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本实用新型公开一种晶圆片气流干燥箱，属于晶圆片干燥技术领域，其包括箱体，箱体的顶端固定连接有加热箱，加热箱的内部固定连接有加热杆，加热箱的顶端接通有连接管，连接管的顶端接通有排气管，排气管的顶端设置有送风箱，送风箱的内部固定安装有抽气泵，抽...
该专利属于常州光迅工业设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州光迅工业设备有限公司授权不得商用。

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