一种超声波指纹识别模组和装置制造方法及图纸

本申请涉及指纹识别领域，公开了一种超声波指纹识别模组和装置，包括层叠设置的介质层、硅基衬底层和超声波传感模块；介质层远离硅基衬底层的表面为手指接触的触摸面；超声波传感模块包括压电层、分别设于压电层两个相对表面的驱动电极和接收电极。本申请超声波指纹识别模组中，硅基衬底层位于介质层和超声波传感模块之间，硅基衬底层和超声波传感模块紧密层叠在一起，超声波指纹识别模组与其他部件之间组装时会存在一定的间隙，超声波传感模块可以向远离硅基衬底层的方向振动，也即向与其他部件之间的间隙方向振动，从而避免在超声波指纹识别模组中制作空腔，简化制作工艺，降低成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种超声波指纹识别模组和装置


[0001]本申请涉及指纹识别领域，特别是涉及一种超声波指纹识别模组和装置。

技术介绍

[0002]超声波指纹识别技术通过超声波(频率高于20kHz的声波)对指纹进行识别验证，超声波可以穿透玻璃、铝、不锈钢、蓝宝石或塑料等材质对指纹进行扫描，并且扫描指纹的精度也受手指污垢、油脂以及汗水的影响很小，识别效果更加稳定和精准。
[0003]MEMS(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，微机电系统)超声波指纹识别是目前常用的一种方案。MEMS超声波指纹识别模组包括层叠设置的介质层、超声波传感器和硅基衬底层，硅基衬底层设置在超声波传感器远离手指的一侧，而MEMS超声波指纹识别模组又包含两种，一种需要形成PMUT(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，压电微机械超声换能器)空腔，另一种需要形成CMUT(capacitive micromachined ultrasonic transduce本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波指纹识别模组，其特征在于，包括：层叠设置的介质层、硅基衬底层和超声波传感模块；所述介质层远离所述硅基衬底层的表面为手指接触的触摸面；所述超声波传感模块包括压电层、分别设于所述压电层两个相对表面的驱动电极和接收电极。2.如权利要求1所述的超声波指纹识别模组，其特征在于，所述驱动电极设于所述压电层远离所述硅基衬底层的一侧，所述接收电极设于所述压电层靠近所述硅基衬底层的一侧。3.如权利要求2所述的超声波指纹识别模组，其特征在于，还包括：设于所述驱动电极背离所述压电层一侧的防氧化层。4.如权利要求1所述的超声波指纹识别模组，其特征在于，所述接收电极设于所述压电层远离所述硅基衬底层的一侧，所述驱动电极设于所述压电层靠近所述硅基衬底层的一侧。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：王敏，田亿发，孙天奇，蒋新喜，张靖恺，程珍娟，彭江洋，谢旭彬，
申请(专利权)人：敦泰电子深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：