温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及到一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块，该管路输送模块与工艺槽体连接，用于向工艺槽体输送干燥介质，所述管路输送模块包括：第一氮气输送管路，用于输送氮气至工艺槽体；第二氮气输送管路，包括第一氮气输送支路和第二氮气输送支路，所述...
该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。