一种晶圆片气流干燥箱制造技术

本实用新型专利技术公开一种晶圆片气流干燥箱，属于晶圆片干燥技术领域，其包括箱体，箱体的顶端固定连接有加热箱，加热箱的内部固定连接有加热杆，加热箱的顶端接通有连接管，连接管的顶端接通有排气管，排气管的顶端设置有送风箱，送风箱的内部固定安装有抽气泵，抽气泵的底端与排气管相接通，抽气泵的顶端接通有进气管，且进气管贯穿送风箱设置，加热箱的底端接通有转接管，转接管贯穿加热箱并延伸至箱体的内部顶端；本实用新型专利技术利用设置的箱体内部的置物板来进行对晶圆片的放置，之后利用设置在送风箱内部的抽气泵来通过进气管将外界的空气抽取，同时抽取的空气通过排气管以及连接管排进加热箱内部，利用加热杆的加热，尽可能的将空气中的湿气蒸发。空气中的湿气蒸发。空气中的湿气蒸发。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片气流干燥箱


[0001]本技术涉及晶圆片干燥
，尤其涉及一种晶圆片气流干燥箱。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片。
[0003]已经公布的公告号为CN114353479B的专利文件中，公开了一种晶圆片干燥装置，包括机架，以及设置在机架上用于夹持晶圆片的夹持架和用于干燥晶圆片的干燥组件，夹持架与机架可拆连接；夹持架包括伸缩框架和多个用于套固晶圆片的晶圆套，各晶圆套与伸缩框架转动连接，各晶圆套的旋转轴线与伸缩框架的伸缩方向垂直，多个晶圆套沿伸缩框架伸长方向均匀设置，伸缩框架运动时带动晶圆套运动；伸缩框架展开完成时，晶圆套旋转轴线之间的距离大于晶圆套的外径。本装置将多个晶圆片集成收纳，并一同进行干燥，减少了工作人员的等待和现场放置晶圆片带来的辅助时间，可有效提高劳动效率。
[0004]以上装置在进行使用时通过喷气管喷出的气体来进行对晶圆片进行干燥，但是在阴雨天时，抽气泵抽取的空气较为潮湿，所以无法很好的将晶圆片上的湿气进行干燥，为此我们提出一种晶圆片气流干燥箱。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆片气流干燥箱，克服了现有技术的不足，旨在解决
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆片气流干燥箱，包括箱体，所述箱体的顶端固定连接有加热箱，所述加热箱的内部固定连接有加热杆，所述加热箱的顶端接通有连接管，所述连接管的顶端接通有排气管，所述排气管的顶端设置有送风箱，所述送风箱的内部固定安装有抽气泵，所述抽气泵的底端与所述排气管相接通，所述抽气泵的顶端接通有进气管，且所述进气管贯穿所述送风箱设置，所述加热箱的底端接通有转接管，所述转接管贯穿所述加热箱并延伸至所述箱体的内部顶端，所述转接管的底端安装有若干组喷头，所述箱体的内部滑动连接有置物板，且所述置物板为网状结构，所述箱体后表面接通有出气管。
[0007]通过上述技术方案，利用设置的箱体内部的置物板来进行对晶圆片的放置，之后利用设置在送风箱内部的抽气泵来通过进气管将外界的空气抽取，同时抽取的空气通过排气管以及连接管排进加热箱内部，利用加热杆的加热，尽可能的将空气中的湿气蒸发，同时，气体通过加热杆时升温，并利用转接管以及喷头喷出至置物板上的晶圆片上，来进行对晶圆片进行干燥，同时利用出气管来排出进入箱体内部的热风，尽可能地形成空气的循环。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述箱体的正表面转动安装有箱门，所述箱体的底端固定连接有支架。
[0009]通过上述技术方案，利用设置的箱门尽可能避免箱体内部热风的流出，并利用支架来进行对箱体支撑。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述箱体的正表面底端与所述箱门的下方设置有挡板，且所述挡板插接于所述箱体，所述箱体的正表面固定连接有密封条，且所述密封条位于所述挡板的正表面设置，所述挡板的正表面固定连接有把手。
[0011]通过上述技术方案，利用设置的挡板来阻挡热风向下方排出，利用设置的密封条尽可能地避免热风从挡板与箱体上的凹槽排出，并利用设置的把手尽可能地便于将挡板抽出。
[0012]作为本技术的一种优选技术方案，所述进气管的内部顶端固定连接有吸湿板，所述送风箱的外侧固定连接有固定架，所述固定架的底端固定连接于所述箱体的顶端。
[0013]通过上述技术方案，利用设置的吸湿板尽可能的避免空气中的湿气被送进送风箱内部，并利用设置的固定架来进行对送风箱的支撑。
