本实用新型专利技术涉及一种晶棒升棒辅助喷淋设备，包括喷水管及进水管，喷水管平行设置两根分别位于晶棒的两侧，两根喷水管相对的一侧均布有数个喷水孔，每根喷水管的一端密封，另一端连通有进水管，两进水管之间通过水管连通；该设备有效冲洗硅片，提高硅片质量。提高硅片质量。提高硅片质量。
【技术实现步骤摘要】
一种晶棒升棒喷淋装置及其辅助喷淋设备
[0001]本技术涉及一种喷淋装置，具体涉及一种晶棒升棒喷淋装置及其辅助喷淋设备。
技术介绍
[0002]大尺寸晶棒的抬棒划伤问题一直是困扰硅片表面质量的主要影响因素。深度的划伤会造成下游电池端的线痕降级，从而影响产品质量。其产生划伤的主要原因是：1、硅片横截面积大（210mm较之前的166mm大了44mm）。2、硅片变薄，更容易吸附在一起。（由170μm变成了150μm薄了20μm）。3、片子与片子之间的硅粉含量较高，目前现有的喷嘴里面的水液冲不进片子里面。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种晶棒升棒喷淋装置及其辅助喷淋设备，该设备有效冲洗硅片，提高硅片质量。
[0004]为了解决以上技术问题，本技术提供一种晶棒升棒辅助喷淋设备，包括喷水管及进水管，喷水管平行设置两根分别位于晶棒的两侧，两根喷水管相对的一侧均布有数个喷水孔，每根喷水管的一端密封，另一端连通有进水管，两进水管之间通过水管连通。
[0005]本技术进一步限定的技术方案是：
[0006]进一步的，前述晶棒升棒辅助喷淋设备中，喷水孔沿喷水管的长度均布。
[0007]技术效果，本技术喷水孔沿喷水管的长度均布，在整个喷水管的长度上均设置有喷水孔便于最大范围的对晶棒进行喷水清理硅粉，清洁效果好，有效解决晶棒抬棒划伤问题。
[0008]前述晶棒升棒辅助喷淋设备中，喷水孔位于两喷水管相对一侧面的下部。
[0009]技术效果，因为晶棒是提升的，将喷水孔设置在喷水管相对一侧面的下部，冲的方向跟抬的方向相反相对，能更好的冲洗晶棒，提高冲洗效果。
[0010]前述晶棒升棒辅助喷淋设备中，进水管垂直于喷水管，进水管远离喷水管的一端向外弯曲延伸形成加水管。
[0011]技术效果，在进水管的上端向外延伸形成加水管，便于外接水管，方便快捷，同时也增加美观性。
[0012]本技术还设计一种晶棒升棒喷淋装置，包括上述晶棒升棒辅助喷淋设备及喷水盒，喷水盒包括喷嘴及喷嘴支架，晶棒升棒辅助喷淋设备设置于喷嘴支架的下方，喷嘴支架上设有喷嘴，其中：
[0013]喷嘴支架相对设置两个，喷嘴支架的一端竖直向上延伸出外挡板和内挡板形成蓄水区，蓄水区内设有喷嘴，喷嘴支架的另一端向下倾斜延伸形成倾斜导水板，倾斜导水板将水导向晶棒进行清洁，晶棒升棒辅助喷淋设备中的喷水管设置于倾斜导水板的下方。
[0014]技术效果，本技术的喷淋设备在升棒过程中，除了瀑布式喷淋外，加装了一套
辅助喷淋，喷淋的水流是瀑布式的，在瀑布式的水流进行一次清洁后，辅助喷淋的水流是直喷式的，辅助喷淋的直喷式水流压力大，更容易冲击到硅片与硅片中间去，进行二次清洁，有效去除硅粉，有效解决晶棒抬棒划伤问题。
[0015]前述晶棒升棒喷淋装置中，晶棒升棒辅助喷淋设备中的喷水管与倾斜导水板平行设置，喷水管中的喷水孔和倾斜导水板均面向晶棒。
[0016]技术效果，为了更好的将水全部导向晶棒对晶棒进行很好的清洁，提高清洁效率，有效解决晶棒抬棒划伤问题。
[0017]前述晶棒升棒喷淋装置中，倾斜导水板上远离喷嘴支架的一端向外延伸形成水平导水板，水平导水板垂直于设置在晶棒生产装置中间的晶棒。
[0018]技术效果，水平导水板的设置更好的将水更近距离的导向晶棒，提高水对晶棒的清洁效果。
[0019]前述晶棒升棒喷淋装置中，内挡板的高度小于外挡板的高度。
[0020]技术效果，内挡板的高度小于外挡板的高度，这样便于水溢出后沿着倾斜导水板流向晶棒，如果内挡板高度高于外挡板水会溢出，不利于水流向晶棒。
[0021]本技术的有益效果是：
[0022]本技术，在升棒过程中，除了喷淋瀑布式外，加装了一套辅助喷淋，瀑布式结合直喷式的水流冲洗，瀑布式喷淋冲洗后，辅助喷淋的直喷式水流压力大，更容易冲击到硅片与硅片中间去，有效冲洗，提高硅片质量，划伤比例由原先的80%降低至了5%。
附图说明
[0023]图1为本技术实施例晶棒升棒辅助喷淋设备的结构示意图；
[0024]图2为图1中喷水管的结构示意图；
[0025]图3为本技术实施例晶棒升棒喷淋装置应用在晶棒生产装置的结构结构示意图；
[0026]图4为本技术实施例晶棒升棒喷淋装置中喷水盒的结构示意图
[0027]图中：1
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喷水管，2
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进水管，3
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喷水孔，4
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加水管，5
