滤波器、改善滤波器带外抑制的方法以及电子设备技术

本发明专利技术公开了一种滤波器、改善滤波器带外抑制的方法以及电子设备。该滤波器包括叠置的上晶圆和下晶圆，上晶圆与下晶圆之间具有输入焊盘、输出焊盘以及金属密封环，上晶圆与下晶圆之间还具有从金属密封环引出的金属条，金属条与金属密封环的一部分共同形成具有开口的第一槽体或/和第二槽体，第一槽体能够容纳输入焊盘，第二槽体能够容纳输出焊盘，滤波器中的谐振器的引出线穿过槽体的开口然后连接到输入焊盘或者输出焊盘。本发明专利技术通过从金属密封环引出金属条，并且使金属条和金属密封环的一部分共同形成具有开口的槽体来容纳输入焊盘或/和输出焊盘，以实现有效抑制滤波器输入输出端口之间的耦合，改善带外抑制，具有简单易行等优点。行等优点。行等优点。

【技术实现步骤摘要】
滤波器、改善滤波器带外抑制的方法以及电子设备


[0001]本专利技术涉及滤波器
，特别地涉及一种滤波器、改善滤波器带外抑制的方法以及电子设备。

技术介绍

[0002]无线通信技术向着多频段、多模方向快速发展，作为射频前端关键部件的滤波器、双工器以及多工器得到广泛关注，特别是在发展最快的个人移动通信领域更是得到广泛应用。目前在个人移动通信领域得到广泛应用的滤波器、双工器多是由表面声波谐振器或体声波谐振器制造而成。相较于表面声波谐振器，体声波谐振器性能更胜一筹，体声波谐振器具有Q值高、频率覆盖范围广、散热性能好等特性，更适合未来5G通信的发展需要。由于体声波谐振器其谐振由机械波产生，而非电磁波作为谐振来源，机械波的波长比电磁波波长短很多。因此，体声波谐振器及其组成的滤波器体积相对传统的电磁滤波器尺寸大幅度减小。
[0003]虽然体声波滤波器已经在移动通信领域得到广泛应用，但目前5G通信给手机终端赋予了更多的功能，这就对射频器件提出了更高的挑战，既需要射频器件完成更复杂的功能，又要求其进一步缩小尺寸。作为射频器件中不可或缺的滤波器其尺寸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滤波器，包括叠置的上晶圆和下晶圆，所述上晶圆与下晶圆之间具有输入焊盘、输出焊盘以及金属密封环，其特征在于，所述上晶圆与下晶圆之间还具有从所述金属密封环引出的金属条，所述金属条与所述金属密封环的一部分共同形成具有开口的第一槽体或/和第二槽体，所述第一槽体能够容纳所述输入焊盘，所述第二槽体能够容纳所述输出焊盘，所述滤波器中的谐振器的引出线穿过所述开口然后连接到所述输入焊盘或者所述输出焊盘。2.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述金属条的竖直投影呈多边形。3.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述金属条的第一端与所述金属密封环相连，第二端空置或者通过过孔接地。4.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述金属条距离输入焊盘的距离大于30微米且小于70微米。5.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，形成所述第一槽体的金属条的高度高于所述输入焊盘的高度，并且形成所述第二槽体的金属条高度高于所述输出焊盘的高度。6.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，形成所述第一槽体的金属条的宽度为所述输入焊盘的宽度的35％至65％，并且形成所述第二槽体的金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐利军，庞慰，
申请(专利权)人：诺思天津微系统有限责任公司，
类型：发明
国别省市：