【技术实现步骤摘要】
电容性压力传感器装置
[0001]本公开的实施例涉及一种电容性压力传感器装置，例如用于实现差分电容性压力传感器构思的电容性MEMS压力装置（MEMS=微机电系统）。更具体地，实施例涉及全差分电容性压力传感器构思。
[0002]本传感器构思涉及一种电容性压力传感器装置，其在所产生的压力灵敏度、压力非线性和所需占用面积方面示出改进的技术特性。传感器装置包括以形成电桥配置的方式互连的压敏电容器或由其组成。此外，读出电路可被用于感测电容随压力和温度的变化。
技术介绍
[0003]在移动设备、家庭自动化（例如智能家庭）和汽车部门内的适当传感器的实现中，利用了基于MEMS的设备感测环境大气中的环境参数（例如压力、声音、温度等）变得越来越重要。
[0004]用于MEMS电容性压力感测中的当前架构是基于由两个传感电容器和两个参考电容器组成的电容性电桥的，其中，传感电容器和参考电容器并排布置在电路板上。其输出信号与传感器电容变化成比例（相对地）。每个电容器（传感电容器和参考电容器）由导电膜和导电反电极组成，它们被腔分离。与对所...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电容性压力传感器装置（100），包括：在基板上的第一MEMS压力感测部分和第二MEMS压力感测部分，每个包括：相对于所述基板固定的第一刚性电极、第二刚性电极和可偏转膜结构，其中，所述第二刚性电极夹在所述第一刚性电极和所述可偏转膜结构之间，并且其中，所述第一刚性电极、所述第二刚性电极和所述可偏转膜结构是以垂直间隔配置来布置的，并且其中，所述第一MEMS压力感测部分的第一和第二刚性电极形成所述第一MEMS压力感测部分的参考电容器，并且其中，所述第一MEMS压力感测部分的第二刚性电极和可偏转膜结构形成所述第一MEMS压力感测部分的感测电容器，并且其中，所述第二MEMS压力感测部分的第一和第二刚性电极形成所述第二MEMS压力感测部分的参考电容器，并且其中，所述第二MEMS压力感测部分的第二刚性电极和可偏转膜结构形成所述第二MEMS压力感测部分的感测电容器。2.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述第一刚性电极通过绝缘柱机械耦合到所述第二刚性电极。3.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其中，所述第一MEMS压力感测部分的可偏转膜下方的腔和所述第二MEMS压力感测部分的可偏转膜下方的腔是对环境密封的。4.根据前述权利要求中任一项所述的传感器装置，其中，所述第一MEMS压力感测部分的可偏转膜结构和所述第二MEMS压力感测部分的可偏转膜结构被布置在同一平面上，其中，所述第一MEMS压力感测部分的第一刚性电极和所述第二MEMS压力感测部分的第一刚性电极被布置在同一平面上，并且其中，所述第一MEMS压力感测部分的第二刚性电极和所述第二MEMS压力感测部分的第二刚性电极被布置在同一平面上。5.根据前述权利要求中任一项所述的传感器装置，其中，所述第一MEMS压力感测部分的感测电容器和参考电容器以及所述第二MEMS压力感测部分的感测电容器和参考电容器是以电桥配置而连接的。6.一种电容性压力传感器装置（200），包括：在基板上的第一MEMS压力感测部分和第二MEMS压力感测部分，每个包括：以垂直间隔配置的刚性电极结构、第一可偏转膜结构和第二可偏转膜结构，其中，所述刚性电极结构夹在所述第一可偏转膜结构和所述第二可偏转膜结构之间，并且其中，所述第一MEMS压力感测部分的第一可偏转膜结构包括可偏转部分，并且所述第一MEMS压力感测部分的第二可偏转膜结构包括可偏转部分，并且其中，所述第一MEMS压力感测部分的第一和第二膜结构的可偏转部分彼此机械耦合，并且与刚性电极结构机械解耦，其中，所述第二MEMS压力感测部分的第一可偏转膜结构包括可偏转部分，并且所述第二MEMS压力感测部分的第二可偏转膜结构包括可偏转部分，并且其中，所述第二MEMS压力感测部分的第一和第二膜结构的可偏...
【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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