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本实用新型涉及一种用于新型真空密封门板的密封结构,包含固定门板、移动门板和空间形密封圈;所述固定门板的底部设置有上空间形密封面;所述移动门板设置在固定门板的下方;所述移动门板的顶部设置有与上空间形密封面对应放置的下空间形密封面;所述空间形密...该专利属于苏州子山半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州子山半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种用于新型真空密封门板的密封结构,包含固定门板、移动门板和空间形密封圈;所述固定门板的底部设置有上空间形密封面;所述移动门板设置在固定门板的下方;所述移动门板的顶部设置有与上空间形密封面对应放置的下空间形密封面;所述空间形密...