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本实用新型涉及光路校准技术领域，公开了一种光路调光治具、光学系统和激光加工装置，能够提升准直度的精度，且可以提升准直度的调试效率。本实用新型包括固定部、入射光部和出射光部；所述入射光部设于所述通道的第一端，所述入射光部设有入射光孔；所述出射...
该专利属于珠海东辉半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海东辉半导体装备有限公司授权不得商用。

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