[0014]作为本技术的一种优选技术方案，所述箱体内部位于所述置物板上方设置有扩散板，所述扩散板的内部开设有扩散孔，所述扩散板为吸热性材质。
[0015]通过上述技术方案，利用设置的扩散板与扩散孔尽可能的避免热风对着晶圆片直吹，导致对晶圆片造成损坏。
[0016]作为本技术的一种优选技术方案，所述出气管的外侧安装有电磁阀。
[0017]通过上述技术方案，利用设置的电磁阀来控制出气管的排量。
[0018]作为本技术的一种优选技术方案，所述箱体内部位于所述挡板下方设置有干燥硅胶，所述干燥硅胶的外侧卡接有限位架，且所述限位架固定连接于所述箱体的内部，所述限位架为网状结构。
[0019]通过上述技术方案，利用设置的干燥硅胶尽可能地在干燥晶圆片之后将箱体内部残留的热风中的潮气吸收，同时也尽可能地避免晶圆片的再次潮湿。
[0020]本技术的有益效果：
[0021]本技术利用设置的箱体内部的置物板来进行对晶圆片的放置，之后利用设置在送风箱内部的抽气泵来通过进气管将外界的空气抽取，同时抽取的空气通过排气管以及连接管排进加热箱内部，利用加热杆的加热，尽可能的将空气中的湿气蒸发，同时，气体通过加热杆时升温，并利用转接管以及喷头喷出至置物板上的晶圆片上，来进行对晶圆片进行干燥，同时利用出气管来排出进入箱体内部的热风，尽可能地形成空气的循环。
附图说明
[0022]图1为本技术的正视结构示意图；
[0023]图2为本技术的左视结构示意图；
[0024]图3为本技术的左视内部结构示意图；
[0025]图4为本技术的图2中A处结构示意图。
[0026]图中：1、箱体；2、箱门；3、挡板；4、密封条；5、支架；6、把手；7、加热箱；8、连接管；9、排气管；10、送风箱；11、进气管；12、固定架；13、吸湿板；14、抽气泵；15、加热杆；16、转接管；17、扩散板；18、扩散孔；19、置物板；20、干燥硅胶；21、限位架；22、出气管；23、电磁阀。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]实施例一
[0029]请参阅图1
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图4，一种晶圆片气流干燥箱，包括箱体1，箱体1的顶端固定连接有加热箱7，加热箱7的内部固定连接有加热杆15，加热箱7的顶端接通有连接管8，连接管8的顶端接通有排气管9，排气管9的顶端设置有送风箱10，送风箱10的内部固定安装有抽气泵14，抽气泵14的底端与排气管9相接通，抽气泵14的顶端接通有进气管11，且进气管11贯穿送风箱10设置，加热箱7的底端接通有转接管16，转接管16贯穿加热箱7并延伸至箱体1的内部顶端，转接管16的底端安装有若干组喷头，箱体1的内部滑动连接有置物板19，且置物板19为网状结构，箱体1后表面接通有出气管22；利用设置的箱体1内部的置物板19来进行对晶圆片的放置，之后本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片气流干燥箱，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)的顶端固定连接有加热箱(7)，所述加热箱(7)的内部固定连接有加热杆(15)，所述加热箱(7)的顶端接通有连接管(8)，所述连接管(8)的顶端接通有排气管(9)，所述排气管(9)的顶端设置有送风箱(10)，所述送风箱(10)的内部固定安装有抽气泵(14)，所述抽气泵(14)的底端与所述排气管(9)相接通，所述抽气泵(14)的顶端接通有进气管(11)，且所述进气管(11)贯穿所述送风箱(10)设置，所述加热箱(7)的底端接通有转接管(16)，所述转接管(16)贯穿所述加热箱(7)并延伸至所述箱体(1)的内部顶端，所述转接管(16)的底端安装有若干组喷头，所述箱体(1)的内部滑动连接有置物板(19)，且所述置物板(19)为网状结构，所述箱体(1)后表面接通有出气管(22)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片气流干燥箱，其特征在于，所述箱体(1)的正表面转动安装有箱门(2)，所述箱体(1)的底端固定连接有支架(5)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆片气流干燥箱，其特征在于，所述箱体(1)的正表面底端与所述箱门(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：高阳，雷辉军，
申请(专利权)人：常州光迅工业设备有限公司，
类型：新型
国别省市：