一种平面靶材的热压校平设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平面靶材的热压校平设备，包括工作台，所述工作台的顶部通过螺栓固定安装有驱动组件，所述工作台的顶部固定安装有加热平台，所述驱动组件的表面安装有移动块，所述移动块的表面安装有校平组件，所述校平组件的底部固定安装有加热板，所述移动块底部的前侧和后侧均固定安装有红外距离传感器。本实用新型专利技术解决了直接对平面靶材进行施压校平，未对需要校平的平面靶材进行加热处理，在进行施压校平时由于平面靶材脆性较大，容易压坏质脆的平面靶材，同时在校平的过程中不能对平面靶材压持固定，当由于质脆的平面靶材断裂时弹性跳起，容易对工作人员造成损伤的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材的热压校平设备


[0001]本技术涉及平面靶材校平
，具体为一种平面靶材的热压校平设备。

技术介绍

[0002]平面靶材是将靶材贴合在背板上，从而形成能够实现溅射加工的靶材原料，靶材基片的正拱或反拱的凹凸高度相对理想平面的偏差过大时，会导致靶材基片的溅射膜层均匀度不够，薄膜的成膜质量差，所以在进行溅射镀膜前，需要对绑定所得的平面靶材进行平面校平处理。
[0003]专利申请公布号CN213001926U的技术专利公开了一种平面靶材的校平设备，包括工作台，所述工作台下方连接设有支撑腿，所述工作台上对称连接设有两个连接板，两个连接板之间连接设有顶板，所述顶板下方设有滑轨，所述滑轨内滑动连接设有电动滑块，所述电动滑块下方连接设有液压气缸，所述液压气缸下方连接设有校平压块，所述工作台侧面设有空腔，所述空腔内连接设有导向轴，所述导向轴上活动套接设有活动块，所述活动块上连接设有L型架，所述L型架上连接设有平整度检测指针，所述连接板一侧连接设有控制器，所述电动滑块、液压气缸和平整度检测指针均与控制器电性连接。本技术与现有技术相比优点在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面靶材的热压校平设备，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部通过螺栓固定安装有驱动组件(2)，所述工作台(1)的顶部固定安装有加热平台(3)，所述驱动组件(2)的表面安装有移动块(4)，所述移动块(4)的表面安装有校平组件(5)，所述校平组件(5)的底部固定安装有加热板(6)，所述移动块(4)底部的前侧和后侧均固定安装有红外距离传感器(7)，所述驱动组件(2)的表面安装有压持组件(8)。2.根据权利要求1所述的一种平面靶材的热压校平设备，其特征在于：所述驱动组件(2)包括机架(21)，所述机架(21)的底部通过螺栓与工作台(1)的顶部固定连接，所述机架(21)的右侧通过螺栓固定连接有电机(22)，所述电机(22)的转轴贯穿机架(21)并固定连接有丝杆一(23)，所述丝杆一(23)的左端通过轴承活动镶嵌在机架(21)内腔的左侧，所述丝杆一(23)的表面螺纹套设有螺母一(24)，所述移动块(4)套设焊接在螺母一(24)的表面，所述移动块(4)与机架(21)滑动卡接。3.根据权利要求1所述的一种平面靶材的热压校平设备，其特征在于：所述校平组件(5)包括液压缸(51)，所述液压缸(51)的一侧通过螺栓与移动块(4)的顶部固定连接，所述液压缸(51)的输出端贯穿...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵久祥，
申请(专利权)人：涿州有融新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：