【技术实现步骤摘要】
一种用于新型真空密封门板的密封结构
[0001]本技术涉及真空密封
,特指一种用于新型真空密封门板的密封结构。
技术介绍
[0002]真空密封门板结构是一种进行门板真空密封的支撑结构,现有密封功能都是通过移动带有密封槽的门板挤压密封圈实现的且密封圈受压面为平面,为了减小密封圈的磨损,门板位移主要可分为以下几种形式:通过翻转门板来实现此功能;先水平移动门板再竖直移动门板;先水平移动门板再倾斜移动门板,随着科技的不断发展,人们对于真空密封门板结构的制造工艺要求也越来越高。
[0003]如本公司之前申请的专利号为2021116460202的一种新型的真空密封门板结构,通过采用空间形密封圈,不仅能满足设备的密封要求,且结构紧凑;但空间形密封圈仅通过密封安装槽安装在移动门板上,工作时空间形密封圈容易从密封安装槽内脱落,影响密封效果。
技术实现思路
[0004]本技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种用于新型真空密封门板的密封结构。
[0005]为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:一种用于新型真 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于新型真空密封门板的密封结构,其特征在于:包含固定门板、移动门板和空间形密封圈;所述固定门板的底部设置有上空间形密封面;所述移动门板设置在固定门板的下方;所述移动门板的顶部设置有与上空间形密封面对应放置的下空间形密封面;所述空间形密封圈固定设置在下空间形密封面上。2.根据权利要求1所述的用于新型真空密封门板的密封结构,其特征在于:所述空间形密封圈与移动门板采用硫化技术一体成型。3.根据权利要求1所述的用于新型真空密封门板的密封结构,其特征在于:所述下空间形密封面上设置有空间形密封槽;所述空间形密封圈的下部通过胶水固定设置在空间...
【专利技术属性】
技术研发人员:李洋,
申请(专利权)人:苏州子山半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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