用于大容量腔室的真空摄像头制造技术

本发明专利技术涉及用于大容量腔室的真空摄像头，其用于在灰尘、异物等无法进入的低真空状态的大容量腔室中拍摄生产工序，以便利用自动化系统生产显示面板、半导体等。据此，本发明专利技术具有如下效果，即，解决因人工肉眼观察所引起的各种问题，同时，容易观察用于生产对灰尘、异物等敏感的产品的低真空状态的大容量腔室内部生产工序，使得摄像头内部维持与大容量腔室的低真空相似的低真空状态来延长摄像头使用寿命，可通过影像记录来快速掌握将在大容量腔室内工作的自动化系统产生的问题，从而容易辨别在大容量腔室内部生产及制造的不合格产品。容量腔室内部生产及制造的不合格产品。容量腔室内部生产及制造的不合格产品。

【技术实现步骤摘要】
用于大容量腔室的真空摄像头


[0001]本专利技术涉及用于大容量腔室的真空摄像头，更详细地，涉及如下的用于大容量腔室的真空摄像头，即，用于在灰尘、异物等无法进入的低真空状态的大容量腔室中拍摄生产工序，以便利用自动化系统生产显示面板、半导体等。

技术介绍

[0002]以往在用于使用自动化系统生产显示面板、半导体等的大容量腔室内部的情况下，因包括灰尘在内的各种异物而导致生产出不合格产品的可能性相对较高，由于腔室内部使灰尘、异物等无法进入且维持低真空状态，因而难以观察生产过程中产生的问题。
[0003]因此，在现有的大容量腔室中，为了确认内部设施及生产产品，通过设置现场等级来逐个人工确认，以便防止灰尘、异物等从外部进入，因此存在如下问题，即，观察24小时运行的设施和产品需要大量的人力且难以准确观察。
[0004]尤其，由于显示面板、半导体等属于敏感产品，非常容易受到灰尘、异物等的影响，因此，需要在大容量腔室中深度观察。然而管理人员用肉眼进行观察是有局限性的，并且，若因观察不足而开放大容量腔室，则需消耗相当大的努力和时间来恢复低真空状态本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于大容量腔室的真空摄像头，其特征在于，包括：前盖部(100)，包括第一O型圈(130)、第二O型圈(140)、第三O型圈(150)及钢化玻璃固定支架(160)，上述第一O型圈(130)设置在第一槽(121
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1)，上述第一槽(121
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1)形成在前盖框架(121)，上述前盖框架(121)与钢化玻璃(110)的外周面相接触以维持气密，上述第二O型圈(140)设置在第二槽(121
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2)，上述第二槽(121
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2)形成在上述前盖框架(121)的上部以在卡定上述钢化玻璃(110)的卡定台肩(121
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4)的内侧与钢化玻璃(110)的前面边缘维持气密，上述第三O型圈(150)设置在第三槽(121
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3)，上述第三槽(121
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3)形成在上述前盖框架(121)的外周面，上述钢化玻璃固定支架(160)用于固定上述钢化玻璃(110)；摄像头部(200)，包括发光二极管固定支架(220)和摄像头固定支架(240)，上述发光二极管固定支架(220)与上述钢化玻璃固定支架(160)相结合，在前方结合有发光二极管(210)，上述摄像头固定支架(240)沿着上述发光二极管固定支架(220)的后方与摄像头(230)相结合，在前方结合有上述摄像头(230)，在后方结合有控制器(250)；外壳部(300)，包括第四O型圈(320)和第五O型圈(330)，上述第四O型圈(320)设置在第四槽(310
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1)，上述第四槽(310
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1)使得上述摄像头部(200)插入并使上述前盖框架(121)与前面外壳(310)之间维持气密，上述第五O型圈(330)设置在第五槽(310
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2)，上述第五槽(310
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2)使背面外壳(310)维持气密；以及后盖部(400)，包括第六O型圈(420)、影像传输连接器(430)及真空阀(440)，上述第六O型圈(420)设置在第六槽(410
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1)，上述第六槽(410
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1)形成在后盖框架(411)的前面周围以与上述外壳(310)维持气密，上述影像传输连接器(430)与插入在上述外壳...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴是炫，孔承吉，金斗猷，
申请(专利权)人：西科里特有限公司，
类型：发明
国别省市：