一种引线键合点可靠性检验装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种引线键合点可靠性检验装置，属于功率器件封装检测领域。所述装置包括：工作台、固定架、基板紧固和运动机构及拉拔机构，基板紧固和运动机构包括基板夹紧件、真空吸盘、支撑滑杆、第一弧形滑道、第二弧形滑道和座体，拉拔机构包括与固定架的所述第一部分的一侧固定连接的固定臂、具有限位板的引线夹、拉伸杆、紧固件、拉伸运动组件和复位件。本实用新型专利技术提供的引线键合点检验装置，能够针对不同材料键合区单个键合点进行检验判断，能够有效的筛选出不合格的键合点，通过本装置的强度检验能够有效减少引线脱落和引线根部断裂等失效问题。根部断裂等失效问题。根部断裂等失效问题。

【技术实现步骤摘要】
一种引线键合点可靠性检验装置


[0001]本技术属于功率器件封装检测领域，具体涉及一种引线键合可靠性检验装置，尤其涉及一种适用于半导体功率器件的超声楔形键合的键合点可靠性检验装置。

技术介绍

[0002]引线键合技术是用金属丝将芯片电极与基板上相对应的电路焊区互连，将电极引出到外部电路中实现芯片与电路的连接。超声键合是引线键合最常见的技术之一，其所用劈刀一般为楔形劈刀，键合完成后键合点均为楔形键合点。
[0003]引线键合失效是功率器件封装失效的常见形式之一，引线键合失效模式主要有引线脱落和引线根部断裂，均位于键合点位置。在超声键合过程被键合的金属丝(金丝、银丝、铜丝、铝丝等)需要与不同材料的键合区互连，由于不同材料的热膨胀系数不同，引线脱落成为最常见的失效形式，而现有的键合强度评价方法是通过拉力试验拉断引线综合判断第一键合点、第二键合点整体强度是否达到要求。当第一键合点、第二键合点的键合区材料或镀层材料不同时，不能分别针对不同材料键合区单个键合点进行检验判断。
[0004]此外，现有的键合线老化试验，如功率循环老化试验，模拟的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述引线键合点可靠性检验装置包括：工作台，被配置为与外部结构连接以固定所述引线键合点可靠性检验装置；固定架，包括沿第一方向固定设置在所述工作台上且沿第二方向彼此相对地的第一部分和第二部分，所述第二方向与所述第一方向垂直；基板紧固和运动机构，包括基板夹紧件、真空吸盘、支撑滑杆、第一弧形滑道、第二弧形滑道和座体；以及拉拔机构，包括与固定架的所述第一部分的一侧固定连接的固定臂、具有限位板的引线夹、拉伸杆、紧固件、拉伸运动组件和复位件。2.根据权利要求1所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述第一弧形滑道和第二弧形滑道分别相应设置在所述第一部分和所述第二部分中，所述支撑滑杆具有与座体固定连接的身部以及分别相应与第一弧形滑道、第二弧形滑道配合的两个轴状端部，所述真空吸盘设置在座体中并能够待测试样基板的第二表面吸附在座体上，所述基板夹紧件具有能够紧固待测试样基板的第一表面、以及与座体固定连接的第二表面，通过第一弧形滑道、第二弧形滑道与支撑滑杆的配合能够使第一表面在第一角度内摆动，且在第一角度为0
°
的情况下，基板夹紧件的所述第一表面与所述第一方向垂直并与所述第二方向平行。3.根据权利要求2所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述第一角度在
‑
10
°
～10
°
范围内选择。4.根据权利要求3所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述第一角度在1
°
～3
°
或
‑3°
～
‑1°
范围内选择。5.根据权利要求1所述的引线键合点...

【专利技术属性】
技术研发人员：周卫金，王兴华，兰欣，
申请(专利权)人：元山济南电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：