一种区熔炉真空抽气阀控机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种区熔炉真空抽气阀控机构，属于区熔炉辅助工装技术领域。该区熔炉真空抽气阀控机构包括抽气阀，所述抽气阀的一侧设置有固定管，所述固定管的一端设置有连接组件，所述连接组件的一侧设置有过滤器，所述过滤器的一侧设置有连通管，所述连接组件包括连接头、安装头、固定套和连接管，所述固定管的一端连通有连接头，所述连接头的内壁螺纹连接有安装头，所述安装头的一端连通有固定套，所述固定套的一侧连通有连接管，所述连接管的一端与过滤器的一侧连通，解决了现有技术中区熔炉与抽气阀之间是直接进行安装，缺少方便连接的结构，导致维修和更换时较为不便，给工作人员带来不便，实用性较低的问题。实用性较低的问题。实用性较低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种区熔炉真空抽气阀控机构


[0001]本技术涉及区熔炉辅助工装
，具体而言，涉及一种区熔炉真空抽气阀控机构。

技术介绍

[0002]区熔炉是一种新型单晶硅生长炉，其拉制出的单晶硅具有较高的纯度，主要应用于半导体制造行业，区熔炉炉体构造由上中下三个炉室构成。
[0003]区熔炉在正常工作是炉室内先要抽真空然后充入一定量的气体使其内部气压高于炉外大气压强，当生产之后炉体需要将炉内的气体排出，抽真空时需要使用抽气阀，而现有技术中区熔炉与抽气阀之间是直接进行安装，缺少方便连接的结构，导致维修和更换时较为不便，给工作人员带来不便，实用性较低。

