本申请实施例涉及生产设备技术领域，公开了一种摇摆装置及蚀刻系统,所述摇摆装置包括机壳、驱动组件、摇摆轴、轴承组件以及偏心轮组件，摇摆轴转动设置于机壳，驱动组件设置于机壳并且与摇摆轴的一端连接，驱动组件用于驱动摇摆轴转动，轴承组件套设于摇摆轴以支撑摇摆轴转动，偏心轮组件套设于摇摆轴，当摇摆轴转动时带动偏心轮组件进行摇摆运动。通过设置轴承组件套设在摇摆轴上，能够有效减小摇摆轴在转动的过程中的摆动幅度，提高摇摆轴的安全性和稳定性。和稳定性。和稳定性。
【技术实现步骤摘要】
摇摆装置及蚀刻系统
[0001]本申请实施例涉及生产设备
，特别是涉及一种摇摆装置及蚀刻系统。
技术介绍
[0002]摇摆装置一般包括摇摆电机、摇摆轴、偏心轮组件以及箱体组成，摇摆轴和偏心轮组件设置于箱体内，通过摇摆电机驱动摇摆轴转动，从而带动偏心轮组件进行运动，以实现摇摆的功能。
[0003]本申请实施例在实施过程中，专利技术人发现：由于箱体需要保持良好的密封性，箱体与摇摆轴之间需要设置密封件，密封件在满足密封性的情况下，无法满足支撑摇摆轴的要求，导致摇摆轴在转动过程中摆动幅度大，影响摇摆轴运转。
技术实现思路
[0004]本申请实施例主要解决的技术问题是提供一种摇摆装置及蚀刻系统，通过在机壳上设置轴承组件，能够有效减小摇摆轴在转动的过程中的摆动幅度，提高摇摆轴的安全性和稳定性。
[0005]为解决上述技术问题，本申请实施例采用的一个技术方案是：提供一种摇摆装置，包括机壳、驱动组件、摇摆轴、轴承组件以及偏心轮组件，机壳设有收容腔；驱动组件设置于所述机壳；所述摇摆轴的一端与所述驱动组件连接，所述摇摆轴的另一端转动设置于所述机壳，所述驱动组件用于驱动所述摇摆轴转动；轴承组件设置于所述机壳，所述轴承组件套设于所述摇摆轴以支撑所述摇摆轴转动；偏心轮组件套设于所述摇摆轴，所述摇摆轴转动以带动所述偏心轮组件进行摇摆运动。
[0006]可选地，所述轴承组件包括轴承和支撑板，所述支撑板设置于所述机壳，所述支撑板设有第一通孔，所述轴承设置于所述支撑板，所述摇摆轴套设于所述轴承并且穿过所述第一通孔，所述摇摆轴可在所述第一通孔内转动。
[0007]可选地，所述轴承组件还包括轴承座，所述轴承座设置于所述支撑板，所述轴承座用于安装所述轴承。
[0008]可选地，所述轴承组件还包括第一固定件；所述轴承座设有第一固定孔，所述第一固定件穿过所述第一固定孔与所述支撑板连接，以将所述轴承座固定于所述支撑板。
[0009]可选地，所述轴承组件还包括第二固定件；所述轴承的内圈设有第二固定孔，所述第二固定件穿过所述第二固定孔后与所述摇摆轴连接，以将所述轴承的内圈固定于所述摇摆轴。
[0010]可选地，所述轴承组件还包括密封件，所述密封件设置于所述支撑板，所述密封件用于密封所述摇摆轴与所述支撑板在所述第一通孔处的缝隙。
[0011]可选地，所述收容腔设置有第一腔室和第二腔室，所述轴承组件和部分所述驱动组件收容于所述第一腔室，所述偏心轮组件设置于所述第二腔室，所述机壳设有第二通孔，所述第二通孔将所述第一腔室和所述第二腔室连通，所述摇摆轴穿过所述第二通孔，所述
摇摆轴的两端分别位于所述第一腔室和所述第二腔室。
[0012]可选地，所述摇摆装置还包括腔体密封组件，所述腔体密封组件设置于所述机壳，所述腔体密封组件用于密封所述摇摆轴与所述机壳在所述第二通孔处的缝隙。
[0013]可选地，所述机壳还包括固定座，所述固定座设置于所述第二腔室的内壁，所述固定座用于支撑所述摇摆轴的另一端。
[0014]为解决上述技术问题，本申请实施例采用的另一个技术方案是：提供一种蚀刻系统，包括如上所述的摇摆装置。
[0015]本申请实施例摇摆装置包括机壳、驱动组件、摇摆轴、轴承组件以及偏心轮组件，摇摆轴转动设置于机壳，驱动组件设置于机壳并且与摇摆轴的一端连接，驱动组件用于驱动摇摆轴转动，轴承组件套设于摇摆轴以支撑摇摆轴转动，偏心轮组件套设于摇摆轴，当摇摆轴转动时带动偏心轮组件进行摇摆运动。通过设置轴承组件套设在摇摆轴上，能够有效减小摇摆轴在转动的过程中的摆动幅度，提高摇摆轴的安全性和稳定性。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请具体实施例或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0017]图1是本申请实施例摇摆装置的局部剖视图。
[0018]图2是本申请实施例摇摆装置的轴承组件的剖视图。
具体实施方式
