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本申请实施例涉及生产设备技术领域，公开了一种摇摆装置及蚀刻系统,所述摇摆装置包括机壳、驱动组件、摇摆轴、轴承组件以及偏心轮组件，摇摆轴转动设置于机壳，驱动组件设置于机壳并且与摇摆轴的一端连接，驱动组件用于驱动摇摆轴转动，轴承组件套设于摇摆轴...
该专利属于深圳天华机器设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳天华机器设备有限公司授权不得商用。

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