技术实现思路

[0004]为了弥补以上不足，本技术提供了一种具有设计合理、使用方便和实用性强的区熔炉真空抽气阀控机构。
[0005]本技术是这样实现的：
[0006]一种区熔炉真空抽气阀控机构包括抽气阀，所述抽气阀的一侧设置有固定管，所述固定管的一端设置有连接组件，所述连接组件的一侧设置有过滤器，所述过滤器的一侧设置有连通管。
[0007]作为本技术提供一种区熔炉真空抽气阀控机构，优选的，所述连接组件包括连接头、安装头、固定套和连接管，所述固定管的一端连通有连接头，所述连接头的内壁螺纹连接有安装头，所述安装头的一端连通有固定套，所述固定套的一侧连通有连接管，所述连接管的一端与过滤器的一侧连通。
[0008]作为本技术提供一种区熔炉真空抽气阀控机构，优选的，所述连接管的外侧固定连接有安装块。
[0009]作为本技术提供一种区熔炉真空抽气阀控机构，优选的，所述连通管的一端固定连接有固定盘。
[0010]作为本技术提供一种区熔炉真空抽气阀控机构，优选的，所述固定盘的内部分别设置有第一螺杆和第二螺杆，所述第一螺杆和第二螺杆的外侧均与固定盘的内壁螺纹连接。
[0011]作为本技术提供一种区熔炉真空抽气阀控机构，优选的，所述固定盘的内部分别设置有第三螺杆和第四螺杆，所述第三螺杆和第四螺杆的外侧均与固定盘的内壁螺纹连接。
[0012]作为本技术提供一种区熔炉真空抽气阀控机构，优选的，所述过滤器的内壁固定连接有第一固定环。
[0013]作为本技术提供一种区熔炉真空抽气阀控机构，优选的，所述第一固定环的
内壁设置有第一过滤网。
[0014]作为本技术提供一种区熔炉真空抽气阀控机构，优选的，所述第一固定环的一侧设置有第二固定环，所述第二固定环的外侧与过滤器的内壁固定连接。
[0015]作为本技术提供一种区熔炉真空抽气阀控机构，优选的，所述第二固定环的内壁设置有第二过滤网。
[0016]本申请的有益效果是：
[0017]该区熔炉真空抽气阀控机构，通过设置抽气阀，抽气阀的一侧连通有固定管，固定管的一端设置有连接头，安装头的一端通过固定套连通有连接管，连接管与过滤器连通，过滤器的一侧连通有连通管，通过连通管与区熔炉连接，再将连接头与安装头进行螺纹连接，从而对抽气阀进行连接安装，抽气阀安装完成后即可进行抽真空操作，当抽气阀损坏后只需将连接头从安装头上拆下即可取下抽气阀，大大提高了便利性。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1是本技术实施方式提供区熔炉真空抽气阀控机构的结构示意图；
[0020]图2为本技术实施方式提供连接组件的结构示意图；
[0021]图3为本技术实施方式提供连通管的结构示意图；
[0022]图4为本技术实施方式提供过滤器的内部结构示意图。
[0023]图中：1、抽气阀；2、固定管；3、连接组件；31、连接头；32、安装头；33、固定套；34、连接管；4、过滤器；5、连通管；6、安装块；7、固定盘；8、第一螺杆；9、第二螺杆；10、第三螺杆；11、第四螺杆；12、第一固定环；13、第一过滤网；14、第二固定环；15、第二过滤网。
具体实施方式
[0024]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0025]实施例
[0026]请结合参阅图1
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图4，一种区熔炉真空抽气阀控机构，包括抽气阀1。
[0027]在具体实施过程中，如图1、图2和图3所示，抽气阀1的一侧设置有固定管2，固定管2的一端设置有连接组件3，连接组件3的一侧设置有过滤器4，过滤器4的一侧设置有连通管5。
[0028]连接组件3包括连接头31、安装头32、固定套33和连接管34，固定管2的一端连通有连接头31，连接头31的内壁螺纹连接有安装头32，安装头32的一端连通有固定套33，固定套33的一侧连通有连接管34，连接管34的一端与过滤器4的一侧连通。
[0029]连接管34的外侧固定连接有安装块6。
[0030]连通管5的一端固定连接有固定盘7。
[0031]固定盘7的内部分别设置有第一螺杆8和第二螺杆9，第一螺杆8和第二螺杆9的外侧均与固定盘7的内壁螺纹连接。
[0032]固定盘7的内部分别设置有第三螺杆10和第四螺杆11，第三螺杆10和第四螺杆11的外侧均与固定盘7的内壁螺纹连接。
[0033]需要说明的是：通过设置抽气阀1，抽气阀1的一侧连通有固定管2，固定管2的一端设置有连接头31，安装头32的一端通过固定套33连通有连接管34，连接管34与过滤器4连通，过滤器4的一侧连通有连通管5，通过连通管5与区熔炉连接，再将连接头31与安装头32进行螺纹连接，从而对抽气阀1进行连接安装，抽气阀1安装完成后即可进行抽真空操作，当抽气阀1损坏后只需将连接头31从安装头32上拆下即可取下抽气阀1，大大提高了便利性，通过设置安装块6方便通过扳手对安装头32进行安装和拆卸，通过设置固定盘7方便与法兰盘进行连接，通过第一螺杆8、第二螺杆9、第三螺杆10和第四螺杆11对固定盘7进行固定安装。
[0034]参考图1和图4所示，过滤器4的内壁固定连接有第一固定环12。
[0035]第一固定环12的内壁设置有第一过滤网13。
[0036]第一固定环12的一侧设置有第二固定环14，第二固定环14的外侧与过滤器4的内壁固定连接。
[0037]第二固定环14的内壁设置有第二过滤网15。
[0038]需要说明的是：过滤器4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种区熔炉真空抽气阀控机构，其特征在于，包括抽气阀(1)，所述抽气阀(1)的一侧设置有固定管(2)，所述固定管(2)的一端设置有连接组件(3)，所述连接组件(3)的一侧设置有过滤器(4)，所述过滤器(4)的一侧设置有连通管(5)。2.根据权利要求1所述的一种区熔炉真空抽气阀控机构，其特征在于，所述连接组件(3)包括连接头(31)、安装头(32)、固定套(33)和连接管(34)，所述固定管(2)的一端连通有连接头(31)，所述连接头(31)的内壁螺纹连接有安装头(32)，所述安装头(32)的一端连通有固定套(33)，所述固定套(33)的一侧连通有连接管(34)，所述连接管(34)的一端与过滤器(4)的一侧连通。3.根据权利要求2所述的一种区熔炉真空抽气阀控机构，其特征在于，所述连接管(34)的外侧固定连接有安装块(6)。4.根据权利要求1所述的一种区熔炉真空抽气阀控机构，其特征在于，所述连通管(5)的一端固定连接有固定盘(7)。5.根据权利要求4所述的一种区熔炉真空抽气阀控机构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨定永，张顺祥，阿凤雄，罗应强，
申请(专利权)人：云南全控机电有限公司，
类型：新型
国别省市：