件等效电路的电流为MOS管的漏极电流。
[0012]在一实施例中，测试标志位用于当测试电路为功率器件进行测试时，测试装置根据测试增益、测试增益对应的测试标志位、测试标志位对应的校准数据，对实际测得的功率器件的电压及电流进行校准，得到功率器件的导通电阻。
[0013]第三方面，本专利技术实施例提供一种功率器件测试装置，包括：测试电路、第一方面的接口模块、第一方面的控制电路，其中，测试电路通过接口模块与功率器件的测试线连接，控制电路与测试电路的测试线连接；控制电路通过控制测试电路生成测试电流，测试电流通过接口模块施加至功率器件；控制电路控制测试电路测量功率器件的电压及电流，控制电路根据测试电路的测试增益、测试增益对应的测试标志位、测试标志位对应的校准数据，对实际测得的功率器件的电压及电流进行校准后，得到功率器件的导通电阻。
[0014]在一实施例中，当对多个功率器件进行测试时，测试装置还包括：第一方面的继电器电路及多个开关电路。
[0015]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0016]本专利技术提供的功率器件测试装置的校准设备，控制电路通过控制测试电路生成测试电流，测试电流通过接口模块施加至功率器件等效电路；控制电路控制测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压，控制电路将不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压作为校准数据；校准数据用于当测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的校准数据，对所测量的数据进行修正，从而消除环境温湿度、机器差异以及设备接插件、连接线等的分布参数对测试数据的影响，提高测试数据精确度，提升该测试装置的市场竞争力。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本专利技术实施例提供的测试电路的电路拓扑图；
[0019]图2为本专利技术实施例提供的校准设备的一个具体示例的组成图；
[0020]图3为本专利技术实施例提供的校准设备的一个具体示例的结构图；
[0021]图4为本专利技术实施例提供的校准设备的另一个具体示例的组成图；
[0022]图5为本专利技术实施例提供的校准设备的另一个具体示例的结构图；
[0023]图6为本专利技术实施例提供的校准流程图；
[0024]图7为本专利技术实施例提供的测试装置的一个具体示例的组成图；
[0025]图8为本专利技术实施例提供的测试流程图；
[0026]图9为本专利技术实施例提供的测试装置的另一个具体示例的组成图；
[0027]图10为本专利技术实施例提供的测试装置的一个具体示例的结构图。
具体实施方式
[0028]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0029]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述测试装置包括测试电路，所述测试电路用于检测所述功率器件的动态导通电阻，所述校准设备包括：接口模块、功率器件等效电路、控制电路，其中，所述测试电路通过所述接口模块与所述功率器件等效电路的测试线连接，所述控制电路与所述测试电路的测试线连接；所述控制电路通过控制测试电路生成测试电流，所述测试电流通过所述接口模块施加至所述功率器件等效电路；所述控制电路控制所述测试电路测得不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压，所述控制电路将不同增益下的功率器件等效电路的电流及电压作为校准数据；所述校准数据用于当所述测试电路对功率器件进行测试时，根据当前增益对应的所述校准数据，对所测量的数据进行修正。2.根据权利要求1所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述接口模块包括：第一接口单元及第二接口单元，其中，所述第一接口单元连接于所述测试电路与所述第二接口单元之间；所述第二接口单元连接于所述第一接口单元与所述功率器件等效电路之间。3.根据权利要求2所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述第一接口单元及第二接口单元均包括：多个接口，其中，所述第一接口单元的每个接口与对应的所述测试电路的测试线连接；所述第二接口单元的每个接口与对应的所述功率器件等效电路的测试线连接；所述第一接口单元的每个接口将对应的所述测试电路的测试线，通过所述第二接口单元的接口与对应的所述功率器件等效电路的测试线连接。4.根据权利要求1所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，所述功率器件等效电路包括：MOS管及精密电阻，其中，所述MOS管的漏极、栅极均通过测试线与所述接口模块连接，所述MOS管的源极与所述精密电阻的第一端连接；所述精密电阻的第一端、第二端均通过测试线与所述接口模块连接。5.根据权利要求1所述的功率器件测试装置的校准设备，其特征在于，当测试装置用于对多个功率器件进行测试时，所述校准设备还包括：继电器电路及多个开关电路，其中，一个功率器件等效电路依次通过一个开关电路、一个接口模块、一个开关电路与测试电路连接；每个开关电路还通过所述继电器电路与控制电路连接；所述控制电路通过切换所述继电器电路的运行状态，控制所述开关电路的开断状态，从而实现所述测试电路与指定的功率器件...

【专利技术属性】
技术研发人员：何嘉辉，陈希辰，
申请(专利权)人：佛山市联动科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：