薄膜传感器及其制备方法、触控面板及可折叠显示装置制造方法及图纸

本公开涉及一种薄膜传感器及其制备方法、触控面板及可折叠显示装置，该薄膜传感器，包括：基板；金属层，设置于基板上，金属层包括图案化的第一导电线路；导电层，设置于金属层背离基板的一侧，导电层为纳米级银丝，导电层包括图案化的第二导电线路，且第二导电线路与第一导电线路之间能够导通形成透明导电膜；以及第一保护层，覆盖于导电层上。本公开技术方案有效解决了传统薄膜传感器中的透明导电薄膜图案品质差的技术问题，有效规避了透明导电膜中线路短路问题，提高了薄膜传感器的导电性能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
薄膜传感器及其制备方法、触控面板及可折叠显示装置


[0001]本公开涉及显示
，尤其涉及一种薄膜传感器及其制备方法、触控面板及可折叠显示装置。

技术介绍

[0002]在显示屏装置中，常用透明导电膜来形成布线、像素电极、端子的一部分。此时，必须在透明导电膜上蚀刻形成一定形状的图案。
[0003]传统智能手机或者平板电脑的透明导电膜多采用氧化铟锡(简称ITO)薄膜，但是ITO薄膜在折叠后电阻率会上升。相关技术中，折叠屏手机或者平板电脑多采用纳米银线薄膜替代ITO薄膜，以使显示屏具有良好折叠性能。但是，在纳米银透明导电膜图案的形成过程中，由于银离子极其活泼的性质，在高温高湿条件下，尤其在通交流电的条件下，纳米银极易长出晶体枝，使蚀刻后的线路短路，造成透明导电膜图案的品质差。

技术实现思路

[0004]本公开提供了一种薄膜传感器及其制备方法、触控面板及可折叠显示装置，以解决传统薄膜传感器中的透明导电薄膜图案品质差的技术问题。
[0005]为此，第一方面，本公开提供了一种薄膜传感器，包括：基板、金属层、导电层以及第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜传感器，其特征在于，包括：基板；金属层，设置于所述基板上，所述金属层包括图案化的第一导电线路；导电层，设置于所述金属层背离所述基板的一侧，所述导电层为纳米级银丝，所述导电层包括图案化的第二导电线路，且所述第二导电线路与所述第一导电线路之间能够导通形成透明导电膜；以及第一保护层，覆盖于所述导电层上。2.根据权利要求1所述的薄膜传感器，其特征在于，所述导电层的纳米级银丝的直径为20nm～40nm，长度为10μm～40μm，线径比为500～1000；和/或，所述导电层的厚度为0.03μm～0.1μm。3.根据权利要求1所述的薄膜传感器，其特征在于，所述金属层的材质为银或者铜，所述图案化的第一导电线路的线宽和/或线距为15μm；和/或，所述金属层的厚度为0.1μm～0.5μm；和/或，所述第一保护层的厚度为0.5μm～10μm。4.根据权利要求1所述的薄膜传感器，其特征在于，还包括第二保护层，所述第二保护层覆盖所述第一保护层和所述导电层。5.根据权利要求4所述的薄膜传感器，其特征在于，所述第一保护层的厚度为0.05μm～0.5μm，所述第二保护层的厚度为0.5μm～10μm。6.根据权利要求1所述的薄膜传感器，其特征在于，所述基板包括柔性基材和位于所述柔性基材上的硬质涂层，所述柔性基材的材质为塑胶类聚酰亚...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾榆钧，余孝贵，许建勇，张礼冠，
申请(专利权)人：蓝思智控长沙有限公司，
类型：发明
国别省市：