本实用新型专利技术涉及半导体切割技术领域，具体公开一种用于多线切割机的喷淋装置及多线切割机，该喷淋装置包括用于向切割线喷淋切割液的切割线喷淋组件，还包括用于向槽轮沟槽喷淋切割液的沟槽喷淋组件，所述切割线喷淋组件与所述沟槽喷淋组件之间设有用于安装槽轮的槽轮安装空间。通过设置相互配合的切割线喷淋组件及沟槽喷淋组件，在切割作业过程中向切割线及槽轮沟槽喷淋切割液，及时清理到切割线与槽轮沟槽上的碎屑粉末，有效避免现有技术中切割线绕经沟槽后被沟槽内堆积的碎屑粉末污染或顶出于沟槽外的问题，切割线的切割能力得以有效发挥，有效提高切割效率，同时降低切割过程中跳线断线的风险，有效提高切割良率。有效提高切割良率。有效提高切割良率。
【技术实现步骤摘要】
用于多线切割机的喷淋装置及多线切割机
[0001]本技术涉及半导体切割
，尤其涉及一种用于多线切割机的喷淋装置及多线切割机。
技术介绍
[0002]多线切割是一种常用的半导体材料切割方法，其是通过高速往复运动的金刚线网，携带着一定浓度的切割液，将晶棒原料切割至所需厚度衬底。在金刚线高速往复运动的过程中，金刚线与晶棒磨削会产生大量热量及碎屑粉末，此时恒温的切割液就起到将降温及排屑的作用。
[0003]目前的多线切割机通常是在槽轮上方设置喷淋管，通过喷淋管向切割线喷淋切割液，然而，这种喷淋方式仅能对切割线上残留的碎屑粉末进行一定程度的冲刷，对于槽轮沟槽内的碎屑粉末得不到有效的冲刷，随着切割作业的进行，部分磨削产生的碎屑粉末附着堆积在槽轮沟槽内而得不到及时清理，这使得在切割过程中，切割线绕经槽轮的沟槽时会携带大量粉末碎屑，包裹住金刚线，导致切割效率下降；此外，槽轮沟槽内沉积的大量碎屑粉末还会将沟槽内的切割线顶出，增加了切割中跳线断线的风险，从而影响切割良率。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于针对已有的技术现状，提供一种用于多线切割机的喷淋装置及多线切割机，本技术的喷淋装置能够及时清理到切割线与槽轮沟槽上的碎屑粉末，有效提高切割效率及切割良率。
[0005]为达到上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种用于多线切割机的喷淋装置，包括用于向切割线喷淋切割液的切割线喷淋组件，还包括用于向槽轮沟槽喷淋切割液的沟槽喷淋组件，所述切割线喷淋组件与所述沟槽喷淋组件之间设有用于安装槽轮的槽轮安装空间。
[0007]在一些实施例中，所述切割线喷淋组件设于所述槽轮安装空间上方，所述沟槽喷淋组件设于所述槽轮安装空间下方。
[0008]在一些实施例中，所述切割线喷淋组件和/或沟槽喷淋组件包括用于输送切割液的管体及用于将管体内的切割液喷出的喷嘴，所述喷嘴设于所述管体的侧壁上。
[0009]在一些实施例中，所述管体沿所述槽轮的平行方向设置。
[0010]在一些实施例中，所述管体上设有多个喷嘴，各喷嘴沿管体的长度方向排布。
[0011]在一些实施例中，所述切割线喷淋组件或所述沟槽喷淋组件设有进液管，所述切割线喷淋组件的管体与所述沟槽喷淋组件的管体之间设有连通管。
[0012]在一些实施例中，所述切割线喷淋组件的管体连接有安装挂架。
[0013]在一些实施例中，所述进液管连接有输液泵，所述输液泵连接有供液源。
[0014]本实施例还提供一种多线切割机，包括切割线、槽轮组及上述的喷淋装置，所述槽轮组包括至少两个相互平行的槽轮，所述切割线绕经各槽轮以形成线网，各所述槽轮上设
有供切割线滑行的沟槽，所述切割线喷淋组件的喷淋方向为朝向所述切割线的方向，所述沟槽喷淋组件的喷淋方向为朝向所述沟槽的方向。
[0015]在一些实施例中，各所述槽轮的侧旁对应设有一套喷淋装置，且所述切割线喷淋组件设于对应的槽轮上方，所述沟槽喷淋组件设于对应的槽轮下方。
[0016]本技术的有益效果在于：
[0017]本技术通过设置相互配合的切割线喷淋组件及沟槽喷淋组件，在切割作业过程中向切割线及槽轮沟槽喷淋切割液，及时清理到切割线与槽轮沟槽上的碎屑粉末，有效避免现有技术中切割线绕经沟槽后被沟槽内堆积的碎屑粉末污染或顶出于沟槽外的问题，切割线的切割能力得以有效发挥，有效提高切割效率，同时降低切割过程中跳线断线的风险，有效提高切割良率。
附图说明
[0018]图1为本技术的用于多线切割机的喷淋装置的结构示意图。
[0019]图2为本技术的用于多线切割机的喷淋装置的另一视角的结构示意图。
[0020]图3为本技术的多线切割机的结构示意图。
