本实用新型专利技术提供了一种引线键合点可靠性检验装置，属于功率器件封装检测领域。所述装置包括：工作台、固定架、基板紧固和运动机构及拉拔机构，基板紧固和运动机构包括基板夹紧件、真空吸盘、支撑滑杆、第一弧形滑道、第二弧形滑道和座体，拉拔机构包括与固定架的所述第一部分的一侧固定连接的固定臂、具有限位板的引线夹、拉伸杆、紧固件、拉伸运动组件和复位件。本实用新型专利技术提供的引线键合点检验装置，能够针对不同材料键合区单个键合点进行检验判断，能够有效的筛选出不合格的键合点，通过本装置的强度检验能够有效减少引线脱落和引线根部断裂等失效问题。根部断裂等失效问题。根部断裂等失效问题。
【技术实现步骤摘要】
一种引线键合点可靠性检验装置
[0001]本技术属于功率器件封装检测领域，具体涉及一种引线键合可靠性检验装置，尤其涉及一种适用于半导体功率器件的超声楔形键合的键合点可靠性检验装置。
技术介绍
[0002]引线键合技术是用金属丝将芯片电极与基板上相对应的电路焊区互连，将电极引出到外部电路中实现芯片与电路的连接。超声键合是引线键合最常见的技术之一，其所用劈刀一般为楔形劈刀，键合完成后键合点均为楔形键合点。
[0003]引线键合失效是功率器件封装失效的常见形式之一，引线键合失效模式主要有引线脱落和引线根部断裂，均位于键合点位置。在超声键合过程被键合的金属丝(金丝、银丝、铜丝、铝丝等)需要与不同材料的键合区互连，由于不同材料的热膨胀系数不同，引线脱落成为最常见的失效形式，而现有的键合强度评价方法是通过拉力试验拉断引线综合判断第一键合点、第二键合点整体强度是否达到要求。当第一键合点、第二键合点的键合区材料或镀层材料不同时，不能分别针对不同材料键合区单个键合点进行检验判断。
[0004]此外，现有的键合线老化试验，如功率循环老化试验，模拟的是芯片、键合线的实际工作状态，故该试验方法最为严格可靠，同时也存在一些问题：(1)功率循环试验的被测试样一般是完整的成品，进行的是破坏性试验，因包含芯片等所以成本较高；(2)功率循环老化试验能够在一定程度上做到针对键合线本身进行老化试验，但被测试样往往会出现其它缺陷，如芯片焊料层老化失效、芯片损坏等，从而导致被测试样失效，而此时键合线本身可能并没有失效，键合线的可靠性不能被准确评估；(3)该试验方法存在老化设备成本高、耗费时间较长等缺点。
技术实现思路
[0005]本技术提供了一种引线键合点可靠性检验装置，以解决不能对不同材料键合区单个键合点检验判断导致引线脱落和引线根部断裂等技术问题，同时能够实现键合线疲劳老化检验测试。
[0006]为了解决上述问题，本技术提供了一种引线键合点可靠性检验装置，包括：工作台，被配置为与外部结构连接以固定所述引线键合点可靠性检验装置；固定架，包括沿第一方向固定设置在所述工作台上且沿第二方向彼此相对地的第一部分和第二部分，所述第二方向与所述第一方向垂直；基板紧固和运动机构，包括基板夹紧件、真空吸盘、支撑滑杆、第一弧形滑道、第二弧形滑道和座体；拉拔机构，包括与固定架的所述第一部分的一侧固定连接的固定臂、具有限位板的引线夹、拉伸杆、紧固件、拉伸运动组件和复位件，其中，引线夹、拉伸杆均可根据实际需要进行设计更换，例如对5mil线径的键合线，引线夹并不能完美固定住L型键合线尾部，需更换设计为拉钩式、真空孔式等引线固定装置。在本技术的一个示例性实施例中，所述第一弧形滑道和第二弧形滑道分别相应设置在所述第一部分和所述第二部分中，所述支撑滑杆具有与座体固定连接的身部以及分别相应与第一弧形滑
道、第二弧形滑道配合的两个轴状端部，所述真空吸盘设置在座体中并能够待测试样基板的第二表面吸附在座体上，所述基板夹紧件具有能够紧固待测试样基板的第一表面、以及与座体固定连接的第二表面，通过第一弧形滑道、第二弧形滑道与支撑滑杆的配合能够使第一表面在第一角度内摆动，且在第一角度为0
°
的情况下，基板夹紧件的所述第一表面与所述第一方向垂直并与所述第二方向平行。
[0007]在本技术的一个示例性实施例中，拉伸杆的一端在第一方向与第二方向所构成的平面内以可调节的第二角度与固定臂连接，拉伸杆的另一端与引线夹固定连接，引线夹通过限位板使待测试样基板的第一表面上的L型引线与拉伸杆的中轴线方向平行，紧固件能够对拉伸杆进行限位和紧固，拉伸运动组件被配置为能够以预设的拉力参数使拉伸杆沿其中轴线方向做拉伸运动，复位件能够将拉伸杆恢复至初始位置，其中，所述第二角度为拉伸杆的所述中轴线与所述第二方向之间的夹角。