[0019]为了便于理解本申请，下面结合附图和具体实施例，对本申请进行更详细的说明。需要说明的是，当元件被表述“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上、或者其间可以存在一个或多个居中的元件。当一个元件被表述“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件、或者其间可以存在一个或多个居中的元件。本说明书所使用的术语“上”、“下”、“内”、“外”、“垂直的”、“水平的”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0020]除非另有定义，本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是用于限制本申请。本说明书所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0021]此外，下面所描述的本申请不同实施例中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0022]请参阅图1，所述摇摆装置100包括机壳10、驱动组件20、摇摆轴 30、轴承组件40以及偏心轮组件50。驱动组件20部分设置于机壳10 外，驱动组件20部分设置于机壳10内，摇摆轴30转动设置在机壳10 内并且摇摆轴30的一端与驱动组件20连接，驱动组件20用于驱动摇摆轴30转动。轴承组件40设置于机壳10内，轴承组件40套设于摇摆轴30以支撑摇摆轴
30转动，防止摇摆轴30在转动过程中，摆动幅度过大，影响摇摆装置100的工作性能。偏心轮组件50套设于摇摆轴30，偏心轮组件50还与其他零部件连接，当摇摆轴30转动时，可以带动偏心轮组件50进行偏心摇摆运动，从而带动与偏心轮组件50连接的其他零部件做摇摆运动。
[0023]对于上述的机壳10，请参阅图1，所述机壳10设有收容腔11、第二通孔12以及固定座13。收容腔11设有第一腔室111和第二腔室112，第一腔室111用于收容部分驱动组件20、部分摇摆轴30以及轴承组件 40，第二腔室112用于收容部分摇摆轴30、偏心轮组件50以及固定座 13。第二通孔12连通第一腔室111和第二腔室112，第二通孔12用于供摇摆轴30穿过，摇摆轴30可在第二通孔12内转动。固定座13设置于第二腔室112的内壁面，固定座13用于支撑摇摆轴30的另一端，并且摇摆轴30的另一端可以在固定座13上相对转动。
[0024]在一些实施例中，请参阅图1，所述摇摆装置100还包括腔体密封组件60。腔体密封组件60设置于机壳10，并且位于第二通孔12处。腔体密封组件60用于密封摇摆轴30和机壳10在第二通孔本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种摇摆装置，其特征在于，包括：机壳，设有收容腔，所述收容腔设置有第一腔室和第二腔室，所述机壳设有第二通孔，所述第二通孔将所述第一腔室和所述第二腔室连通；驱动组件，设置于所述机壳；摇摆轴，所述摇摆轴穿过所述第二通孔，所述摇摆轴的两端分别位于所述第一腔室和所述第二腔室，所述摇摆轴的一端与所述驱动组件连接，所述摇摆轴的另一端转动设置于所述机壳，所述驱动组件用于驱动所述摇摆轴转动；轴承组件，设置于所述机壳，所述轴承组件套设于所述摇摆轴以支撑所述摇摆轴转动；偏心轮组件，套设于所述摇摆轴，所述摇摆轴转动以带动所述偏心轮组件进行摇摆运动；腔体密封组件，所述腔体密封组件设置于所述机壳，所述腔体密封组件用于密封所述摇摆轴与所述机壳在所述第二通孔处的缝隙。2.根据权利要求1所述的摇摆装置，其特征在于，所述轴承组件包括轴承和支撑板，所述支撑板设置于所述机壳，所述支撑板设有第一通孔，所述轴承设置于所述支撑板，所述摇摆轴套设于所述轴承并且穿过所述第一通孔，所述摇摆轴可在所述第一通孔内转动。3.根据权利要求2所述的摇摆装置，其特征在于，所述轴承组件还包括轴承座，所述轴承座设置于...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴晓杰，
申请(专利权)人：深圳天华机器设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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