一种区熔炉真空抽气阀控机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种区熔炉真空抽气阀控机构，属于区熔炉辅助工装技术领域。该区熔炉真空抽气阀控机构包括抽气阀，所述抽气阀的一侧设置有固定管，所述固定管的一端设置有连接组件，所述连接组件的一侧设置有过滤器，所述过滤器的一侧设置有连通管，所述连接组件包括连接头、安装头、固定套和连接管，所述固定管的一端连通有连接头，所述连接头的内壁螺纹连接有安装头，所述安装头的一端连通有固定套，所述固定套的一侧连通有连接管，所述连接管的一端与过滤器的一侧连通，解决了现有技术中区熔炉与抽气阀之间是直接进行安装，缺少方便连接的结构，导致维修和更换时较为不便，给工作人员带来不便，实用性较低的问题。实用性较低的问题。实用性较低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种区熔炉真空抽气阀控机构


[0001]本技术涉及区熔炉辅助工装
，具体而言，涉及一种区熔炉真空抽气阀控机构。

技术介绍

[0002]区熔炉是一种新型单晶硅生长炉，其拉制出的单晶硅具有较高的纯度，主要应用于半导体制造行业，区熔炉炉体构造由上中下三个炉室构成。
[0003]区熔炉在正常工作是炉室内先要抽真空然后充入一定量的气体使其内部气压高于炉外大气压强，当生产之后炉体需要将炉内的气体排出，抽真空时需要使用抽气阀，而现有技术中区熔炉与抽气阀之间是直接进行安装，缺少方便连接的结构，导致维修和更换时较为不便，给工作人员带来不便，实用性较低。

技术实现思路

[0004]为了弥补以上不足，本技术提供了一种具有设计合理、使用方便和实用性强的区熔炉真空抽气阀控机构。
[0005]本技术是这样实现的：
[0006]一种区熔炉真空抽气阀控机构包括抽气阀，所述抽气阀的一侧设置有固定管，所述固定管的一端设置有连接组件，所述连接组件的一侧设置有过滤器，所述过滤器的一侧设置有连通管。
[0007]作为本技术提供一种区熔炉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种区熔炉真空抽气阀控机构，其特征在于，包括抽气阀(1)，所述抽气阀(1)的一侧设置有固定管(2)，所述固定管(2)的一端设置有连接组件(3)，所述连接组件(3)的一侧设置有过滤器(4)，所述过滤器(4)的一侧设置有连通管(5)。2.根据权利要求1所述的一种区熔炉真空抽气阀控机构，其特征在于，所述连接组件(3)包括连接头(31)、安装头(32)、固定套(33)和连接管(34)，所述固定管(2)的一端连通有连接头(31)，所述连接头(31)的内壁螺纹连接有安装头(32)，所述安装头(32)的一端连通有固定套(33)，所述固定套(33)的一侧连通有连接管(34)，所述连接管(34)的一端与过滤器(4)的一侧连通。3.根据权利要求2所述的一种区熔炉真空抽气阀控机构，其特征在于，所述连接管(34)的外侧固定连接有安装块(6)。4.根据权利要求1所述的一种区熔炉真空抽气阀控机构，其特征在于，所述连通管(5)的一端固定连接有固定盘(7)。5.根据权利要求4所述的一种区熔炉真空抽气阀控机构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨定永，张顺祥，阿凤雄，罗应强，
申请(专利权)人：云南全控机电有限公司，
类型：新型
国别省市：