本实用新型专利技术涉及光路校准技术领域，公开了一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置，能够提升准直度的精度，且可以提升准直度的调试效率。本实用新型专利技术包括固定部、入射光部和出射光部；所述入射光部设于所述通道的第一端，所述入射光部设有入射光孔；所述出射光部设于所述通道的第二端，所述出射光部设有出射光孔，且所述出射光孔和所述入射光孔同轴设置。本实用新型专利技术在调试成像光路或激光光路时，成像光路或激光光路若能够同时穿过入射光孔和出射光孔，同时观察穿过出射光孔之后的光路形状，则可以判断对应的光路准直度是否调试好，本实用新型专利技术结构简单、结构小、便于对成像光路或激光光路的准直度进行矫正，有效地提升了准直度的调试效率。直度的调试效率。直度的调试效率。
【技术实现步骤摘要】
一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置
[0001]本技术涉及光路校准
，特别是一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置。
技术介绍
[0002]现有的激光加工设备在使用前，需要分别对成像光路和激光光路进行准直矫正，而目前对成像光路和激光光路的准直矫正过程中由于没有判断标准，因此成像光路和激光光路的准直度调试过程中容易出现误差，精度不高，进而造成成像质量差或是激光加工质量低。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种光路调光治具，能够提升准直度的精度，且可以提升准直度的调试效率。
[0004]本技术还提出一种具有上述光路调光治具的光学系统。
[0005]本技术还提出一种具有上述光路调光治具的激光加工装置。
[0006]一方面，根据本技术实施例的光路调光治具，包括固定部、入射光部和出射光部；所述固定部的内部设有通道；所述入射光部设于所述通道的第一端，所述入射光部设有入射光孔；所述出射光部设于所述通道的第二端，所述出射光部设有出射光孔，且所述出射光孔和所述入射光孔同轴设置。
[0007]根据本技术的一些实施例，所述入射光部与所述固定部为可拆卸连接。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述出射光部与所述固定部为可拆卸连接。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述入射光部还设有至少两个形状相同的第一通孔，至少两个所述第一通孔以所述入射光孔为中心点且均匀分布于所述入射光部上。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述第一通孔的形状为半圆形、扇形、矩形或圆形中的一种。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述固定部的侧壁上设有至少两个第二通孔，所述第二通孔与所述通道连通。
[0012]根据本技术的一些实施例，至少两个所述第二通孔均匀分布于所述固定部的侧壁上。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述固定部的第一端还设有连接部，所述连接部用于与光学系统或激光加工装置连接。
[0014]本技术实施例至少具有如下有益效果：在调试成像光路或激光光路时，成像光路或激光光路若能够同时穿过入射光孔和出射光孔，并观察穿过出射光孔之后的光路形状，则可以判断对应的光路准直度是否调试好，本技术结构简单、结构小、便于对成像光路或激光光路的准直度进行矫正，有效地提升了准直度的调试效率。
[0015]另一方面，根据本技术实施例的光学系统，包括根据本技术上述实施例
的光路调光治具、安装座以及第一驱动件，所述安装座设有位于成像光路上的安装部，所述安装部用于安装所述光路调光治具，所述第一驱动件用于驱动所述安装座移动。
[0016]本技术实施例至少具有如下有益效果：在调试光学系统的成像光路时，成像光路若能够同时穿过入射光孔和出射光孔，并观察穿过出射光孔之后的光路形状，则可以判断成像光路准直度是否调试好，本技术结构简单、结构小、便于对成像光路的准直度进行矫正，有效地提升了准直度的调试效率。
[0017]另一方面，根据本技术实施例的激光加工装置，包括根据本技术上述实施例的光路调光治具、安装座以及第一驱动件，所述安装座设有位于激光光路上的安装部，所述安装部用于安装所述光路调光治具，所述第一驱动件用于驱动所述安装座移动。
[0018]本技术实施例至少具有如下有益效果：在调试激光加工装置的激光光路时，激光光路若能够同时穿过入射光孔和出射光孔，并观察穿过出射光孔之后的光路形状，则可以判断激光光路准直度是否调试好，本技术结构简单、结构小、便于对激光光路的准直度进行矫正，有效地提升了准直度的调试效率。
[0019]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0020]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0021]图1为本技术实施例的光路调光治具的结构示意图；
[0022]图2为图1示出的光路调光治具的爆炸图；
[0023]图3为本技术另一实施例的光路调光治具的入射光部的结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025][0026]具体实施方式
[0027]以下将结合实施例和附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整的描述，以充分地理解本技术的目的、方案和效果。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0028]需要说明的是，如无特殊说明，当某一特征被称为“固定”、“连接”在另一个特征，
它可以直接固定、连接在另一个特征上，也可以间接地固定、连接在另一个特征上。此外，本技术中所使用的上、下、左、右、顶、底等描述仅仅是相对于附图中本技术各组成部分的相互位置关系来说的。
[0029]此外，除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与本
的技术人员通常理解的含义相同。本文说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例，而不是为了限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的组合。
[0030]应当理解，尽管在本公开可能采用术语第一、第二、第三等来描述各种元件，但这些元件不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的元件彼此区分开。例如，在不脱离本公开范围的情况下，第一元件也可以被称为第二元件，类似地，第二元件也可以被称为第一元件。
[0031]参照图1和图2，根据本技术实施例的光路调光治具，包括固定部100、入射光部200和出射光部300；固定部100的内部设有通道110；入射光部200设于通道110的第一端，入射光部200设有入射光孔210；出射光部300设于通道110的第二端，出射光部300设有出射光孔310，且出射光孔310和入射光孔210同轴设置。
[0032]其中需要说明的是，入射光孔210和出射光孔310的形状需要保持一致，入射光孔210可以是椭圆形、圆形或是矩形中的一种。
[0033]调试原理：将光路调光治具安装于光学系统或激光加工装置的指定位置，然后可以调试光学系统的成像光路或激光加工装置的激光光路，观察成像光路或激光光路是否能够同时穿过入射光孔210和出射光孔310，同时，观察穿过出射光孔310后的光路形状是否与出射光孔310的形状保持一致，则可判断对应的光路的准直度是否达到标准。
[0034]其中，针对观察穿过出射光孔310后的光路形状具体过程是：
[0035]当用于调试激光光路的准直度时，若激光光路是人眼可见的，在激光光路同时穿过入射光孔210和出射光孔310后，可以直接观察穿过出射光孔310后的激光光路投射在加工位置上的光斑形状，若光斑形状是与出射光孔310的形状保持一致，则说明激光光路准直本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光路调光治具，其特征在于，包括：固定部(100)，内部设有通道(110)；入射光部(200)，设于所述通道(110)的第一端，设有入射光孔(210)；出射光部(300)，设于所述通道(110)的第二端，设有出射光孔(310)，且所述出射光孔(310)和所述入射光孔(210)同轴设置。2.根据权利要求1所述的光路调光治具，其特征在于：所述入射光部(200)与所述固定部(100)为可拆卸连接。3.根据权利要求1所述的光路调光治具，其特征在于：所述出射光部(300)与所述固定部(100)为可拆卸连接。4.根据权利要求1至3任一项所述的光路调光治具，其特征在于：所述入射光部(200)还设有至少两个形状相同的第一通孔(220)，至少两个所述第一通孔(220)以所述入射光孔(210)为中心点且均匀分布于所述入射光部(200)上。5.根据权利要求4所述的光路调光治具，其特征在于：所述第一通孔(220)的形状为半圆形、扇形、矩形或圆形中的一种。...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭良，
申请(专利权)人：珠海东辉半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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