用于金属粉末处理的退火炉制造技术

本实用新型专利技术涉及退火炉技术领域，提出了用于金属粉末处理的退火炉，包括退火炉壳体和助燃组件，所述退火炉壳体的顶端中间位置处活动安装有控制阀，所述控制阀的下方开设有进料口，所述进料口的两侧均固定安装有助燃组件，所述进料口的下方固定安装有储料室，所述储料室的下方固定安装有燃烧室。通过上述技术方案，解决了现有技术中退火炉内的燃烧加热效率不高，加热时间长，加热温度提升慢，而且在加工使用时，因为一炉金属粉末处理结束后，就停机出料，导致退火炉中的热量大量流失，进行下一炉加工时，又要重新预热，导致在退火过程中，热量损失大，不仅提高了生产成本，而且还影响生产效率，给加工使用带来不便的问题。给加工使用带来不便的问题。给加工使用带来不便的问题。

【技术实现步骤摘要】
用于金属粉末处理的退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，具体的，涉及用于金属粉末处理的退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
[0003]目前用于金属粉末处理的退火炉，退火炉内的燃烧加热效率不高，加热时间长，加热温度提升慢，而且在加工使用时，因为一炉金属粉末处理结束后，就停机出料，导致退火炉中的热量大量流失，进行下一炉加工时，又要重新预热，导致在退火过程中，热量损失大，不仅提高了生产成本，而且还影响生产效率，给加工使用带来不便。
[0004]为此我们提出用于金属粉末处理的退火炉。

