【技术实现步骤摘要】
一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块
[0001]本技术属于晶圆清洗干燥
，具体涉及一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块。
技术介绍
[0002]对应于半导体晶圆清洗技术的需求，对晶圆干燥技术的要求不断提升，对应不同的晶圆产品已经出现了不同的晶圆清洗技术。晶圆干燥是湿法清洗工艺最后的收尾动作，需要确保有效地移除晶圆表面的水分同时对晶圆表面的洁净度进行控制。
[0003]晶圆干燥的方法有多种，晶圆的干燥效率与干燥质量直接影响到整个晶圆清洗干燥工艺的效率，重要的在于异丙醇和氮气可靠地提供，以便为晶圆干燥提供稳定可控的气体和液体氛围。故建立有效的晶圆干燥方法是晶圆湿法清洗技术中特别需要重视的一环。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中存在的问题，本技术提供一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块。本技术根据不同的干燥需求对管路系统内的管路进行组合，能够适用于晶圆清洗干燥装置的不同需求，可以在短时间内对异丙醇与氮气进行精确切换。
[0005]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块，该管路输送模块与工艺槽体连接，用于向工艺槽体输送干燥介质，其特征在于，所述管路输送模块包括：第一氮气输送管路，用于输送氮气至工艺槽体；第二氮气输送管路，包括第一氮气输送支路和第二氮气输送支路，所述第一氮气输送支路用于单独输送氮气至工艺槽体，所述第二氮气输送支路连接混合罐体，用于输送氮气至混合罐体，并将从混合罐体输出的干燥介质输送至工艺槽体；异丙醇输送管路，连接所述混合罐体，用于输送异丙醇至混合罐体。2.如权利要求1所述的一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块，其特征在于，所述管路输送模块包括加热单元，所述加热单元包括第一加热组件、第二加热组件及第三加热组件，其中，第一加热组件，用于加热第一氮气输送管路的输送的氮气；第二加热组件，用于加热第一氮气输送支路的输送的氮气，和/或第二氮气输送支路输送的从所述混合罐体输出的干燥介质；第三加热组件，用于加热异丙醇输送管路输送的异丙醇，和/或第二氮气输送支路的输...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓信甫，唐宝国，吕芳毅，刘传龙，许程，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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