[0021]图4为本技术的多线切割机的俯视图。
具体实施方式
[0022]下面结合附图及实施例对本技术作进一步说明：
[0023]请参阅图1至图3所示，本实施例公开一种用于多线切割机的喷淋装置1，包括用于向切割线9喷淋切割液的切割线喷淋组件2，还包括用于向槽轮10沟槽喷淋切割液的沟槽喷淋组件4，切割线喷淋组件2与沟槽喷淋组件4之间设有用于安装槽轮10的槽轮安装空间3。
[0024]多线切割机切割作业过程中，切割线喷淋组件2向切割线9喷淋切割液，切割线9携带着切割液进入被切割工件A的切缝内，切割液再将切缝内的碎屑粉末带出，起到降温冷却、排屑作用，同时及时清理掉切割线9上的碎屑粉末；与此同时，沟槽喷淋组件4向槽轮10沟槽喷淋切割液，将槽轮10沟槽内的碎屑粉末冲刷出来，从而及时清理掉槽轮10沟槽内的碎屑粉末，并通过将切割线喷淋组件2与沟槽喷淋组件4分别设置在槽轮10两侧，确保切割线喷淋组件2与沟槽喷淋组件4互不干扰。
[0025]本技术通过设置相互配合的切割线喷淋组件2及沟槽喷淋组件4，在切割作业过程中向切割线9及槽轮10沟槽喷淋切割液，及时清理到切割线9与槽轮10沟槽上的碎屑粉末，有效避免现有技术中切割线9绕经沟槽后被沟槽内堆积的碎屑粉末污染或顶出于沟槽外的问题，切割线9的切割能力得以有效发挥，有效提高切割效率，同时降低切割过程中跳线断线的风险，有效提高切割良率。
[0026]在一种具体的实施方式中，参阅图1及图3所示，切割线喷淋组件2设于槽轮安装空间3下方，沟槽喷淋组件4设于槽轮安装空间3上方。
[0027]作为一种较佳的具体实施方式，本实施例中，切割线喷淋组件2与沟槽喷淋组件4之间设有用于安装槽轮10的槽轮安装空间3，切割线喷淋组件2设于槽轮安装空间3上方，沟槽喷淋组件4设于槽轮安装空间3下方。
[0028]当碎屑粉末落到沟槽内时，随着槽轮10的旋转，原本位于槽轮10上端的碎屑粉末
在沟槽内自高向低移动，部分碎屑粉末自然掉落，剩余的碎屑粉末滞留在沟槽内，当沟槽喷淋组件4安装于槽轮10下方，冲刷槽轮10下端的沟槽时，能够将真正作用于滞留在沟槽内的碎屑粉末，因此，相比于将沟槽喷淋组件4设于槽轮10上方，将沟槽喷淋组件4设于槽轮10下方能够提升切割液的有效利用率，切割液用量更少。
[0029]参阅图1及图2所示，切割线喷淋组件2和沟槽喷淋组件4包括用于输送切割液的管体51及用于将管体51内的切割液喷出的喷嘴52，喷嘴52设于管体51的侧壁上。使用时，切割液输送至管体51内，并经由喷嘴52从管体51内喷出，安装时，通过调节管体51，可调节喷嘴52的喷射角度，以使切割液能够更准确的朝到切割线9或槽轮10的沟槽上。
[0030]参阅图2所示，管体51沿槽轮10的平行方向设置，便于喷嘴52的安装布置。
[0031]参阅图2所示，管体51上设有多个喷嘴52，各喷嘴52沿管体51的长度方向排布，从而确保各槽轮10沟槽或切割线9的各个线段能够被喷淋到切割液，且切割液的喷淋更均匀，整体喷淋效果更佳。
[0032]参阅图1及图2所示，切割线喷淋组件2或沟槽喷淋组本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于多线切割机的喷淋装置，包括用于向切割线喷淋切割液的切割线喷淋组件，其特征在于，还包括用于向槽轮沟槽喷淋切割液的沟槽喷淋组件，所述切割线喷淋组件与所述沟槽喷淋组件之间设有用于安装槽轮的槽轮安装空间。2.根据权利要求1所述的用于多线切割机的喷淋装置，其特征在于，所述切割线喷淋组件设于所述槽轮安装空间上方，所述沟槽喷淋组件设于所述槽轮安装空间下方。3.根据权利要求1所述的用于多线切割机的喷淋装置，其特征在于，所述切割线喷淋组件和/或沟槽喷淋组件包括用于输送切割液的管体及用于将管体内的切割液喷出的喷嘴，所述喷嘴设于所述管体的侧壁上。4.根据权利要求3所述的用于多线切割机的喷淋装置，其特征在于，所述管体沿所述槽轮的平行方向设置。5.根据权利要求4所述的用于多线切割机的喷淋装置，其特征在于，所述管体上设有多个喷嘴，各喷嘴沿管体的长度方向排布。6.根据权利要求3所述的用于多线切割机的喷淋装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟后芳，万里辉，高东升，吴琼琼，崔思远，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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