技术实现思路

[0005]本技术提出用于金属粉末处理的退火炉，解决了相关技术中目前用于金属粉末处理的退火炉，退火炉内的燃烧加热效率不高，加热时间长，加热温度提升慢，而且在加工使用时，因为一炉金属粉末处理结束后，就停机出料，导致退火炉中的热量大量流失，进行下一炉加工时，又要重新预热，导致在退火过程中，热量损失大，不仅提高了生产成本，而且还影响生产效率，给加工使用带来不便的问题。
[0006]本技术的技术方案如下：包括退火炉壳体和助燃组件，所述退火炉壳体的顶端中间位置处活动安装有控制阀，所述控制阀的下方开设有进料口，所述进料口的两侧均固定安装有助燃组件，所述进料口的下方固定安装有储料室，所述储料室的下方固定安装有燃烧室，所述燃烧室的下方固定安装有下料室。
[0007]其中，所述助燃组件包括吸风机、短直管、弯管和长直管，所述助燃组件上横向固定安装有短直管，所述短直管的内部固定安装有吸风机，所述短直管的一侧密封安装有弯管，所述弯管的另一侧密封固定安装有长直管。
[0008]其中，所述长直管的一端伸出位于退火炉壳体上进料口的外侧，所述长直管的另一端贯穿退火炉壳体内部直至燃烧室的内部上方。
[0009]其中，所述短直管、弯管和长直管一体成型且均为内部中空的密封保温的耐高温材质。
[0010]其中，所述燃烧室的顶端密封安装有保温层，所述燃烧室的底端外部活动安装有第二下料阀。
[0011]其中，所述储料室的内部固定安装有储料内胆，所述储料内胆为漏斗型结构，所述储料室的底端固定安装有隔热层，所述储料室的底端外部活动安装有第一下料阀。
[0012]其中，所述隔热层与保温层之间密封固定，且隔热层和保温层的中间对应位置处
开设有圆柱体下料板，所述柱体下料板与第一下料阀之间活动连接。
[0013]其中，所述下料室的顶端开设有第二下料口，所述下料室的底端开设有出料口，所述第二下料口与燃烧室底端开设的下料板相适配，所述下料板与第二下料阀活动连接，所述出料口外部对应安装有控制阀。
[0014]本技术的有益效果为：
[0015]1.本技术中在退火炉壳体内设置有两组助燃组件，通过助燃组件上的长直管密封连通燃烧室，通过在短直管内设置有吸风机，在对燃烧室内的金属粉末进行加工处理时，短直管内的吸风机通过和弯管密封连接的长直管进行配合，加速燃烧室内的空气流动，从而来提高退火炉内的燃烧加热效率，减少加热时间，使得加热温度快速提升，从而提高生产效率。
[0016]2.本技术中通过在退火炉壳体内设置有储料室、燃烧室和下料室，再对金属粉末进行加工处理时，先将标准分的金属粉末加入到燃烧室内，然后通过关闭第一下料阀，再继续通过进料口对储料室加入标准分的金属粉末，存放在储料内胆中，当燃烧室内的金属粉末加工后，通过打开第二下料阀将加工好的金属粉末下料至下料室内冷却降温，然后打开第一下料阀将储料内胆中金属粉末加入到燃烧室内继续加工，整个操作过程退火炉壳体呈密封状态，从而减少因停机出料导致的退火炉中热量大量流失，而且降低了预热频率，从而节约了资源，降低生产成本，提高了生产效率。
附图说明
[0017]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0018]图1为本技术主体结构示意图；
[0019]图2为本技术助燃组件和燃烧室结构示意图；
[0020]图3为本技术吸风机安装结构示意图；
[0021]图4为本技术储料室结构示意图；
[0022]图5为本技术下料室结构示意图；
[0023]图中：1、退火炉壳体；2、进料口；3、控制阀；4、助燃组件；5、储料室；6、燃烧室；7、下料室；8、吸风机；9、短直管；10、弯管；11、长直管；12、保温层；13、第二下料阀；14、储料内胆；15、第一下料阀；16、隔热层；17、第二下料口；18、出料口。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本技术保护的范围。
[0025]实施例1
[0026]如图1～图5所示，本实施例提出了包括退火炉壳体1和助燃组件4，退火炉壳体1的顶端中间位置处活动安装有控制阀3，控制阀3的下方开设有进料口2，进料口2的两侧均固定安装有助燃组件4，进料口2的下方固定安装有储料室5，储料室5的下方固定安装有燃烧室6，燃烧室6的下方固定安装有下料室7；助燃组件4包括吸风机8、短直管9、弯管10和长直
管11，助燃组件4上横向固定安装有短直管9，短直管9的内部固定安装有吸风机8，短直管9的一侧密封安装有弯管10，弯管10的另一侧密封固定安装有长直管11。
[0027]本实施例中，在退火炉壳体1内设置有两组助燃组件4，通过助燃组件4上的长直管11密封连通燃烧室6，通过在短直管9内设置有吸风机8，在对燃烧室6内的金属粉末进行加工处理时，短直管9内的吸风机8，通过和弯管10密封连接的长直,11进行配合，加速燃烧室6内的空气流动，从而来提高退火炉内的燃烧加热效率，减少加热时间，使得加热温度快速提升，从而提高生产效率。
[0028]实施例2
[0029]如图1～图5所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了燃烧室6的顶端密封安装有保温层12，燃烧室6的底端外部活动安装有第二下料阀13；储料室5的内部固定安装有储料内胆14，储料内胆14为漏斗型结构，储料室5的底端固定安装有隔热层16，储料室5的底端外部活动安装有第一下料阀15；下料室7的顶端开设有第二下料口17，下料室7的底端开设有出料口18，第二下料口17与燃烧室6底端开设的下料板相适配，下料板与第二下料阀13活动连接，出料口18外部对应安装有控制阀。
[0030]本实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于金属粉末处理的退火炉，其特征在于，包括退火炉壳体(1)和助燃组件(4)，所述退火炉壳体(1)的顶端中间位置处活动安装有控制阀(3)，所述控制阀(3)的下方开设有进料口(2)，所述进料口(2)的两侧均固定安装有助燃组件(4)，所述进料口(2)的下方固定安装有储料室(5)，所述储料室(5)的下方固定安装有燃烧室(6)，所述燃烧室(6)的下方固定安装有下料室(7)。2.根据权利要求1所述的用于金属粉末处理的退火炉，其特征在于，所述助燃组件(4)包括吸风机(8)、短直管(9)、弯管(10)和长直管(11)，所述助燃组件(4)上横向固定安装有短直管(9)，所述短直管(9)的内部固定安装有吸风机(8)，所述短直管(9)的一侧密封安装有弯管(10)，所述弯管(10)的另一侧密封固定安装有长直管(11)。3.根据权利要求2所述的用于金属粉末处理的退火炉，其特征在于，所述长直管(11)的一端伸出位于退火炉壳体(1)上进料口(2)的外侧，所述长直管(11)的另一端贯穿退火炉壳体(1)内部直至燃烧室(6)的内部上方。4.根据权利要求2所述的用于金属粉末处理的退火炉，其特征在于，所述短直管(9)、弯管(10)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：郗士河，郗宗彬，杨成军，郗未鹏，郗高朋，
申请(专利权)人：河北竺泰粉末冶金制品有限公司，
类型：新型
国别省市：