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电容性压力传感器装置包括在基板上的第一MEMS压力感测部分和第二MEMS压力感测部分，每个包括相对于基板固定的第一刚性电极、第二刚性电极和可偏转膜结构，其中第二刚性电极夹在第一刚性电极和可偏转膜结构之间，且其中第一刚性电极、第二刚性电极和可...
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