[0008]由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果包括以下内容中的至少一项：
[0009]1、本技术提供的引线键合点检验装置，能够针对不同材料键合区单个键合点进行检验判断；
[0010]2、本技术提供的引线键合点检验装置，能够有效的筛选出不合格的键合点，通过本装置的强度检验能够有效减少引线脱落和引线根部断裂等失效问题；
[0011]3、本技术提供的引线键合点检验装置既可适用于摆动检验方式，也可适用于单个键合点的极限拉力测试方式；
[0012]4、本技术提供的引线键合点检验装置可通过更换所述引线夹、拉伸杆为拉钩式、真空孔式等引线固定装置，以达到能够固定复杂情况下的键合线；
[0013]5、本技术提供的引线键合点可靠性检验装置还可以进行疲劳老化试验，具有试样制造成本低、老化时间短时高效、操作简单、键合点针对性强、设备成本低廉等优点。
附图说明
[0014]图1示出了本技术的引线键合点可靠性检验装置的一个示例性实施例的整体结构示意图；
[0015]图2示出了图1的主视示意图；
[0016]图3A示出了图1中的基板紧固和运动机构与键合有L型引线的待测试样基板的装配示意图；
[0017]图3B示出了图3A的摆动状态的右视示意图；
[0018]图4A示出了拉拔机构的示意图；
[0019]图4B示出了图4A的主视示意图；
[0020]图5A示出了键合有L型引线的待测试样基板的示意图；
[0021]图5B示出了图5A的主视示意图。
[0022]附图标记说明如下：
[0023]10
‑
工作台
[0024]20
‑
固定架、21
‑
第一部分、22
‑
第二部分
[0025]30
‑
基板紧固和运动机构、31
‑
基板夹紧件、32
‑
支撑滑杆、33
‑
第一弧形滑道、34
‑
座体、β
‑
第一角度
[0026]40
‑
拉拔机构、41
‑
固定臂、42
‑
引线夹、43
‑
拉伸杆、α
‑
第二角度
[0027]50
‑
待测试样基板、51
‑
引线
具体实施方式
[0028]为了更清楚的阐释本技术的整体构思，下面结合说明书附图以示例的方式进行详细说明。
[0029]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
[0030]另外，在本技术的描述中，需要理解的是，术语“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述引线键合点可靠性检验装置包括：工作台，被配置为与外部结构连接以固定所述引线键合点可靠性检验装置；固定架，包括沿第一方向固定设置在所述工作台上且沿第二方向彼此相对地的第一部分和第二部分，所述第二方向与所述第一方向垂直；基板紧固和运动机构，包括基板夹紧件、真空吸盘、支撑滑杆、第一弧形滑道、第二弧形滑道和座体；以及拉拔机构，包括与固定架的所述第一部分的一侧固定连接的固定臂、具有限位板的引线夹、拉伸杆、紧固件、拉伸运动组件和复位件。2.根据权利要求1所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述第一弧形滑道和第二弧形滑道分别相应设置在所述第一部分和所述第二部分中，所述支撑滑杆具有与座体固定连接的身部以及分别相应与第一弧形滑道、第二弧形滑道配合的两个轴状端部，所述真空吸盘设置在座体中并能够待测试样基板的第二表面吸附在座体上，所述基板夹紧件具有能够紧固待测试样基板的第一表面、以及与座体固定连接的第二表面，通过第一弧形滑道、第二弧形滑道与支撑滑杆的配合能够使第一表面在第一角度内摆动，且在第一角度为0
°
的情况下，基板夹紧件的所述第一表面与所述第一方向垂直并与所述第二方向平行。3.根据权利要求2所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述第一角度在
‑
10
°
～10
°
范围内选择。4.根据权利要求3所述的引线键合点可靠性检验装置，其特征在于，所述第一角度在1
°
～3
°
或
‑3°
～
‑1°
范围内选择。5.根据权利要求1所述的引线键合点...
【专利技术属性】
技术研发人员：周卫金，王兴华，兰欣，
申请(专利权)人：元山济南电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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