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喷嘴，6
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喷嘴支架，7
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外挡板，8
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内挡板，9
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蓄水区，10
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倾斜导水板，11
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水平导水板，12
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碎片盒，13
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晶棒，14
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工件平台，15
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垫条，16
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塑料板，17
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导轮。
具体实施方式
[0028]实施例1
[0029]本实施例提供一种晶棒升棒辅助喷淋设备，结构如图1
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2所示，包括喷水管1及进水管2，喷水管1平行设置两根分别位于晶棒的两侧，两根喷水管1相对的一侧均布有数个喷水孔3，每根喷水管1的一端密封，另一端连通有进水管2，两进水管2之间通过水管连通。
[0030]在本实施例中，喷水孔3沿喷水管1的长度均布。
[0031]在本实施例中，喷水孔位于两喷水管相对一侧面的下部。
[0032]在本实施例中，喷水管2垂直于喷水管1，进水管2远离喷水管1的一端向外弯曲延伸形成加水管4。
[0033]一种晶棒升棒喷淋装置，结构如图3
‑
4所示，包括上述晶棒升棒辅助喷淋设备及喷
水盒，喷水盒包括喷嘴5及喷嘴支架6，晶棒升棒辅助喷淋设备设置于喷嘴支架6的下方，喷嘴支架6上设有喷嘴5，其中：
[0034]喷嘴支架6相对设置两个，两个喷嘴支架设置在晶棒生产装置中的碎片盒12上端的两侧，喷嘴支架6的一端竖直向上延伸出外挡板7和内挡板8形成蓄水区9，蓄水区9内设有喷嘴5，喷嘴支架6的另一端向下倾斜延伸形成倾斜导水板10，倾斜导水板10将水导向晶棒进行清洁，晶棒升棒辅助喷淋设备中的喷水管1设置于倾斜导水板10的下方。
[0035]在本实施例中，晶棒升棒辅助喷淋设备中的喷水管1与倾斜导水板10平行设置，喷水管1中的喷水孔3和倾斜导水板10均面向晶棒13。
[0036]在本实施例中，倾斜导水板10上远离喷嘴支架6的一端向外延伸形成水平导水板11，水平导水板11垂直于设置在晶棒生产装置中间的晶棒13。
[0037]在本实施例中，内挡板8的高度小于外挡板7的高度。
[0038]在本实施例中，将该本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶棒升棒辅助喷淋设备，其特征在于：包括喷水管（1）及进水管（2），所述喷水管（1）平行设置两根，两根喷水管（1）相对的一侧均布有数个喷水孔（3），每根所述喷水管（1）的一端密封，另一端连通有所述进水管（2），两所述进水管（2）之间通过水管连通。2.根据权利要求1所述的晶棒升棒辅助喷淋设备，其特征在于：所述喷水孔（3）沿所述喷水管（1）的长度均布。3.根据权利要求1所述的晶棒升棒辅助喷淋设备，其特征在于：所述喷水孔位于两喷水管相对一侧面的下部。4.根据权利要求1所述的晶棒升棒辅助喷淋设备，其特征在于：所述进水管（2）垂直于所述喷水管（1），所述进水管（2）远离喷水管（1）的一端向外弯曲延伸形成加水管（4）。5.一种晶棒升棒喷淋装置，其特征在于：包括权利要求1
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4任一项所述的晶棒升棒辅助喷淋设备及喷水盒，所述喷水盒包括喷嘴（5）及喷嘴支架（6），所述晶棒升棒辅助喷淋设备设置于所述喷嘴支架（6）的下方，所述喷嘴支架（6...
【专利技术属性】
技术研发人员：王嘉，冯琰，王艺澄，
申请(专利权)人：江苏美科太阳能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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