降温装置及系统制造方法及图纸

本申请涉及半导体技术领域，具体公开一种降温装置及系统。降温装置用于对压力容器内的气体进行降温，包括第一腔体、冷却部件、第二腔体以及导向部件。第一腔体具有进气端；冷却部件设置于所述第一腔体内，用于对进入所述第一腔体内的气体进行冷却；第二腔体具有出气端，所述第二腔体贴近所述第一腔体，且连通所述第一腔体的内部；导向部件设置于所述第二腔体内，用于将冷却后的气体引导至所述出气端以排出。由于，第一腔体贴近第二腔体设置，即冷却部件与导向部件之间无需连接冗长的管路、阀门等，精简了整个降温装置的结构，缩小了降温装置的整体体积，提高了降温效率。提高了降温效率。提高了降温效率。

【技术实现步骤摘要】
降温装置及系统


[0001]本申请涉及半导体
，特别是涉及一种降温装置及系统。

技术介绍

[0002]在工业应用中，常常需要对压力容器内的高温高压气体进行冷却，以达到对压力容器内部腔室进行降温的目的。
[0003]目前采用的方式通常为将压力容器内部腔室的气体导入至换热器中，通过换热器对气体进行冷却，冷却后的气体再在风扇的旋转带动下重新进入压力容器的内部腔室，如此循环往复，即可实现快速降温的效果。
[0004]但是，上述方式中，换热器、风扇等各部件之间需要阀门及管路连接，冗长的阀门、管路对流体的通过性造成一定影响，进而影响整体的换热效率，同时也占用了大量的空间。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述问题，提供一种降温装置及降温系统。
[0006]根据本申请实施例的第一方面，提供一种降温装置，包括：
[0007]第一腔体，具有进气端；
[0008]冷却部件，设置于所述第一腔体内，用于对进入所述第一腔体内的气体进行冷却；
[0009]第二腔体，具有出气端，所述第二腔体贴近所述第一腔体，且连通所述第一腔体的内部；
[0010]导向部件，设置于所述第二腔体内，用于将冷却后的气体引导至所述出气端以排出。
[0011]在其中一个实施例中，所述冷却部件包括换热器。
[0012]在其中一个实施例中，所述冷却部件包括水冷板式换热器。
[0013]在其中一个实施例中，所述导向部件包括风扇，在所述风扇的旋转作用下，所述第二腔体内产生负压，以使冷却后的气体由第一腔体进入第二腔体，再沿气流方向由所述出气端排出。
[0014]在其中一个实施例中，还包括驱动部件，所述驱动部件连接所述风扇，用于驱动所述风扇旋转。
[0015]在其中一个实施例中，还包括第三腔体，所述第三腔体贴近所述第二腔体，所述驱动部件设置于所述第三腔体内，所述驱动部件的驱动轴延伸至所述第二腔体内与所述风扇连接。
[0016]在其中一个实施例中，所述驱动部件包括马达。
[0017]在其中一个实施例中，还包括变频器，所述变频器连接所述马达。
[0018]在其中一个实施例中，所述第一腔体、所述第二腔体及所述第三腔体同轴设置。
[0019]根据本申请实施例的第二方面，提供一种降温系统，包括：
[0020]压力容器，内部具有待降温的气体；
[0021]如上所述的降温装置，所述进气端和所述出气端均连通所述压力容器的内部。
[0022]本申请实施例提供的降温装置及降温系统，包括第一腔体和第二腔体，冷却部件设置于第一腔体内，导向部件设置于第二腔体内，压力容器内的气体经进气端进入第一腔体内，第一腔体内的冷却部件对其进行冷却，在导向部件的作用下，将冷却后的气体引导至第二腔体内，并经出气端排出，重新进入压力容器内部，如此往复实现对压力容器内部腔室的降温。由于，第一腔体贴近第二腔体设置，即冷却部件与导向部件之间无需连接冗长的管路、阀门等，精简了整个降温装置的结构，缩小了降温装置的整体体积，提高了降温效率。
附图说明
[0023]图1为本申请一实施例提供的降温装置的结构示意图；
[0024]图2为本申请另一实施例提供的降温装置的结构示意图。
[0025]附图标记说明：
[0026]100、第一腔体；110、进气端；111、进水口；112、出水口；113、前置腔体；200、冷却部件；300、第二腔体；310、出气端；400、导向部件；500、驱动部件；600、第三腔体。
具体实施方式
[0027]为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的优选实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反的，提供这些实施方式的目的是为了对本申请的公开内容理解得更加透彻全面。
[0028]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0029]术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0030]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0031]目前对压力容器内部腔室的降温方式，一般是对压力容器内的高温高压气体进行冷却。常用的方法是将压力容器内部腔室的气体导入至外部的换热器中进行冷却，然后再在风扇的旋转带动下重新将冷却后的气体注入回压力容器的内部腔室中，如此循环往复，即可实现快速降温的效果。
[0032]但是，换热器、风扇等部件之间需要通过管路、阀门等连接，这给设计、制造、安装等各环节均带来很多不便。具体来说，为了保证整体结构的稳固性和密封性，对各管路及端
口结构的强度及可靠性具有较高的要求，难度较大，并且冗长的管路及阀门也对流体的通过性带来一定的负面影响，影响气体的流动速率，进而影响整体的换热效率。同时，各管路及阀门也会导致整个装置的体积较大，需占用大量的空间，造成空间的浪费。
[0033]针对上述问题，本申请实施例提供了一种降温装置及降温系统。
[0034]在一个实施例中，提供一种降温装置，其可以用于对压力容器内的气体进行降温。
[0035]参照图1，本实施例提供的降温装置包括第一腔体100、冷却部件200、第二腔体300及导向部件400。其中，第一腔体100具有进气端110；冷却部件200设置于第一腔体100内，用于对进入第一腔体100内的气体进行冷却；第二腔体300具有出气端310，第二腔体300贴近第一腔体100，且连通第一腔体100的内部；导向部件400设置于第二腔体300内，用于将冷却后的气体引导至出气端310以排出。
[0036]本申请实施例提供的降温装置，压力容器内的气体可经进气端110进入第一腔体100内，第一腔体100内的冷却部件200对其进行冷却，在导向部件400的作用下，将冷却后的气体引导至第二腔体300内，并经出气端310排出，重新进入压力容器内部，如此往复实现对压力容器内部腔室的降温。由于，第一腔体100贴近第二腔体300设置，即冷却部件200与导向部件400之本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种降温装置，其特征在于，包括：第一腔体，具有进气端；冷却部件，设置于所述第一腔体内，用于对进入所述第一腔体内的气体进行冷却；第二腔体，具有出气端，所述第二腔体贴近所述第一腔体，且连通所述第一腔体的内部；导向部件，设置于所述第二腔体内，用于将冷却后的气体引导至所述出气端以排出。2.根据权利要求1所述的降温装置，其特征在于，所述冷却部件包括换热器。3.根据权利要求2所述的降温装置，其特征在于，所述冷却部件包括水冷板式换热器。4.根据权利要求1所述的降温装置，其特征在于，所述导向部件包括风扇，在所述风扇的旋转作用下，所述第二腔体内产生负压，以使冷却后的气体由第一腔体进入第二腔体，再沿气流方向由所述出气端排出。5.根据权利要求4所述的降温装置，其特征在于，还包括驱动部件...

【专利技术属性】
技术研发人员：张景南，
申请(专利权)人：南京屹立芯创半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：