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本发明涉及用于大容量腔室的真空摄像头，其用于在灰尘、异物等无法进入的低真空状态的大容量腔室中拍摄生产工序，以便利用自动化系统生产显示面板、半导体等。据此，本发明具有如下效果，即，解决因人工肉眼观察所引起的各种问题，同时，容易观察用于生产对灰...
该专利属于西科里特有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西科里特有限公司授权不得商用。

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